ระบบเคลือบด้วยการสปัตเตอร์แมกนีตรอนที่มีประสิทธิภาพ เครื่องเคลือบโลหะอัตโนมัติเต็มรูปแบบ

• การปรับแต่ง: มีอยู่
• ประกันสินค้า: หนึ่งปี
• การเคลือบผิว: การเคลือบด้วยสุญญากาศ
• ไม่ใช่ ของรุ่น: DM200-250
• ซับสเตรต: เหล็กกล้า
• การรับรอง: CE, ISO
• เงื่อนไข: ใหม่
• แพคเพจการขนส่ง: กล่องไม้
• ข้อมูลจำเพาะ: ปรับแต่ง
• เครื่องหมายการค้า: แอคมี
• ที่มา: จีน
• กำลังการผลิต: 5000

คำอธิบายสินค้า

คำอธิบายผลิตภัณฑ์

ระบบเคลือบนี้เป็นโครงสร้างช่องสุญญากาศแบบกลมที่มีไอเสียที่ด้านหลังและโครงสร้างประตูหน้าและผลิตจากสแตนเลสสตีลที่มีคุณภาพสูง ชิ้นงานแมกเนตรอนขนาด 2 นิ้ว ( หรือ 3 นิ้ว ) หนึ่งเครื่องมีการติดตั้งไว้ที่แผ่นด้านบนของช่องตำแหน่งแบบพ่นน้ำ ทิศทางของลำแสงขาออกจะไปทางชั้นซับสเตรตและจะได้ฟิล์มบางๆบนซับสเตรต อุปกรณ์มีโครงสร้างที่เรียบง่ายและสามารถใช้ในการวิจัยและพัฒนาฟิล์มอเนกประสงค์แบบชั้นเดียวและหลายชั้นระดับนาโนเช่นฟิล์มแข็งฟิล์มโลหะฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์ฟิล์มไดอีเล็กฟิล์มคอมโพสิต ฟิล์มแม่เหล็กฟิล์มแม่เหล็กและวัสดุฟิล์มบางชนิดอื่นๆ .

พารามิเตอร์หลักของระบบ

l ระดับสุญญากาศสูงสุด : ≤6 × 10 5Pa ( ได้ภายใน 12 ชั่วโมงภายใต้การทำความสะอาด + การอบและการเพิ่มก๊าซ );

l เวลาในการดูดฝุ่น : ภายใน 30 นาที , ≤6 × 10 Pa

l อุณหภูมิการอุ่นแผ่นซับสเตรต : ≤600 º C;

l ขนาดของแผ่นซับสเตรต : ≤Φ3inch เวเฟอร์ ;

l จำนวนชั้นวางซับสเตรต : 1 ชุด ;

l ขนาดชิ้นงาน : เส้นผ่านศูนย์กลาง 50 มม . ( อุปกรณ์เสริม 3 นิ้ว );

l จำนวนชิ้นงาน : 1 หรือ 2

l ขนาดช่องสุญญากาศ : DN250*9 340 ( สามารถปรับได้อย่างเหมาะสมตามสภาพจริง );

l ระยะการเคลื่อนที่ของซับสเตรตซับสเตรต : ≤50 มม . ( ทิศทางตามแกน );

l มุมระหว่างแกนชิ้นงานและแกนการหมุนซับสเตรต : แบบสีไปพร้อมกัน ;

ระบบก๊าซ : ไอดี 2 ทิศทาง , 1 ทิศทางใช้สำหรับไอเสีย ;
 

รายการ		ข้อมูลจำเพาะและคำอธิบาย
ช่องสุญญากาศ	ช่องสุญญากาศสปัตเตอริง	DN220*1 320 สามารถปรับขนาดได้ตามความต้องการด้านการออกแบบสามารถเปิดฝาด้านบนและเปิดประตูได้
	วาล์วแบบปีกผีเสื้อสุญญากาศสูงพิเศษ	DN100, การควบคุมไฟฟ้า , ฟังก์ชันแรงดันคงที่อัตโนมัติเสริม
	ปั๊มโมเลกุล	ปั๊มโมเลกุล 110L/S หรือ 150L/S
	ปั๊มแบบกลไก	ปั๊มใบพัดแบบหมุน DVR16 สามารถใช้เป็นปั๊มก่อนปั๊มและปั๊มด้านหน้าได้อีกด้วย
	วาล์วแผ่นกั้น	วาล์วแผ่นกันแม่เหล็กไฟฟ้า DN25, เปิดท่อเตรียมปั๊ม
	วาล์วหยุด	ปลอกหุ้มแยกคู่สีวาล์วหยุดไฟฟ้า 6 มม
	อุปกรณ์ให้แสงสว่างและอุปกรณ์สำหรับอบ	ไม่จำเป็น
	หน้าแปลนและหน้าต่างตรวจสอบมีหลายชนิด	DN16, 35 63 100 150
	ท่อส่งสเตนเลส , ข้อต่อท่อ	ข้อมูลจำเพาะที่หลากหลายของท่อสแตนเลสสตีล , เบลโล , ข้อต่อท่อ
การวัดสุญญากาศและอากาศเข้า	เกจสุญญากาศแบบคอมโพสิตดิจิตอล	5227 ประกอบด้วยเกจสุญญากาศหรือเกจแบบเต็มช่วงนำเข้าเป็นอุปกรณ์เสริม
	เกจเปล่าที่เป็นโลหะ	อินเตอร์เฟซโลหะ ZJ52T, ZJ27
	ตัวควบคุมการไหลเชิงมวล	D07-7B ตัวควบคุมการไหลเชิงมวล , ช่วง 100scCM
	ท่อและตัวเชื่อมต่อ	ห้องควบคุมก๊าซผสม
	วาล์วหยุด	ปลอกหุ้มแยกคู่สีวาล์วหยุดไฟฟ้า 6 มม
	ช่องรับและอินเตอร์เฟซควบคุมอื่นๆ	มีการควบคุมไฟฟ้าวาล์วควบคุมแรงดันและการป้อนกลับมาให้
แร็คตัวอย่าง	การหมุนชั้นซับสเตรต	การหมุนซับสเตรตการยกชั้นซับสเตรต
	อุปกรณ์ยก	การยกการปรับด้วยตนเอง
	อุปกรณ์ทำความร้อนตัวซับสเตรตน้ำกระเซ็น	อุปกรณ์ทำความร้อน ≤600 º C เป็นอุปกรณ์เสริม
	แหล่งจ่ายไฟควบคุมอุณหภูมิ	ญี่ปุ่นการควบคุมอุณหภูมิ Shimaden การควบคุมอุณหภูมิ PID
ระบบสปัตเตอริง	การควบคุมแม่เหล็กชิ้นงานที่มีการกระตุก	ชิ้นงานแบบพ่นน้ำในตัว , มีแผงหน้าลำโพงให้เลือก 2 นิ้วหรือ 3 นิ้ว
	แหล่งจ่ายไฟสปัตเตอริง	500 วัตต์เป็นอุปกรณ์เสริม DC หรือ RF
	ชั้นวางอุปกรณ์	การจัดวางแบบรวม
	ระบบน้ำและก๊าซ	รวมทั้งเครื่องทำน้ำเย็น
	ระบบควบคุม	คู่มือมาตรฐานการควบคุมหน้าจอสัมผัสอัตโนมัติเสริม

พารามิเตอร์หลักของระบบ :
l ระดับสุญญากาศสูงสุด : ≤5 × 10 5Pa ( ได้ภายใน 12 ชั่วโมงภายใต้การทำความสะอาด + การอบและการเพิ่มก๊าซ );

l เวลาในการดูดฝุ่น : ภายใน 40 นาที , ≤5 × 10 Pa

l อุณหภูมิการอุ่นแผ่นซับสเตรต : ≤600 º C (iodine ทังสเตน ), การทำความร้อน

l ขนาดของแผ่นซับสเตรต : ≤Φ3inch เวเฟอร์กลม ;

l ขนาดชิ้นงาน : 2 นิ้วหรือ 3 นิ้ว

l จำนวนชิ้นงาน : 3

l ขนาดช่องสุญญากาศ : 400 × 400 × H380~80 450 ( สามารถปรับได้ตามเงื่อนไขจริง );

l ระยะการเคลื่อนที่ของซับสเตรตซับสเตรต : ≤50 มม . ( ทิศทางตามแกน );

l มุมระหว่างแกนชิ้นงานและแกนการหมุนซับสเตรต : แบบสีไปพร้อมกัน ;

ระบบก๊าซ : ไอดี 4 ทิศทาง , 1 ทิศทางสำหรับไอเสีย ;

เครื่องเคลือบขนาดเล็กนี้มีโครงสร้างกะทัดรัดและรูปลักษณ์เรียบง่ายและสง่างาม ใช้งานและบำรุงรักษาได้ง่ายและมีต้นทุนการใช้งานต่ำ ตัวเครื่องและระบบควบคุมอิเล็กทรอนิกส์ของอุปกรณ์นี้ได้รับการออกแบบให้เป็นไปอย่างกลมกลืน ตัวเครื่องประกอบด้วยชั้นวางอุปกรณ์ระบบปั๊มและช่องสุญญากาศ กระบวนการเคลือบจะดำเนินการในช่องสุญญากาศแบบพ่นน้ำส่วนควบคุมอิเล็กทรอนิกส์เป็นตู้ควบคุมมาตรฐานซึ่งมีกล่องปลั๊กอินแบบโมดูลหลายกล่อง ระบบมีประสิทธิภาพสูงและมีประสิทธิภาพคงที่

พารามิเตอร์พื้นฐานของเครื่องเคลือบด้วยแมกเนตรอนชนิดสุญญากาศที่มีกำลังแรงสูงพิเศษมีดังต่อไปนี้ :

l สุญญากาศสูงสุดของช่องเคลือบผิว : ≤6 × 10 5Pa

l เวลาการปั๊ม : ดีกว่า 6 × 10 Pa ภายใน 30 นาที

l ขนาดช่องสุญญากาศ : 300 × 300 × H350 มม . ช่องสุญญากาศสร้างขึ้นจากสแตนเลสสตีล

l ขนาดและปริมาณของชิ้นงาน : φ50mm μ m 2 ชิ้นงานแม่เหล็กถาวร ;

l ปรับระยะของซับสเตรตเป้าหมายได้ (1~100 40 มม ., ปรับตำแหน่งของชิ้นงานได้ );

การหมุนซับสเตรต L: ปรับความเร็ว 0~60 รอบต่อนาที ; มีระบบทำความร้อนสามารถทำความร้อนได้ถึง 500 องศา ;

l ขนาดเครื่องจักรหลัก : กว้างประมาณ 1100 มม . × กว้าง 750 มม . × สูง 1650 มม .

l ชนิดก๊าซ : MFC 2 ทาง , การจัดวางก๊าซที่ใช้งาน + ก๊าซปฏิกิริยา ;

l การวัดความหนาฟิล์ม : มีชุดมิเตอร์วัดความหนาฟิล์มผลึกควอทซ์และหัวเข็มแบบดั้งเดิม ( อุปกรณ์เสริม );

l ระบบควบคุม : ใช้หน้าจอสัมผัส + การควบคุม PLC เพื่อควบคุมการเริ่มและหยุดปั๊มวาล์วและการแจ้งเตือนเอาต์พุตต่างๆ
 

พารามิเตอร์หลักของระบบ :

l ระดับสุญญากาศสูงสุด : ≤5 × 10 5Pa ( ได้ภายใน 12 ชั่วโมงภายใต้การทำความสะอาด + การอบและการเพิ่มก๊าซ );

l เวลาในการดูดฝุ่น : ภายใน 40 นาที , ≤5 × 10 Pa

l อุณหภูมิการอุ่นแผ่นซับสเตรต : ≤600 º C (iodine ทังสเตน ), การทำความร้อน

l ขนาดของแผ่นซับสเตรต : ≤Φ3inch เวเฟอร์กลม ;

l ขนาดชิ้นงาน : 2 นิ้วหรือ 3 นิ้ว

l จำนวนชิ้นงาน : 4

l ขนาดช่องสุญญากาศ : 500 × 500 × H450 ( สามารถปรับได้อย่างเหมาะสมตามสภาพจริง );

l ระยะการเคลื่อนที่ของซับสเตรตซับสเตรต : ≤50 มม . ( ทิศทางตามแกน );

l มุมระหว่างแกนชิ้นงานและแกนการหมุนซับสเตรต : แบบสีไปพร้อมกัน ;

ระบบก๊าซ : อากาศเข้า 4 ซึ่งมี 1 ซึ่งใช้สำหรับการระบาย

   

พารามิเตอร์พื้นฐานของเครื่องเคลือบด้วยแมกเนตรอนชนิดสุญญากาศที่มีกำลังแรงสูงพิเศษมีดังต่อไปนี้ :

l สุญญากาศสูงสุดของช่องเคลือบผิว : ≤6 × 10 5Pa

l เวลาการปั๊ม : ดีกว่า 8 × 10 Pa ภายใน 30 นาที

l ขนาดช่องสุญญากาศ : 300 มม . × 300 มม . × H400 มม . ช่องสุญญากาศสร้างขึ้นจากสแตนเลสสตีลและมีหน้าต่างตรวจสอบแก้ว

l ขนาดและปริมาณของชิ้นงาน : φ50mm μ m 2 ชิ้นงานแม่เหล็กถาวร ( ในตัว );

l แหล่งจ่ายไฟเอาต์พุต : แหล่งจ่ายไฟ DC ดิจิตอล 2 วัตต์แบบพ่นน้ำแรงดันสูง ;

l การควบคุมแรงดันพร้อมด้วยเกจฟิล์มและวาล์วผีเสื้อไฟฟ้าเพื่อให้ควบคุมแรงดันได้อย่างสม่ำเสมอ

l ระยะเคลื่อนที่แนวนอน 0 มม . พร้อมแผ่นแยกเพื่อหลีกเลี่ยงการตกหล่นของสแลกในระหว่างการเคลื่อนที่ ;

l ระบบกดร้อน : ลดอุณหภูมิการอุ่นแผ่นซับสเตรต : 0 º C สามารถปรับแต่งได้อย่างต่อเนื่อง แผ่นด้านบนถูกควบคุมด้วยการกดลง

l ขนาดยูนิตหลัก : ความยาว 1060 มม . × ความกว้าง 600 มม . × ความสูง 1600 มม . ( ขนาดจะถูกปรับอย่างเหมาะสมตามความต้องการ )

l ชนิดก๊าซ : ตัวควบคุมการไหลเชิงมวล 2 ทิศทาง , การรับอากาศ 2 ทาง ;

โปรไฟล์บริษัท

บริษัทของเราสามารถให้บริการการออกแบบระบบการเคลือบสุญญากาศที่หลากหลายแก่ลูกค้าซึ่งสามารถให้ความยืดหยุ่นในการปรับตำแหน่งแผ่นฟิล์มหลายชั้นฟิล์มฉนวนและการเตรียมฟิล์มผสมเพื่อให้เป็นไปตามข้อกำหนดของการเตรียมฟิล์ม เครื่องเคลือบการระเหยแบบมัลติฟังก์ชันที่พัฒนาขึ้นนี้มีการใช้งานอย่างแพร่หลายในการวิจัยและพัฒนาผลิตภัณฑ์ OLED และ OPV ด้วยการกำหนดค่ามาตรฐานบริษัทของเราสามารถปรับแต่งเครื่องเคลือบเพื่อวัตถุประสงค์เฉพาะเครื่องมือเคลือบแบบพกพาเครื่องมือทดสอบและผลิตภัณฑ์สุญญากาศที่ไม่ได้มาตรฐานตามความต้องการของลูกค้า

 

การรับรอง

การบรรจุและการจัดส่ง

ความพึงพอใจของลูกค้าความรับผิดชอบของเรา !
" ความสามัคคีความเคร่งครัดความริเริ่ม และ นวัต กรรม " คือ แก่นสำคัญ ของ   วัฒนธรรมองค์กร ของ แอคมี   รากฐานมาจาก    ปรัชญาธุรกิจ ของ
"  ความพึงพอใจของลูกค้าความ รับผิดชอบของเรา !",  ความ  เป็นอยู่ที่เหนือความคาดหวังของลูกค้า และ ได้  รับความไว้วางใจ จาก   บริษัทที่มีชื่อเสียงหลายแห่ง
Acme   ให้บริการมืออาชีพและรวดเร็วสำหรับลูกค้าทุกรายก่อนการขายการขาย และ  งานบริการหลังการขาย บริการในพื้นที่จังหวัด เมืองและภูมิภาคต่างๆในประเทศและ จัดตั้ง สำนักงาน  ใน พื้นที่ที่มีลูกค้าสนใจมากมายการ ให้บริการ    อยู่เคียงข้างคุณ
 เพื่อที่จะ สร้าง     ซัพพลายเออร์ไฟฟ้าทองคำทั่วโลก ACME  จะรับ  " เทคโนโลยี  ลำดับความสำคัญ  , คุณภาพที่เชื่อถือได้ และ  ความพึงพอใจของลูกค้า " เป็นไป  ตามเป้าหมายสูงสุด  โดยยึดถือตามเงื่อนไขการบริการ   ของ  "  ความพึงพอใจของลูกค้า "  สร้าง   ภาพลักษณ์ของ แบรนด์ของ ACME  Energy อย่างระมัดระวัง  และ ให้  บริการลูกค้าด้วยการ  บริการหลังการขายที่รวดเร็วและมีประสิทธิภาพที่สุด  ในขณะเดียวกัน  ให้  การฝึกอบรมที่ครอบคลุม สำหรับ  ลูกค้าและ จัดระเบียบอย่างแข็งขัน
 การแลกเปลี่ยนทางเทคนิค , บรรลุ  การเติบโตร่วมกัน , และ เป้าหมายที่ประสบความสำเร็จในการชนะ

1 การตอบสนองรวดเร็ว :
 แผนกวิศวกรรมบริการลูกค้าให้    บริการสนับสนุนด้านเทคนิคและ   การให้คำปรึกษาโซลูชันแก่ลูกค้าในช่วงเวลา 7X24 ชั่วโมง   การตอบสนองของบริการนอกสถานที่ :
เมือง : มาถึงภายใน 2  ชั่วโมง  ( พร้อม  ด้วยเมืองร้านค้าที่ให้บริการ )  ภายใน  จังหวัด : มา ถึงภายใน  24  ชั่วโมง
นอก จังหวัด : มาถึง ในอีก 48  ชั่วโมง
นอกจากนี้ ACME ยังมีบริการพิเศษหลังการขายซึ่งให้  บริการฉุกเฉินและสามารถ ไป   ถึงที่เกิด   เหตุได้เร็วที่สุด  

2 กลไกการซ่อมบำรุง 24/7 แบบ :
365 วัน : บริการทุกวัน , บริการครบวงจร  ;    บริการให้คำปรึกษา 24 ชั่วโมง  , ตลอดเวลา   ;
บริการสนับสนุนทางเทคนิคตลอด 24 ชั่วโมงรับรองได้ว่า
บริการถึงสถานที่ 24 ชั่วโมงเพื่อความสบายใจ   

3 ทีมบริการ :
ทีมสนับสนุนก่อนการขาย : การให้คำปรึกษาด้านเทคนิคก่อนการขายระดับมืออาชีพโดย    เจ้าหน้าที่มืออาชีพและเจ้าหน้าที่เทคนิคทีม สนับสนุนด้านเทคนิค : มีการให้บริการหลังการขายอย่างรอบคอบโดย    วิศวกรบริการหลังการขายมืออาชีพ
   เสมียนจัดการคำร้องเรียนของลูกค้า : รับ   คำร้องเรียนที่มีขนาดใหญ่ จาก ลูกค้าจัดการ  กับตัวพวกเขาอย่างรวดเร็วและ   ให้ความคิดเห็นในเวลาที่เหมาะสม

4 แผนบริการที่มนุษย์กำหนด
 คำแนะนำจากระยะไกล :  ให้การสนับสนุนทางเทคนิค เช่น  โทรศัพท์และ  อีเมล์ระยะไกล     บริการถึงที่ตั้ง :  การบำรุงรักษาในสถานที่การ สนับสนุนทางเทคนิค และ  บริการอื่นๆ
บริการตรวจสอบ : ให้บริการตรวจดูทรายที่จะกลับมาเป็นประจำ
บริการหยุดนิ่ง :  ให้บริการหยุดนิ่งในระยะยาว ที่จำเป็นสำหรับ โครงการ