ข้อมูลพื้นฐาน
การเคลือบผิว
การเคลือบด้วยสุญญากาศ
คำอธิบายสินค้า
คำอธิบายผลิตภัณฑ์
ระบบเคลือบนี้เป็นโครงสร้างช่องสุญญากาศแบบกลมที่มีไอเสียที่ด้านหลังและโครงสร้างประตูหน้าและผลิตจากสแตนเลสสตีลที่มีคุณภาพสูง ชิ้นงานแมกเนตรอนขนาด 2 นิ้ว ( หรือ 3 นิ้ว ) หนึ่งเครื่องมีการติดตั้งไว้ที่แผ่นด้านบนของช่องตำแหน่งแบบพ่นน้ำ ทิศทางของลำแสงขาออกจะไปทางชั้นซับสเตรตและจะได้ฟิล์มบางๆบนซับสเตรต อุปกรณ์มีโครงสร้างที่เรียบง่ายและสามารถใช้ในการวิจัยและพัฒนาฟิล์มอเนกประสงค์แบบชั้นเดียวและหลายชั้นระดับนาโนเช่นฟิล์มแข็งฟิล์มโลหะฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์ฟิล์มไดอีเล็กฟิล์มคอมโพสิต ฟิล์มแม่เหล็กฟิล์มแม่เหล็กและวัสดุฟิล์มบางชนิดอื่นๆ .
พารามิเตอร์หลักของระบบ l ระดับสุญญากาศสูงสุด : ≤6 × 10 5Pa ( ได้ภายใน 12 ชั่วโมงภายใต้การทำความสะอาด + การอบและการเพิ่มก๊าซ );
l เวลาในการดูดฝุ่น : ภายใน 30 นาที , ≤6 × 10 Pa
l อุณหภูมิการอุ่นแผ่นซับสเตรต : ≤600 º C;
l ขนาดของแผ่นซับสเตรต : ≤Φ3inch เวเฟอร์ ;
l จำนวนชั้นวางซับสเตรต : 1 ชุด ;
l ขนาดชิ้นงาน : เส้นผ่านศูนย์กลาง 50 มม . ( อุปกรณ์เสริม 3 นิ้ว );
l จำนวนชิ้นงาน : 1 หรือ 2
l ขนาดช่องสุญญากาศ : DN250*9 340 ( สามารถปรับได้อย่างเหมาะสมตามสภาพจริง );
l ระยะการเคลื่อนที่ของซับสเตรตซับสเตรต : ≤50 มม . ( ทิศทางตามแกน );
l มุมระหว่างแกนชิ้นงานและแกนการหมุนซับสเตรต : แบบสีไปพร้อมกัน ;
ระบบก๊าซ : ไอดี 2 ทิศทาง , 1 ทิศทางใช้สำหรับไอเสีย ;
| รายการ | ข้อมูลจำเพาะและคำอธิบาย |
| ช่องสุญญากาศ | ช่องสุญญากาศสปัตเตอริง | DN220*1 320 สามารถปรับขนาดได้ตามความต้องการด้านการออกแบบสามารถเปิดฝาด้านบนและเปิดประตูได้ |
วาล์วแบบปีกผีเสื้อสุญญากาศสูงพิเศษ | DN100, การควบคุมไฟฟ้า , ฟังก์ชันแรงดันคงที่อัตโนมัติเสริม |
ปั๊มโมเลกุล | ปั๊มโมเลกุล 110L/S หรือ 150L/S |
ปั๊มแบบกลไก | ปั๊มใบพัดแบบหมุน DVR16 สามารถใช้เป็นปั๊มก่อนปั๊มและปั๊มด้านหน้าได้อีกด้วย |
วาล์วแผ่นกั้น | วาล์วแผ่นกันแม่เหล็กไฟฟ้า DN25, เปิดท่อเตรียมปั๊ม |
วาล์วหยุด | ปลอกหุ้มแยกคู่สีวาล์วหยุดไฟฟ้า 6 มม |
อุปกรณ์ให้แสงสว่างและอุปกรณ์สำหรับอบ | ไม่จำเป็น |
หน้าแปลนและหน้าต่างตรวจสอบมีหลายชนิด | DN16, 35 63 100 150 |
ท่อส่งสเตนเลส , ข้อต่อท่อ | ข้อมูลจำเพาะที่หลากหลายของท่อสแตนเลสสตีล , เบลโล , ข้อต่อท่อ |
| การวัดสุญญากาศและอากาศเข้า | เกจสุญญากาศแบบคอมโพสิตดิจิตอล | 5227 ประกอบด้วยเกจสุญญากาศหรือเกจแบบเต็มช่วงนำเข้าเป็นอุปกรณ์เสริม |
เกจเปล่าที่เป็นโลหะ | อินเตอร์เฟซโลหะ ZJ52T, ZJ27 |
ตัวควบคุมการไหลเชิงมวล | D07-7B ตัวควบคุมการไหลเชิงมวล , ช่วง 100scCM |
ท่อและตัวเชื่อมต่อ | ห้องควบคุมก๊าซผสม |
วาล์วหยุด | ปลอกหุ้มแยกคู่สีวาล์วหยุดไฟฟ้า 6 มม |
ช่องรับและอินเตอร์เฟซควบคุมอื่นๆ | มีการควบคุมไฟฟ้าวาล์วควบคุมแรงดันและการป้อนกลับมาให้ |
| แร็คตัวอย่าง | การหมุนชั้นซับสเตรต | การหมุนซับสเตรตการยกชั้นซับสเตรต |
อุปกรณ์ยก | การยกการปรับด้วยตนเอง |
อุปกรณ์ทำความร้อนตัวซับสเตรตน้ำกระเซ็น | อุปกรณ์ทำความร้อน ≤600 º C เป็นอุปกรณ์เสริม |
แหล่งจ่ายไฟควบคุมอุณหภูมิ | ญี่ปุ่นการควบคุมอุณหภูมิ Shimaden การควบคุมอุณหภูมิ PID |
| ระบบสปัตเตอริง | การควบคุมแม่เหล็กชิ้นงานที่มีการกระตุก | ชิ้นงานแบบพ่นน้ำในตัว , มีแผงหน้าลำโพงให้เลือก 2 นิ้วหรือ 3 นิ้ว |
แหล่งจ่ายไฟสปัตเตอริง | 500 วัตต์เป็นอุปกรณ์เสริม DC หรือ RF |
ชั้นวางอุปกรณ์ | การจัดวางแบบรวม |
ระบบน้ำและก๊าซ | รวมทั้งเครื่องทำน้ำเย็น |
ระบบควบคุม | คู่มือมาตรฐานการควบคุมหน้าจอสัมผัสอัตโนมัติเสริม |
พารามิเตอร์หลักของระบบ :
l ระดับสุญญากาศสูงสุด : ≤5 × 10 5Pa ( ได้ภายใน 12 ชั่วโมงภายใต้การทำความสะอาด + การอบและการเพิ่มก๊าซ );
l เวลาในการดูดฝุ่น : ภายใน 40 นาที , ≤5 × 10 Pa
l อุณหภูมิการอุ่นแผ่นซับสเตรต : ≤600 º C (iodine ทังสเตน ), การทำความร้อน
l ขนาดของแผ่นซับสเตรต : ≤Φ3inch เวเฟอร์กลม ;
l ขนาดชิ้นงาน : 2 นิ้วหรือ 3 นิ้ว
l จำนวนชิ้นงาน : 3
l ขนาดช่องสุญญากาศ : 400 × 400 × H380~80 450 ( สามารถปรับได้ตามเงื่อนไขจริง );
l ระยะการเคลื่อนที่ของซับสเตรตซับสเตรต : ≤50 มม . ( ทิศทางตามแกน );
l มุมระหว่างแกนชิ้นงานและแกนการหมุนซับสเตรต : แบบสีไปพร้อมกัน ;
ระบบก๊าซ : ไอดี 4 ทิศทาง , 1 ทิศทางสำหรับไอเสีย ;
เครื่องเคลือบขนาดเล็กนี้มีโครงสร้างกะทัดรัดและรูปลักษณ์เรียบง่ายและสง่างาม ใช้งานและบำรุงรักษาได้ง่ายและมีต้นทุนการใช้งานต่ำ ตัวเครื่องและระบบควบคุมอิเล็กทรอนิกส์ของอุปกรณ์นี้ได้รับการออกแบบให้เป็นไปอย่างกลมกลืน ตัวเครื่องประกอบด้วยชั้นวางอุปกรณ์ระบบปั๊มและช่องสุญญากาศ กระบวนการเคลือบจะดำเนินการในช่องสุญญากาศแบบพ่นน้ำส่วนควบคุมอิเล็กทรอนิกส์เป็นตู้ควบคุมมาตรฐานซึ่งมีกล่องปลั๊กอินแบบโมดูลหลายกล่อง ระบบมีประสิทธิภาพสูงและมีประสิทธิภาพคงที่
พารามิเตอร์พื้นฐานของเครื่องเคลือบด้วยแมกเนตรอนชนิดสุญญากาศที่มีกำลังแรงสูงพิเศษมีดังต่อไปนี้ :
l สุญญากาศสูงสุดของช่องเคลือบผิว : ≤6 × 10 5Pa
l เวลาการปั๊ม : ดีกว่า 6 × 10 Pa ภายใน 30 นาที
l ขนาดช่องสุญญากาศ : 300 × 300 × H350 มม . ช่องสุญญากาศสร้างขึ้นจากสแตนเลสสตีล
l ขนาดและปริมาณของชิ้นงาน : φ50mm μ m 2 ชิ้นงานแม่เหล็กถาวร ;
l ปรับระยะของซับสเตรตเป้าหมายได้ (1~100 40 มม ., ปรับตำแหน่งของชิ้นงานได้ );
การหมุนซับสเตรต L: ปรับความเร็ว 0~60 รอบต่อนาที ; มีระบบทำความร้อนสามารถทำความร้อนได้ถึง 500 องศา ;
l ขนาดเครื่องจักรหลัก : กว้างประมาณ 1100 มม . × กว้าง 750 มม . × สูง 1650 มม .
l ชนิดก๊าซ : MFC 2 ทาง , การจัดวางก๊าซที่ใช้งาน + ก๊าซปฏิกิริยา ;
l การวัดความหนาฟิล์ม : มีชุดมิเตอร์วัดความหนาฟิล์มผลึกควอทซ์และหัวเข็มแบบดั้งเดิม ( อุปกรณ์เสริม );
l ระบบควบคุม : ใช้หน้าจอสัมผัส + การควบคุม PLC เพื่อควบคุมการเริ่มและหยุดปั๊มวาล์วและการแจ้งเตือนเอาต์พุตต่างๆ
พารามิเตอร์หลักของระบบ :
l ระดับสุญญากาศสูงสุด : ≤5 × 10 5Pa ( ได้ภายใน 12 ชั่วโมงภายใต้การทำความสะอาด + การอบและการเพิ่มก๊าซ );
l เวลาในการดูดฝุ่น : ภายใน 40 นาที , ≤5 × 10 Pa
l อุณหภูมิการอุ่นแผ่นซับสเตรต : ≤600 º C (iodine ทังสเตน ), การทำความร้อน
l ขนาดของแผ่นซับสเตรต : ≤Φ3inch เวเฟอร์กลม ;
l ขนาดชิ้นงาน : 2 นิ้วหรือ 3 นิ้ว
l จำนวนชิ้นงาน : 4
l ขนาดช่องสุญญากาศ : 500 × 500 × H450 ( สามารถปรับได้อย่างเหมาะสมตามสภาพจริง );
l ระยะการเคลื่อนที่ของซับสเตรตซับสเตรต : ≤50 มม . ( ทิศทางตามแกน );
l มุมระหว่างแกนชิ้นงานและแกนการหมุนซับสเตรต : แบบสีไปพร้อมกัน ;
ระบบก๊าซ : อากาศเข้า 4 ซึ่งมี 1 ซึ่งใช้สำหรับการระบาย
พารามิเตอร์พื้นฐานของเครื่องเคลือบด้วยแมกเนตรอนชนิดสุญญากาศที่มีกำลังแรงสูงพิเศษมีดังต่อไปนี้ :
l สุญญากาศสูงสุดของช่องเคลือบผิว : ≤6 × 10 5Pa
l เวลาการปั๊ม : ดีกว่า 8 × 10 Pa ภายใน 30 นาที
l ขนาดช่องสุญญากาศ : 300 มม . × 300 มม . × H400 มม . ช่องสุญญากาศสร้างขึ้นจากสแตนเลสสตีลและมีหน้าต่างตรวจสอบแก้ว
l ขนาดและปริมาณของชิ้นงาน : φ50mm μ m 2 ชิ้นงานแม่เหล็กถาวร ( ในตัว );
l แหล่งจ่ายไฟเอาต์พุต : แหล่งจ่ายไฟ DC ดิจิตอล 2 วัตต์แบบพ่นน้ำแรงดันสูง ;
l การควบคุมแรงดันพร้อมด้วยเกจฟิล์มและวาล์วผีเสื้อไฟฟ้าเพื่อให้ควบคุมแรงดันได้อย่างสม่ำเสมอ
l ระยะเคลื่อนที่แนวนอน 0 มม . พร้อมแผ่นแยกเพื่อหลีกเลี่ยงการตกหล่นของสแลกในระหว่างการเคลื่อนที่ ;
l ระบบกดร้อน : ลดอุณหภูมิการอุ่นแผ่นซับสเตรต : 0 º C สามารถปรับแต่งได้อย่างต่อเนื่อง แผ่นด้านบนถูกควบคุมด้วยการกดลง
l ขนาดยูนิตหลัก : ความยาว 1060 มม . × ความกว้าง 600 มม . × ความสูง 1600 มม . ( ขนาดจะถูกปรับอย่างเหมาะสมตามความต้องการ )
l ชนิดก๊าซ : ตัวควบคุมการไหลเชิงมวล 2 ทิศทาง , การรับอากาศ 2 ทาง ;
โปรไฟล์บริษัท
บริษัทของเราสามารถให้บริการการออกแบบระบบการเคลือบสุญญากาศที่หลากหลายแก่ลูกค้าซึ่งสามารถให้ความยืดหยุ่นในการปรับตำแหน่งแผ่นฟิล์มหลายชั้นฟิล์มฉนวนและการเตรียมฟิล์มผสมเพื่อให้เป็นไปตามข้อกำหนดของการเตรียมฟิล์ม เครื่องเคลือบการระเหยแบบมัลติฟังก์ชันที่พัฒนาขึ้นนี้มีการใช้งานอย่างแพร่หลายในการวิจัยและพัฒนาผลิตภัณฑ์ OLED และ OPV ด้วยการกำหนดค่ามาตรฐานบริษัทของเราสามารถปรับแต่งเครื่องเคลือบเพื่อวัตถุประสงค์เฉพาะเครื่องมือเคลือบแบบพกพาเครื่องมือทดสอบและผลิตภัณฑ์สุญญากาศที่ไม่ได้มาตรฐานตามความต้องการของลูกค้า
การรับรอง
การบรรจุและการจัดส่ง
ความพึงพอใจของลูกค้าความรับผิดชอบของเรา !
" ความสามัคคีความเคร่งครัดความริเริ่ม และ นวัต กรรม " คือ แก่นสำคัญ ของ วัฒนธรรมองค์กร ของ แอคมี รากฐานมาจาก ปรัชญาธุรกิจ ของ
" ความพึงพอใจของลูกค้าความ รับผิดชอบของเรา !", ความ เป็นอยู่ที่เหนือความคาดหวังของลูกค้า และ ได้ รับความไว้วางใจ จาก บริษัทที่มีชื่อเสียงหลายแห่ง
Acme ให้บริการมืออาชีพและรวดเร็วสำหรับลูกค้าทุกรายก่อนการขายการขาย และ งานบริการหลังการขาย บริการในพื้นที่จังหวัด เมืองและภูมิภาคต่างๆในประเทศและ จัดตั้ง สำนักงาน ใน พื้นที่ที่มีลูกค้าสนใจมากมายการ ให้บริการ อยู่เคียงข้างคุณ
เพื่อที่จะ สร้าง ซัพพลายเออร์ไฟฟ้าทองคำทั่วโลก ACME จะรับ " เทคโนโลยี ลำดับความสำคัญ , คุณภาพที่เชื่อถือได้ และ ความพึงพอใจของลูกค้า " เป็นไป ตามเป้าหมายสูงสุด โดยยึดถือตามเงื่อนไขการบริการ ของ " ความพึงพอใจของลูกค้า " สร้าง ภาพลักษณ์ของ แบรนด์ของ ACME Energy อย่างระมัดระวัง และ ให้ บริการลูกค้าด้วยการ บริการหลังการขายที่รวดเร็วและมีประสิทธิภาพที่สุด ในขณะเดียวกัน ให้ การฝึกอบรมที่ครอบคลุม สำหรับ ลูกค้าและ จัดระเบียบอย่างแข็งขัน
การแลกเปลี่ยนทางเทคนิค , บรรลุ การเติบโตร่วมกัน , และ เป้าหมายที่ประสบความสำเร็จในการชนะ
1 การตอบสนองรวดเร็ว :
แผนกวิศวกรรมบริการลูกค้าให้ บริการสนับสนุนด้านเทคนิคและ การให้คำปรึกษาโซลูชันแก่ลูกค้าในช่วงเวลา 7X24 ชั่วโมง การตอบสนองของบริการนอกสถานที่ :
เมือง : มาถึงภายใน 2 ชั่วโมง ( พร้อม ด้วยเมืองร้านค้าที่ให้บริการ ) ภายใน จังหวัด : มา ถึงภายใน 24 ชั่วโมง
นอก จังหวัด : มาถึง ในอีก 48 ชั่วโมง
นอกจากนี้ ACME ยังมีบริการพิเศษหลังการขายซึ่งให้ บริการฉุกเฉินและสามารถ ไป ถึงที่เกิด เหตุได้เร็วที่สุด
2 กลไกการซ่อมบำรุง 24/7 แบบ :
365 วัน : บริการทุกวัน , บริการครบวงจร ; บริการให้คำปรึกษา 24 ชั่วโมง , ตลอดเวลา ;
บริการสนับสนุนทางเทคนิคตลอด 24 ชั่วโมงรับรองได้ว่า
บริการถึงสถานที่ 24 ชั่วโมงเพื่อความสบายใจ
3 ทีมบริการ :
ทีมสนับสนุนก่อนการขาย : การให้คำปรึกษาด้านเทคนิคก่อนการขายระดับมืออาชีพโดย เจ้าหน้าที่มืออาชีพและเจ้าหน้าที่เทคนิคทีม สนับสนุนด้านเทคนิค : มีการให้บริการหลังการขายอย่างรอบคอบโดย วิศวกรบริการหลังการขายมืออาชีพ
เสมียนจัดการคำร้องเรียนของลูกค้า : รับ คำร้องเรียนที่มีขนาดใหญ่ จาก ลูกค้าจัดการ กับตัวพวกเขาอย่างรวดเร็วและ ให้ความคิดเห็นในเวลาที่เหมาะสม
4 แผนบริการที่มนุษย์กำหนด
คำแนะนำจากระยะไกล : ให้การสนับสนุนทางเทคนิค เช่น โทรศัพท์และ อีเมล์ระยะไกล บริการถึงที่ตั้ง : การบำรุงรักษาในสถานที่การ สนับสนุนทางเทคนิค และ บริการอื่นๆ
บริการตรวจสอบ : ให้บริการตรวจดูทรายที่จะกลับมาเป็นประจำ
บริการหยุดนิ่ง : ให้บริการหยุดนิ่งในระยะยาว ที่จำเป็นสำหรับ โครงการ
ที่อยู่:
Room 1907, Unit 1, Building 1, North Zone, Rongjian Fortune Times Center, 26688 Jingshi Road, Huaiyin District, Jinan City, Jinan, Shandong, China
ประเภทของธุรกิจ:
ผู้ผลิต/โรงงานผลิต, บริษัทการค้า
ขอบเขตธุรกิจ:
อุปกรณ์และชิ้นส่วนอุตสาหกรรม, เครื่องจักรการผลิตและแปรรูป, ไฟฟ้าและอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์
การรับรองของระบบการจัดการ:
ISO 9001, ISO 9000, ISO 14001
แนะนำบริษัท:
Acme เป็นบริษัทวิศวกรรมผู้ผลิตและให้คำปรึกษาสำหรับผลิตภัณฑ์ไฟฟ้าผู้ผลิตระดับโลกและผู้ให้บริการแหล่งจ่ายไฟ AC ที่มีความถี่คงที่แหล่งจ่ายไฟความถี่แปรผันกองทัพการบินที่ออกแบบมาเฉพาะถ้าใช้แหล่งจ่ายไฟแบบคงที่แหล่งจ่ายไฟ DC แหล่งจ่ายไฟอินเวอร์เตอร์แหล่งจ่ายไฟสลับสาย (SMPS), 25Hz-1kHz เครื่องจ่ายไฟสำรอง (UPS) แหล่งจ่ายไฟฉุกเฉิน (EPS) โหลดไฟฟ้าทางอิเล็กทรอนิกส์ที่ป้อนพลังงานแหล่งจ่ายไฟปฏิกิริยาและแหล่งจ่ายไฟที่ครอบคลุมอื่นๆ
บริษัทได้ฝึกอบรมทีมงานที่มีพรสวรรค์ด้านการบริหารจัดการและพรสวรรค์ด้านการวิจัยและพัฒนาที่มีคุณภาพสูงผ่านการสั่งสมทางเทคนิคและการอนุรักษ์บุคลากรที่มีความสามารถ การลงทุนด้านการวิจัยและพัฒนาที่แข็งแกร่งทำให้ผลิตภัณฑ์ได้รับการปรับปรุงอย่างต่อเนื่องเพื่อตอบสนองความต้องการที่แตกต่างกันของผู้ใช้
การที่จะเป็นผู้นำในระดับสากลคือเป้าหมายของการต่อสู้อย่างต่อเนื่องของบริษัท ผลิตภัณฑ์ไฟฟ้าของ Acme ได้ถูกนำไปใช้อย่างกว้างขวางในด้านข้อมูลเครื่องใช้ภายในบ้านการบินอวกาศทางรถไฟ พลังงานไฟฟ้า , โทรคมนาคม , ปิโตรเลียม , เคมี , ถ่านหิน , การเงิน , หลักทรัพย์ , วิทยุและโทรทัศน์ , การตรวจสอบคุณภาพ , การรักษาความปลอดภัยสาธารณะ , การทหารการต่อเรือการแพทย์และสุขภาพหน่วยงานราชการการศึกษาและระบบและอุตสาหกรรมอื่นๆและมีชื่อเสียงดี
ความพึงพอใจของลูกค้าคือเป้าหมายสูงสุดของเรา !