ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว ระบบ CVD ที่มีประสิทธิภาพสูง ประกอบด้วยเครื่องกำเนิดไฟฟ้าแบบพลาสมาเตาหลอมท่อแบบสามโซนทำความร้อนเตาหลอมแบบมีท่อทำความร้อนเดียวแหล่งจ่ายไฟ RF และระบบสุญญากาศ
เพื่อให้ปฏิกิริยาทางเคมีเกิดขึ้นที่อุณหภูมิต่ำลงกิจกรรมของพลาสมาจะถูกนำมาใช้เพื่อส่งเสริมปฏิกิริยาดังกล่าวและ CVD จึงเรียกว่าการลดตำแหน่งของไอเคมีที่ดีขึ้นด้วยพลาสมา (PECVD) อุปกรณ์การเตรียมฟิล์ม PECVD จะทำให้ก๊าซที่ประกอบด้วยอะตอมที่ประกอบด้วยฟิล์มซึ่งใช้เอาต์พุต RF ขนาด 13.56 MHz เป็นพลาสมาในช่องสุญญากาศใช้กิจกรรมทางเคมีที่แข็งแกร่งของพลาสมาปรับปรุงสภาพการตอบสนองและใช้ประโยชน์จากกิจกรรมพลาสมาเพื่อส่งเสริมการตอบสนอง จากนั้นนำฟิล์มที่ต้องการติดบนซับสเตรต
แอปพลิเคชัน :
อุปกรณ์นี้สามารถใช้ในการทดสอบได้หลายประเภทเช่นการเตรียมการทำกราฟการจัดเตรียมเกลือซัลไฟและการเตรียมวัสดุสำหรับนาโนเมตร ฟิล์มหลายชนิดเช่น SiOx, SiNx, ซิลิคอน amorphous ซิลิคอน , ซิลิกอนไมโครคริสตัล , นาโน - ซิลิกอน , คุณสามารถเก็บ SIC, ข้าวหลามตัดฯลฯไว้บนพื้นผิวของแผ่นหรือตัวอย่างที่มีรูปร่างคล้ายกันและใส่ฟิล์มชนิด p และฟิล์มชนิด n ที่เจือบนฟิล์มได้ ฟิล์มที่ใช้ถ่ายทำนี้มีความสม่ำเสมอแน่นสม่ำเสมอติดและเป็นฉนวน ซึ่งมีการใช้อย่างแพร่หลายในพื้นที่ของหัวกัดแม่พิมพ์ความเที่ยงตรงสูงการเคลือบแบบแข็งการตกแต่งแบบไฮเอนด์ฯลฯ
| เตาหลอมท่อสุญญากาศ | รุ่น | TN-PECVD50-Q 1200 | |
| วัสดุของท่อ | ควอทซ์ความบริสุทธิ์สูง | ||
| เส้นผ่านศูนย์กลางท่อ | 50 มม | ||
| ความยาวท่อ | 1000 มม | ||
| ความยาวส่วนเตาหลอม | 660 มม | ||
| ความยาวโซนร้อน | 200 มม +200 มม +200 มม | ||
| อุณหภูมิในการทำงาน | 0 º C | ||
| ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ | ±1 º C | ||
| โหมดควบคุมอุณหภูมิ | การควบคุมอุณหภูมิโปรแกรม 50 หรือ 30 segment | ||
| โหมดการแสดงผล | LED ( แสดงท่อดิจิตอลที่มีแถบสี ) | ||
| วิธีซีล | 304 หน้าแปลนสุญญากาศสแตนเลสสตีล | ||
| อินเตอร์เฟซหน้าแปลน | ข้อต่อปลอกตัดขนาด 1 นิ้ว 4 ( ø8 ข้อต่อเจดีย์ ) | ||
| สุญญากาศ | 4.4 × 10E-3Pa | ||
| แหล่งจ่ายไฟ | AC: 220V 50 Hz | ||
| ระบบจ่ายก๊าซ | รุ่น | TN-3F | |
| ช่องทางการขายแก๊ส | 3 ช่อง | ||
| หน่วยการวัด | มิเตอร์วัดการไหลแบบทุ่นก๊าซ | ||
| ระยะการวัด | A channer: 0 มล . สำหรับก๊าซ H2 | มิเตอร์วัดการไหลของก๊าซประเภทและช่วงที่เกี่ยวข้อง สามารถเลือกได้ตามความต้องการของลูกค้า | |
| B channer: 16 มล . N2 Gas | |||
| ช่อง C: 25 ~ ก๊าซ AR 250 มล | |||
| ความแม่นยำในการวัด | ±2.0 % | ||
| ความต้านทานแรงดันท่อ | 3MPa | ||
| ความแตกต่างของแรงดันในการทำงาน | 50 kPa | ||
| ท่อเชื่อมต่อ | 304 สแตนเลสสตีล | ||
| ช่องทางการขายแก๊ส | 304 วาล์วเข็มสแตนเลสสตีล | ||
| ข้อมูลจำเพาะของอินเตอร์เฟซ | ข้อต่อปลอกตัดขนาด 1 4 นิ้วสำหรับทางเข้าและทางออกก๊าซ | ||
| ระบบไอเสีย | ปั๊มแบบกลไก | GHD-031B | |
| อัตราการปั๊ม | 4 ลิตร / วินาที | ||
| อินเตอร์เฟซท่อไอเสีย | KF16 | ||
| การวัดค่าสุญญากาศ | มาตรวัด Pirani | ||
| สุญญากาศสูงสุด | 1 × 10E-1Pa | ||
| แหล่งจ่ายไฟ | AC: 220V 50 Hz | ||
| อินเตอร์เฟซการปั๊ม | KF40 | ||
รูปภาพที่เกี่ยวข้องของ PECVD Vacuum Furnace
Q. คุณเป็นผู้ผลิตหรือบริษัทการค้าใช่หรือไม่ ?
A. เราเป็นผู้ผลิตเครื่องมือทางห้องปฏิบัติการระดับมืออาชีพมีทีมออกแบบและโรงงานของตนเองมีประสบการณ์ทางเทคนิคที่สมบูรณ์และสามารถรับประกันคุณภาพของผลิตภัณฑ์และราคาที่เหมาะสมได้
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว 
