After-sales Service: | on-Line Service |
---|---|
Warranty: | One Year |
Application: | Industry, School, Lab |
Customized: | Customized |
Certification: | CE |
Structure: | Portable |
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
อุปกรณ์เคลือบผิวแบบ CVD พร้อมเตาหลอมแบบท่อ
ข้อมูลจำเพาะของเครื่องเคลือบ CVD
แหล่งจ่ายไฟ RF |
ความถี่สัญญาณ |
±MHz 0.005 13.5% |
|
ช่วงเอาต์พุตกำลังไฟ |
0 ~ 300 วัตต์ |
||
กำลังสะท้อนสูงสุด |
100W |
||
กำลังแสงสะท้อน ( ที่กำลังสูงสุด ) |
<3W |
||
ความเสถียรของกำลังแสง |
±0.1 % |
||
เตาหลอมท่อ |
วัสดุของท่อ |
ควอทซ์ความบริสุทธิ์สูง |
|
เส้นผ่านศูนย์กลางภายนอกของท่อ |
100 มม |
||
ความยาวท่อ |
1200 มม |
||
ความยาวส่วนเตาหลอม |
40 มม |
||
ความยาวโซนร้อน |
200 มม .+200 มม . ( โซนอุณหภูมิสองโซน ) |
||
ความยาวโซนอุณหภูมิคงที่ |
200 มม |
||
อุณหภูมิการทำงานต่อเนื่อง |
สูงสุด 1100º C |
||
ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ |
±1 º C |
||
โหมดควบคุมอุณหภูมิ |
ควบคุมอุณหภูมิโปรแกรม 30 segment |
||
โหมดการแสดงผล |
LCD |
||
วิธีซีล |
304 หน้าแปลนสุญญากาศสแตนเลสสตีล |
||
การจ่ายก๊าซ ระบบ |
รุ่น |
CY 6 Z |
|
หมายเลขช่อง |
6 |
||
หน่วยการวัด |
ตัวควบคุมการไหลเชิงมวล |
||
ระยะการวัด |
ช่องสัญญาณ : 0 ~200SCCCM สำหรับ H2 |
หมายเหตุ : หากต้องการช่วงอื่นโปรดระบุเมื่อสั่งซื้อ มิเตอร์วัดการไหลของก๊าซและ ช่วงที่เกี่ยวข้องเป็นอุปกรณ์เสริมตามความต้องการเฉพาะของลูกค้า |
|
B channy: 0 ~200SCCCM สำหรับ CH4 |
|||
ช่อง C: 0 ถึง 200SCCCM สำหรับ C2H4 |
|||
ช่อง C: 0 ถึง 500 SCCCM สำหรับ N2 |
|||
ช่อง D: 0 ถึง 500SCCCM สำหรับ NH3 |
|||
E Channel: 0 ถึง 500SCCCM สำหรับ AR |
|||
ความแม่นยำในการวัด |
±1.5 %F.S |
||
ความแตกต่างของแรงดันในการทำงาน |
-0.15Mpa~0.15Mpa |
||
ท่อเชื่อมต่อ |
304 สแตนเลสสตีล |
||
ช่องทางการขายแก๊ส |
304 วาล์วเข็มสแตนเลสสตีล |
||
ข้อมูลจำเพาะของอินเตอร์เฟซ |
ขั้วต่อหุ้มโลหะขนาด 1 นิ้ว 4 สำหรับทางเข้าและทางออกก๊าซ |
||
ระบบสุญญากาศ |
ปั๊มแบบกลไก |
ปั๊มใบพัดแบบหมุนสองจังหวะ |
|
อัตราการปั๊ม |
1.1L/min |
||
การวัดค่าสุญญากาศ |
เกจความต้านทาน |
||
สุญญากาศสูงสุด |
1.0E-1Pa |
||
อินเตอร์เฟซการปั๊ม |
KF16 |
||
รางเลื่อน |
สามารถเลื่อนเตาหลอมในบริเวณที่มีอุณหภูมิสองโซนเพื่อทำให้อุณหภูมิ เพิ่มขึ้นและลดลงอย่างรวดเร็ว |
||
แหล่งจ่ายไฟ |
AC220V 50Hz |
1 เรามีเครื่อง CVD/PECVD ที่มีระบบจ่ายก๊าซ + ระบบสุญญากาศ + เตาหลอมแบบท่อ + เครื่องกำเนิดไฟฟ้าแบบพลาสมา
เตาหลอมท่อ ( อุณหภูมิ ): 1200C, 1400C, 1600C สามารถปรับอุณหภูมิได้ 2
เตา หลอมท่อ ( โซนทำความร้อน ): สามารถ ใช้งานโซนเดี่ยวโซนคู่สามโซนปรับระดับได้ตามต้องการ 3
4 สามารถปรับแต่งท่อได้ทั้งแบบควอตซ์ , corundum และท่อโลหะผสม
5 สามารถปรับแต่งท่อที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางและความยาวแตกต่างกันได้
เครื่องกำเนิดไฟฟ้าพาสม่า : 100W, 150W, 300W วัตต์ , 500 วัตต์ , 6 1000W, และกำลังอื่นๆของตัวสร้างพลาสมาสามารถปรับแต่งได้
7 มิเตอร์วัดการไหล 1~3 หรือมัลติแชนเนลเป็นอุปกรณ์เสริมตามกระบวนการของคุณ
เราสามารถจัดส่ง CVD, PECVD ทางทะเลทางอากาศทางบกและทาง Express ได้เรายังสามารถจัดเตรียมการจัดส่งสินค้าตามความต้องการของคุณได้อีกด้วย
Q. คุณเป็นผู้ผลิตหรือบริษัทการค้า ?
A. เราเป็นผู้ผลิต เครื่องมือสำหรับห้องปฏิบัติการระดับมืออาชีพเรามีทีมงานวิจัยและพัฒนามืออาชีพและศูนย์ปฏิบัติการซึ่งสามารถให้คำมั่นสัญญาถึงบริการหลังการขายและการขอรับบริการได้
Q. การรับประกันของคุณเป็นอย่างไร ?
A. การรับประกันของเราคือ 12 เดือนและ ให้การบำรุงรักษาตลอดอายุการใช้งาน เราให้บริการออนไลน์ตลอด 24 ชั่วโมง
คำถามเวลาจัดส่งสินค้าของคุณนานเท่าใด ถ้าฉันต้องการปรับแต่งอุปกรณ์จะใช้เวลานานเท่าใด
a. 5-10 วัน -- ในร้าน ผลิตภัณฑ์ที่กำหนดเอง -- โดยปกติจะใช้เวลา 30-60 วันขึ้นอยู่กับความต้องการของคุณ
Q. พาวเวอร์ซัพพลายและปลั๊ก ?
A. เราสามารถให้ผลิตภัณฑ์ที่สอดคล้องกับมาตรฐานของแรงดันไฟฟ้าและปลั๊กในท้องถิ่นของคุณได้
คำถามวิธีการชำระเงิน
A. T T, L / C, D / P ฯลฯ
Q. พัสดุสินค้าเป็นอย่างไร ? วิธีการจัดส่ง
A. เครื่องหมายการรับช่วงส่งออกมาตรฐานบรรจุภัณฑ์ไม้หรือตามความต้องการของท่าน
เราจะหารือเกี่ยวกับโครงการของคุณหรือไม่
โปรดติดต่อและเราสามารถทำงานร่วมกันเพื่อให้คุณได้รับคำตอบและโซลูชันที่คุณต้องการ
เราจะช่วยให้คุณบรรลุเป้าหมายของคุณได้อย่างไร อุปสรรคทางเทคนิคใดที่ทีมวิศวกรของเราสามารถช่วยให้คุณเอาชนะได้ โปรดกดปุ่ม " ติดต่อเรา " เพื่อติดต่อกับเราเรายินดีอย่างยิ่งที่ได้รับทราบข้อมูลการวิจัยของคุณและช่วยเหลือคุณในทุกวิธีที่เราสามารถทำได้
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ