ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว ระบบเลเซอร์หมุนเวียน , อุปกรณ์เคลือบด้วยเลเซอร์
อุปกรณ์ PLD series ส่วนใหญ่ใช้เพื่อขยายคริสตัลออปติคอล , เฟอร์โรอิเล็กทริก , แม่เหล็กเฟอร์รอสโรแม่เหล็ก , ซุปเปอร์ทริคเตอร์และวัสดุฟิล์มบางผสมอินทรีย์ซึ่งเหมาะสำหรับการเติบโตของวัสดุฟิล์มบางชนิดเลเยอร์ซับซ้อนที่มีจุดหลอมเหลวสูง , มีส่วนประกอบของก๊าซหลายส่วนประกอบและมีส่วนประกอบอยู่ภายใน
อุปกรณ์สามารถแบ่งออกเป็น 5 ส่วนตามโครงสร้างภายนอกได้แก่ช่องปรับตำแหน่ง PLD ระบบการวัดสุญญากาศระบบปั๊มสุญญากาศโต๊ะทำงานและตู้ควบคุมไฟฟ้า
2.1 ช่องการลดตำแหน่ง PLD
โครงสร้างช่องสุญญากาศทรงกลมขนาด Φ450mm ผลิตจากวัสดุสแตนเลสสตีล 1Cr18Ni9Ti การเชื่อมอาร์คอาร์กอน (argon), การเคลือบผิวด้วยแก้วสเปรย์ (Surface glass) อัตราการรั่วไหลของสุญญากาศต่ำกว่า 5.0 × 10 Pป่า .I/S อินเตอร์เฟซจะถูกซีลด้วยปะเก็นโลหะหรือวงแหวนยางฟลูออรีนและมีกระบอก Φ220 ที่ด้านล่างของช่องสุญญากาศติดตั้งอยู่บนพื้นผิวการทำงาน ฝาปิดขอบมีด CF150 เชื่อมต่ออยู่ด้านล่างและเชื่อมต่อวาล์วเกตแบบแมนนวล CF150 แล้ว เชื่อมต่อชุดท่อบายพาส CF150 และเชื่อมต่อระบบปั๊มโมเลกุล 620 ด้านหน้าของช่องสุญญากาศมีประตูยางกันรั่วที่มีหน้าต่างตรวจสอบซึ่งมีเส้นผ่านศูนย์กลาง ø Φ150mm ใช้สำหรับการใส่ตัวอย่างและออกรวมถึงการเปลี่ยนและบำรุงรักษาวัสดุเป้าหมาย ติดตั้งแพลตฟอร์มชิ้นงานที่กำลังหมุนทางด้านซ้ายของหน้าต่างการตรวจสอบ ติดตั้งโต๊ะทำความร้อนตัวอย่างให้ตรงกับตารางเป้าหมายที่หมุนอยู่ บนระนาบแนวนอนเดียวกันกับแพลตฟอร์มเป้าหมายที่หมุนได้โดยทำมุม 135 ° จะจัดวางกรอบการตรวจสอบเหตุการณ์สองกรอบที่มีเส้นผ่าศูนย์กลาง Φ100mm μ m แต่ละรุ่นมีทั้งอินฟราเรดและควอทซ์อัลตราไวโอเลต เหนือช่องสุญญากาศมีการทำงานที่มีเส้นผ่านศูนย์กลาง ø Φ100mm และหน้าต่างตรวจสอบสองหน้าต่าง มีพอร์ตปีกสำรอง CF35 สองพอร์ตสำหรับการอัปเกรดอุปกรณ์ ตัวเครื่องช่องสุญญากาศมีเกจความต้านทาน , เกจอิออนเซชัน , วาล์วมุมดันเลือดแบบแมนนวล KF40, Φ10 วาล์วระบายแบบแมนนวลและขั้วไฟฟ้าการอบไฟ CF35
2.1.1 แท่นวางชิ้นงานหมุน
1 สามารถติดตั้งชิ้นงานสี่ชิ้นได้ครั้งเดียวโดยมีขนาดของชิ้นงานดังนี้ (i) Φ60mm ~ φ25mm
2 วัสดุของชิ้นงานแต่ละชิ้นสามารถหมุนได้ด้วยตัวเองความเร็วคือ 5-50 รอบต่อนาทีปรับได้อย่างต่อเนื่องและควบคุมด้วยกลไกการถ่ายทอดแม่เหล็กที่ขับเคลื่อนด้วยสเต็ปเปอร์มอเตอร์
3 กลไกการเปลี่ยนตำแหน่งของชิ้นงานด้วยกลไกการถ่ายทอดด้วยแม่เหล็กที่ขับเคลื่อนด้วยสเต็ปเปอร์มอเตอร์
4 ฝาครอบป้องกันชิ้นงานจะป้องกันชิ้นงานทั้งสามชิ้นและมีเพียงชิ้นงานเดียวที่ถูกพ่นน้ำเพื่อสร้างฟิล์มในเวลาหนึ่งเพื่อหลีกเลี่ยงการปนเปื้อนระหว่างชิ้นงาน
2.1.2 ตัวอย่างส่วนประกอบของแท่นวางเครื่องทำความร้อน
1 ขนาดของซับสเตรต : Φ60mm , สามารถวาง Φ60mm ตัวอย่าง Φ10mm μ s, ใช้วิธีการยึดทางกลและเปลี่ยนตัวอย่างโดยการใส่ฝาซับสเตรตกลับเข้าที่
2 อุณหภูมิสูงสุดของการทำความร้อนตัวอย่างคือ 800 º C±1 º C โดยเทอร์โมคัปเปิลเป็นสัญญาณย้อนกลับแบบปิด ( สามารถทำความร้อนพิเศษสำหรับการวิจัยออกไซด์ได้ )
3 ซับสเตรตสามารถหมุนอย่างต่อเนื่องความเร็วคือ 5~50 รอบต่อนาทีซึ่งเสร็จสิ้นโดยสเต็ปปิ้งมอเตอร์ขับเคลื่อนกลไกเพลา
4 ระยะห่างระหว่างชิ้นงานและซับสเตรตสามารถปรับได้ที่ 20 - 80 มม . ซึ่งทำได้โดยกลไกการปรับเบลโลแบบแมนนวลด้านนอกช่องซับสเตรตที่เคลื่อนที่
อุปกรณ์เสริมสำหรับหน้าต่าง 2.1.3 ชิ้น
1 ช่องกระจกควอตซ์ ( แถบอัลตราไวโอเลต 248nm, สำหรับการตกของเลเซอร์ ) Φ100mm
2 หน้าต่างกระจกควอตซ์ ( ความถี่อินฟราเรด ) Φ100mm
3 Φ100mm ช่องกระจกออปติคัล
2 ระบบปั๊มสุญญากาศ 1.4
ประกอบด้วยปั๊มโมเลกุล 160/620 KYKY 1
ติดตั้งปั๊มกลไก 2XZ-8B 1 ตัว
4 ท่อเบลโลขนาด Ф40 μ m
ติดตั้งวาล์วระบายอากาศ 1 ตัว
ติดตั้ง 2 KF40 ที่มีวาล์วมุมสุญญากาศโซลีนอยด์ระบาย
ประกอบด้วย 1 KF40 ที่มีวาล์ววัดมุมสุญญากาศแม่เหล็กไฟฟ้าเป่าลม
มีวาล์วเกตแบบแมนนวล CF150 1 ตัว
มีวาล์วมุมแบบแมนนวล 2 CF35
มีตะแกรงโมเลกุลเป็นชุด
2.1.5 เส้นทางสุญญากาศ
มีมิเตอร์วัดการไหลเป็นมวลสองช่อง , การปรับเทียบก๊าซ N2 100 SCCCM เข้าไปในถังผสมก๊าซและผ่านวาล์วแบบมุมแมนนวล
2.1.6 ระบบการวัดสุญญากาศ
ระบบการวัดสุญญากาศประกอบด้วยเกจการวัดและเกจสุญญากาศ เครื่องจักรมีการติดตั้งเกจความต้านทานการใส่โดยตรงและเกจแตกตัวของโลหะ วัดระดับสุญญากาศของบรรยากาศประมาณ 2x10 - 5Pa
2.1.7 โต๊ะทำงาน
เวิร์คเบนช์นั้นประกอบด้วยเฟรมและการ์ด ตะแกรงเป็นโครงกระดูกของอุปกรณ์ติดตั้งชิ้นส่วนรองรับ ติดตั้งเส้นทางก๊าซท่อระบายน้ำและองค์ประกอบอื่นๆภายใน
2.1.8 ตู้ควบคุมไฟฟ้า
ตู้ควบคุมไฟฟ้ามีชุดควบคุมหน้าจอสัมผัสหน้าจอแสดงการไหลแหล่งจ่ายไฟทำความร้อนซับสเตรตแหล่งจ่ายไฟทำให้เป็นไอออนแหล่งจ่ายไฟฟ้าปั๊มโมเลกุลขนาด 620L และแหล่งจ่ายไฟรวม
1 ชุดควบคุมสุญญากาศถูกควบคุมโดย PLC + หน้าจอสัมผัสซึ่งควบคุมระบบการปั๊มสุญญากาศกระบวนการเคลื่อนไหวของการหมุนตัวอย่างและระบบแสงหน้าจอสัมผัสเป็นหน้าจอสีขนาด 7 นิ้ว
2 ซับสเตรตและแหล่งจ่ายไฟควบคุมการทำความร้อนแบบออร์แกนิกประกอบด้วยมิเตอร์ SR3 ที่นำไฟฟ้าได้ ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิอยู่ที่ ±0.5 º C อุณหภูมิความร้อนสูงสุดคือ 800 º C
3 สัญญาณการไหลหนึ่งสายพานสอง
4 แหล่งจ่ายไฟแตกตัวเป็นไอออนใช้ในการทำความสะอาดซับสเตรต 3KW/1KW
5 FF160, 620 แรงดันของปั๊มโมเลกุลจะควบคุมการเริ่มต้น , หยุดและการทำงานของปั๊มโมเลกุล
6 ที่ด้านล่างคือกล่องเพาเวอร์หลัก เมื่อปิดสวิตช์อากาศอุปกรณ์จะเปิดโดยสมบูรณ์ มีสัญญาณเตือนเฟสต่อเนื่อง
ข้อมูลจำเพาะของเครื่องเคลือบ PLD
|
ด้วยแรงดูดจากช่องถอด PLD ที่มีประสิทธิภาพสูงสุด |
ดีกว่า 5x10-5Pa |
|
ความเร็วในการปั๊มของห้องควบคุมลดตำแหน่ง PLD |
ภายใน 40 นาทีจะดีกว่า 7x10-4Pa |
|
การคงแรงดันห้องลดตำแหน่ง PLD |
12 ชั่วโมง <10Pa |
|
การอุ่นแผ่นซับสเตรต |
800 º C |
|
ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ |
±0.5 º C |
|
ความเร็วในการเคลื่อนที่ของซับสเตรต |
5~50 รอบต่อนาที |
|
ตำแหน่งของชิ้นงาน |
4 ตำแหน่ง |
|
ขนาดซับสเตรต |
Φ60 |
|
แหล่งจ่ายไฟ |
~380V ระบบแหล่งจ่ายไฟห้าเฟส , กำลังไฟ <7KW |
|
น้ำหล่อเย็น |
ปริมาณการหมุนเวียน >15L/Min อุณหภูมิน้ำหล่อเย็น 15 º C ~30 º C |
|
อุณหภูมิในสภาพแวดล้อมการทำงาน |
10 º C; 40 º C |
|
ความชื้นในสภาพแวดล้อมการทำงาน |
30 ประมาณ 60 % |
|
พื้นที่ของชั้น |
2000x2500 มม |
Q. คุณเป็นผู้ผลิตหรือบริษัทการค้า ?
A. เราเป็นผู้ผลิต เครื่องมือสำหรับห้องปฏิบัติการระดับมืออาชีพเรามีทีมงานวิจัยและพัฒนามืออาชีพและศูนย์ปฏิบัติการซึ่งสามารถให้คำมั่นสัญญาถึงบริการหลังการขายและการขอรับบริการได้
Q. การรับประกันของคุณเป็นอย่างไร ?
A. การรับประกันของเราคือ 12 เดือนและ ให้การบำรุงรักษาตลอดอายุการใช้งาน เราให้บริการออนไลน์ตลอด 24 ชั่วโมง
คำถามเวลาจัดส่งสินค้าของคุณนานเท่าใด ถ้าฉันต้องการปรับแต่งอุปกรณ์จะใช้เวลานานเท่าใด
a. 5-10 วัน -- ในร้าน ผลิตภัณฑ์ที่กำหนดเอง -- โดยปกติจะใช้เวลา 30-60 วันขึ้นอยู่กับความต้องการของคุณ
Q. พาวเวอร์ซัพพลายและปลั๊ก ?
A. เราสามารถให้ผลิตภัณฑ์ที่สอดคล้องกับมาตรฐานของแรงดันไฟฟ้าและปลั๊กในท้องถิ่นของคุณได้
คำถามวิธีการชำระเงิน
A. T T, L / C, D / P ฯลฯ
Q. พัสดุสินค้าเป็นอย่างไร ? วิธีการจัดส่ง
A. เครื่องหมายการรับช่วงส่งออกมาตรฐานบรรจุภัณฑ์ไม้หรือตามความต้องการของท่าน
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว 
