After-sales Service: | on-Line Service |
---|---|
Warranty: | One Year |
แอปพลิเคชัน: | อุตสาหกรรม, โรงเรียน, แล็บ |
ปรับแต่ง: | ปรับแต่ง |
การรับรอง: | CE |
โครงสร้าง: | พกพาสะดวก |
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
เครื่อง CVD (PECVD) แบบพลาสมาของแล็บสำหรับการเตรียมตัวซัลไฟด์
ข้อมูลจำเพาะของระบบ PECVD
เตาหลอมท่อในโซนทำความร้อนสองเตา | รุ่นผลิตภัณฑ์ | TN-PE-HPCVD-50R-2-Q 1100 | |
วัสดุท่อเตาหลอม | ควอทซ์ความบริสุทธิ์สูง | ||
เส้นผ่านศูนย์กลางท่อ | 50 มม | ||
ความยาวท่อเตา | 1200 มม | ||
ความยาวส่วนเตาหลอม | 40 มม | ||
ความยาวโซนร้อน | 200 มม .+200 มม | ||
อุณหภูมิในการทำงาน | 0 º C | ||
ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ | ±1 º C | ||
โหมดควบคุมอุณหภูมิ | การควบคุมอุณหภูมิโปรแกรม 50 หรือ 30 segment | ||
โหมดการแสดงผล | หน้าจอสัมผัส LCD สีแบบ Full HD | ||
วิธีซีล | 304 หน้าแปลนสุญญากาศสแตนเลสสตีล | ||
แหล่งจ่ายไฟ | AC: 220V 50 Hz 2.5kw | ||
ระบบเอาต์พุต RF | ช่วงกำลังไฟ | 0 ~ 500 วัตต์ปรับได้ | |
ความถี่ในการทำงาน | 0.005 MHz+13.5% | ||
โหมดการทำงาน | เอาต์พุตต่อเนื่อง | ||
โหมดความต้านทานที่ตรงกัน | สามารถปรับให้เข้ากันได้และแสงจะกระจายทั่วท่อเตาหลอม | ||
ความเสถียรของกำลังแสง | ≤2 วัตต์ | ||
กำลังแสงสะท้อนในการทำงานปกติ | ≤3W | ||
เพิ่มกำลังที่สะท้อน | ≤70 วัตต์ | ||
องค์ประกอบฮาร์โมนิค | ø ≤ 50dBc | ||
ประสิทธิภาพโดยรวม | ≥70 % | ||
ปัจจัยกำลังไฟ | ≥90 % | ||
แรงดัน / ความถี่ของแหล่งจ่ายไฟ | ความถี่ AC หนึ่งเฟส (187V~153V) ความถี่ 50 Hz | ||
โหมดควบคุม | การ สื่อสารของรีโมทคอนโทรล /PLC อะนาล็อก / RS232/232/485 ภายใน | ||
การตั้งค่าการป้องกันพลังงาน | การป้องกันกระแสไฟเกินแบบ DC เครื่องขยายสัญญาณเสียงมีการป้องกันอุณหภูมิสูงเกินไปการป้องกันกำลังไฟสะท้อน | ||
วิธีการระบายความร้อน | การระบายความร้อนด้วยอากาศอัด | ||
ให้ความร้อนที่จุดสว่าง | ภายใต้ AR แหล่งจ่ายไฟความถี่วิทยุและคอยล์จะร่วมมือกับแสงไฟเพื่อเติมเข้าไปในท่อเตาหลอม | ||
เรือระเหย | อุณหภูมิในการทำงาน | 1300 º C | |
แหล่งการระเหย | ตะแกรงลวดทังสเตนเสริมอลูมิเนียมเรียวซึ่งเป็นอุปกรณ์เสริม | ||
เทอร์โมคับเปลอร์ | S พิมพ์ Thermocouple | ||
กระแสไฟฟ้าขณะทำงาน | ≤30A | ||
กำลังไฟสูงสุด | 500 วัตต์ | ||
ระบบการจัดส่งก๊าซ | มิเตอร์วัดการไหล | มิเตอร์วัดการไหลแบบมวลสี่ช่อง | |
ช่วงการไหล | ช่วง MFC1: 0 ~ 0 ซม . MFC2 ช่วง : ~ 200 ซม ช่วง MFC3 : 0 ซม . MFC4 ช่วง : 0 ซม ที่สอดคล้องกับก๊าซ H2, CH4, N2, AR |
||
ความแม่นยำในการวัด | ±1.5 %F.S | ||
อัตราการทำซ้ำ | ±0.2 % FS | ||
ความแม่นยำเชิงเส้น | ±1 % F.S. | ||
เวลาตอบสนอง | ≤4s | ||
ความกดดันในการทำงาน | -0.15Mpa~0.15Mpa | ||
การควบคุมการไหล | การควบคุมหน้าจอสัมผัส LCD, จอแสดงผลดิจิตอล , ก๊าซแต่ละช่องมีวาล์วเข็มสำหรับการควบคุมแยกกัน | ||
อินเตอร์เฟซไอดี | สามารถเชื่อมต่อ กับ เส้นผ่านศูนย์กลางภายนอก 1/4NPS หรือ 1 มม ท่อสแตนเลสสตีล | ||
เต้ารับอินเตอร์เฟซ | สามารถเชื่อมต่อ กับ เส้นผ่านศูนย์กลางภายนอก 1/4NPS หรือ 1 มม ท่อสแตนเลสสตีล | ||
วิธีการเชื่อมต่อ | ขั้วต่อหุ้มโลหะคู่ | ||
อุณหภูมิในการทำงาน | 5 º C | ||
การเตรียมก๊าซล่วงหน้า | ติดตั้งอุปกรณ์ผสมก๊าซแบบสำเร็จ | ||
ระบบไอเสีย | รุ่นผลิตภัณฑ์ | TN-GZK103-A | |
ปั๊มโมเลกุล | ปั๊มโมเลกุล | ||
ปั๊มสำรอง | ปั๊มใบพัดแบบหมุนสองขั้นตอน | ||
อัตราการปั๊ม | ปั๊มโมเลกุล : 600L/S | ประสิทธิภาพการปั๊มที่ครอบคลุม : 30 นาทีสุญญากาศสามารถทำงานได้ถึง 5 × 10E-3Pa | |
ปั๊มใบพัดแบบหมุน : 1.1M/S | |||
สุญญากาศสูงสุด | 5 × 10E-4Pa | ||
พอร์ตปั๊ม | KF40 | ||
อินเตอร์เฟซท่อไอเสีย | KF16 | ||
การวัดค่าสุญญากาศ | เกจสุญญากาศรวม |
1 เรามีเครื่อง CVD/PECVD ที่มีระบบจ่ายก๊าซ + ระบบสุญญากาศ + เตาหลอมแบบท่อ + เครื่องกำเนิดไฟฟ้าแบบพลาสมา
เตาหลอมท่อ ( อุณหภูมิ ): 1200C, 1400C, 1600C สามารถปรับอุณหภูมิได้ 2
เตา หลอมท่อ ( โซนทำความร้อน ): สามารถ ใช้งานโซนเดี่ยวโซนคู่สามโซนปรับระดับได้ตามต้องการ 3
4 สามารถปรับแต่งท่อได้ทั้งแบบควอตซ์ , corundum และท่อโลหะผสม
5 สามารถปรับแต่งท่อที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางและความยาวแตกต่างกันได้
เครื่องกำเนิดไฟฟ้าพาสม่า : 100W, 150W, 300W วัตต์ , 500 วัตต์ , 6 1000W, และกำลังอื่นๆของตัวสร้างพลาสมาสามารถปรับแต่งได้
7 มิเตอร์วัดการไหล 1~3 หรือมัลติแชนเนลเป็นอุปกรณ์เสริมตามกระบวนการของคุณ
บริษัทเจิ้งโจวเติงฟิล์ม Materials Co., Ltd. เป็นบริษัทที่มีความครอบคลุมในด้านการออกแบบการวิจัยและการพัฒนาการผลิตและการขาย
ผลิตภัณฑ์หลักของบริษัทได้แก่ : สารเคลือบเกลียว , สารระเหยความร้อน , สารเคลือบแม่เหล็กสี , สารเคลือบผิวพลาสมา , สารระเหยของลำแสงอิเล็กทรอนิกส์ , เครื่องเคลือบด้วยเลเซอร์แบบพัลส์ PLD, อุปกรณ์ทำความสะอาดพลาสมา , ระบบ CVD, ระบบ PECVD, เครื่องตัดสายข้าวหลามตัด , เตาหลอมละลาย / เตาหลอม , เตาหลอมละลายส่วนโค้ง , ฯลฯ
ผลิตภัณฑ์ของเรามีการใช้อย่างแพร่หลายในงานวิจัยทางด้านวัสดุศาสตร์ เรามีความร่วมมืออย่างมากกับมหาวิทยาลัยในประเทศห้องปฏิบัติการและบริษัทวัสดุใหม่ ซึ่งประสบความสำเร็จในการส่งออกไปยังประเทศและภูมิภาคต่างๆกว่า 20 ประเทศรวมถึงสหรัฐอเมริกาสหราชอาณาจักรเยอรมนีรัสเซียสวิตเซอร์แลนด์ แคนาดา บราซิลฯลฯ และ ได้สร้างความสัมพันธ์ที่ดีกับตัวแทนจำหน่ายในท้องถิ่นในระยะยาว
หากคุณทำการวิจัยด้านวัสดุโปรดติดต่อเราและเราจะให้บริการที่ปรับแต่งตามความต้องการของคุณเพื่อทำให้การทดลองของคุณราบรื่นยิ่งขึ้น !
เราสามารถจัดส่ง CVD, PECVD ทางทะเลทางอากาศทางบกและทาง Express ได้เรายังสามารถจัดเตรียมการจัดส่งสินค้าตามความต้องการของคุณได้อีกด้วย
Q. คุณเป็นผู้ผลิตหรือบริษัทการค้า ?
A. เราเป็นผู้ผลิต เครื่องมือสำหรับห้องปฏิบัติการระดับมืออาชีพเรามีทีมงานวิจัยและพัฒนามืออาชีพและศูนย์ปฏิบัติการซึ่งสามารถให้คำมั่นสัญญาถึงบริการหลังการขายและการขอรับบริการได้
Q. การรับประกันของคุณเป็นอย่างไร ?
A. การรับประกันของเราคือ 12 เดือนและ ให้การบำรุงรักษาตลอดอายุการใช้งาน เราให้บริการออนไลน์ตลอด 24 ชั่วโมง
คำถามเวลาจัดส่งสินค้าของคุณนานเท่าใด ถ้าฉันต้องการปรับแต่งอุปกรณ์จะใช้เวลานานเท่าใด
a. 5-10 วัน -- ในร้าน ผลิตภัณฑ์ที่กำหนดเอง -- โดยปกติจะใช้เวลา 30-60 วันขึ้นอยู่กับความต้องการของคุณ
Q. พาวเวอร์ซัพพลายและปลั๊ก ?
A. เราสามารถให้ผลิตภัณฑ์ที่สอดคล้องกับมาตรฐานของแรงดันไฟฟ้าและปลั๊กในท้องถิ่นของคุณได้
คำถามวิธีการชำระเงิน
A. T T, L / C, D / P ฯลฯ
Q. พัสดุสินค้าเป็นอย่างไร ? วิธีการจัดส่ง
A. เครื่องหมายการรับช่วงส่งออกมาตรฐานบรรจุภัณฑ์ไม้หรือตามความต้องการของท่าน
เราจะหารือเกี่ยวกับโครงการของคุณหรือไม่
โปรดติดต่อและเราสามารถทำงานร่วมกันเพื่อให้คุณได้รับคำตอบและโซลูชันที่คุณต้องการ
เราจะช่วยให้คุณบรรลุเป้าหมายของคุณได้อย่างไร อุปสรรคทางเทคนิคใดที่ทีมวิศวกรของเราสามารถช่วยให้คุณเอาชนะได้ โปรดกดปุ่ม " ติดต่อเรา " เพื่อติดต่อกับเราเรายินดีอย่างยิ่งที่ได้รับทราบข้อมูลการวิจัยของคุณและช่วยเหลือคุณในทุกวิธีที่เราสามารถทำได้
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ