ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว เครื่องเคลือบแบบ Pecvd พร้อมมิเตอร์วัดการไหลแบบแมสหกทิศทาง สำหรับการทำลายฟิล์ม SiOx SiNx
การเคลือบไอเคมีที่ดียิ่งขึ้น (Chemical Duse) (PECVD) เป็นประเภท ของการเคลือบไอเคมีที่มีลักษณะเฉพาะโดยการใช้การเปิดใช้พลาสมาที่อุณหภูมิต่ำเพื่อ เพิ่มความมีปฏิกิริยาเคมีกับไอเคมีที่มีความผิดปกติ ข้อดีของวิธีการนี้คืออุณหภูมิที่ลดลงต่ำอัตราการลอกตำแหน่งเร็วและฟิล์ม ที่ผลิตมีคุณสมบัติทางไฟฟ้าที่ดีเยี่ยมการเกาะติดของซับสเตรตที่ดีและการครอบคลุมขั้นตอนที่ดีเยี่ยม
ข้อมูลจำเพาะของระบบ PECVD
| หมายเลขรุ่น | TN-PECVD-500T-SS | |
| ขนาดของเบ้า | PHI 500 - | |
| ความยาวของโซนอุ่น | 200 | |
| แหล่งจ่ายไฟ RF | 500 วัตต์ - | |
| อุณหภูมิ | 1000 º C | |
| ปั๊ม สำหรับการตัดระยะ | ชุดปั๊มโมเลกุล | |
| ประเภทการแสดงผล | T | |
| วอร์มฟอร์มร้อน | ผม | |
| ระบบทำความเย็น | CW5200 | |
| วัสดุเบ้า | SS | |
| การอุ่นตัวอย่าง อุณหภูมิในการทำความร้อน |
สูงกว่า RT-1000 º C, ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ : ±1 ° C, ใช้มิเตอร์ควบคุมอุณหภูมิสำหรับการควบคุมอุณหภูมิ ; ปรับความเร็วได้ : 1 รอบต่อนาที |
|
| ขนาดหัวฉีด | Φ90mm ระยะห่างขั้วไฟฟ้า ระหว่างหัวฉีดสเปรย์และตัวอย่าง ปรับได้อย่างต่อเนื่องทางออนไลน์ 40 มม . ( สามารถ ปรับได้ตามกระบวนการ ) และด้วยการแสดงดัชนีแบบไม้บรรทัด | |
| ตารางตัวอย่าง | เส้นผ่านศูนย์กลาง 200 มม | |
| สุญญากาศการทำงาน สำหรับการแยกตำแหน่ง | 0.133 Pa ( ปรับแต่งได้ตามกระบวนการ ) | |
| หน้าแปลนด้านบน | สามารถยกด้วยมอเตอร์ซับสเตรตจึงเปลี่ยนง่ายและมีพอร์ตที่มองเห็นได้ | |
| ตารางซับสเตรต | การเคลื่อนที่เชิงเส้นและมุมของตารางซับสเตรตการควบคุมอุณหภูมิและความร้อนของซับสเตรตการติดตั้งตารางและการควบคุมหน้าจอแบบสัมผัสการเคลื่อนที่เชิงเส้นของซับสเตรตถูกควบคุมด้วยตนเองและการหมุนของซับสเตรตถูกควบคุมโดยมอเตอร์ DC | |
| ช่องสุญญากาศ | ชนิดช่องเปิดที่ฝาด้านหน้า ทำจากสแตนเลสสตีล ø φ500mm X 500 มม | |
| กรอบการตรวจสอบ | φ100mm พร้อมแผงหน้า | |
| มิเตอร์วัดการไหลแบบมวล | มิเตอร์วัดการไหลเชิงมวลหกทิศทาง | |
| จำนวนเส้นทาง ของก๊าซ | เส้นทางหกเส้นทาง | |
| ช่วงแรงดัน | 0.15 MPa ถึง 0.15 MPa | |
| ช่วง | 0 ถึง 100 SCCCM ( ออกซิเจน ) 0 ถึง 100 SCC (CF4) 0 ถึง 200 SCCCM (SF6) 0 ถึง 200 SCCM ( อาร์กอน ) 0 ถึง 500 SCCCM ( ก๊าซอื่นๆ ) 0-500 SCCCM ( ก๊าซไนโตรเจนอื่น ) |
|
| ช่วงการควบคุมการไหล | บวกลบ 1.5 % | |
| วัสดุที่ใช้ในเส้นทางแก๊ส | 304 สแตนเลสสตีล | |
| ข้อต่อท่อ | ข้อต่อของปลอก 6.35 มม | |
| ระบบสุญญากาศ | ปั๊มด้านหน้า : ปั๊มสุญญากาศไม่มีน้ำมัน 4.7L/S ปั๊มโมเลกุล : 1200 ลิตร / วินาที |
|
| ระยะการวัด | 1 x 10-5 ถึง 1 x 105Pa | |
| ความแม่นยำในการวัด | 1 x 10-5 ~ 1 x 10 Pa±อ่านค่าได้ 40 % 1 x 10-4 ~ 1 x 105Pa สำหรับการอ่าน ±20 % |
|
1 เรามีเครื่อง CVD/PECVD ที่มีระบบจ่ายก๊าซ + ระบบสุญญากาศ + เตาหลอมแบบท่อ + เครื่องกำเนิดไฟฟ้าแบบพลาสมา
เตาหลอมท่อ ( อุณหภูมิ ): 1200C, 1400C, 1600C สามารถปรับอุณหภูมิได้ 2
เตา หลอมท่อ ( โซนทำความร้อน ): สามารถ ใช้งานโซนเดี่ยวโซนคู่สามโซนปรับระดับได้ตามต้องการ 3
4 สามารถปรับแต่งท่อได้ทั้งแบบควอตซ์ , corundum และท่อโลหะผสม
5 สามารถปรับแต่งท่อที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางและความยาวแตกต่างกันได้
เครื่องกำเนิดไฟฟ้าพาสม่า : 100W, 150W, 300W วัตต์ , 500 วัตต์ , 6 1000W, และกำลังอื่นๆของตัวสร้างพลาสมาสามารถปรับแต่งได้
7 มิเตอร์วัดการไหล 1~3 หรือมัลติแชนเนลเป็นอุปกรณ์เสริมตามกระบวนการของคุณ
บริษัทเจิ้งโจวเติงฟิล์ม Materials Co., Ltd. เป็นบริษัทที่มีความครอบคลุมในด้านการออกแบบการวิจัยและการพัฒนาการผลิตและการขาย
ผลิตภัณฑ์หลักของบริษัทได้แก่ : สารเคลือบเกลียว , สารระเหยความร้อน , สารเคลือบแม่เหล็กสี , สารเคลือบผิวพลาสมา , สารระเหยของลำแสงอิเล็กทรอนิกส์ , เครื่องเคลือบด้วยเลเซอร์แบบพัลส์ PLD, อุปกรณ์ทำความสะอาดพลาสมา , ระบบ CVD, ระบบ PECVD, เครื่องตัดสายข้าวหลามตัด , เตาหลอมละลาย / เตาหลอม , เตาหลอมละลายส่วนโค้ง , ฯลฯ
ผลิตภัณฑ์ของเรามีการใช้อย่างแพร่หลายในงานวิจัยทางด้านวัสดุศาสตร์ เรามีความร่วมมืออย่างมากกับมหาวิทยาลัยในประเทศห้องปฏิบัติการและบริษัทวัสดุใหม่ ซึ่งประสบความสำเร็จในการส่งออกไปยังประเทศและภูมิภาคต่างๆกว่า 20 ประเทศรวมถึงสหรัฐอเมริกาสหราชอาณาจักรเยอรมนีรัสเซียสวิตเซอร์แลนด์ แคนาดา บราซิลฯลฯ และ ได้สร้างความสัมพันธ์ที่ดีกับตัวแทนจำหน่ายในท้องถิ่นในระยะยาว
หากคุณทำการวิจัยด้านวัสดุโปรดติดต่อเราและเราจะให้บริการที่ปรับแต่งตามความต้องการของคุณเพื่อทำให้การทดลองของคุณราบรื่นยิ่งขึ้น !
เราสามารถจัดส่ง CVD, PECVD ทางทะเลทางอากาศทางบกและทาง Express ได้เรายังสามารถจัดเตรียมการจัดส่งสินค้าตามความต้องการของคุณได้อีกด้วย
Q. คุณเป็นผู้ผลิตหรือบริษัทการค้า ?
A. เราเป็นผู้ผลิต เครื่องมือสำหรับห้องปฏิบัติการระดับมืออาชีพเรามีทีมงานวิจัยและพัฒนามืออาชีพและศูนย์ปฏิบัติการซึ่งสามารถให้คำมั่นสัญญาถึงบริการหลังการขายและการขอรับบริการได้
Q. การรับประกันของคุณเป็นอย่างไร ?
A. การรับประกันของเราคือ 12 เดือนและ ให้การบำรุงรักษาตลอดอายุการใช้งาน เราให้บริการออนไลน์ตลอด 24 ชั่วโมง
คำถามเวลาจัดส่งสินค้าของคุณนานเท่าใด ถ้าฉันต้องการปรับแต่งอุปกรณ์จะใช้เวลานานเท่าใด
a. 5-10 วัน -- ในร้าน ผลิตภัณฑ์ที่กำหนดเอง -- โดยปกติจะใช้เวลา 30-60 วันขึ้นอยู่กับความต้องการของคุณ
Q. พาวเวอร์ซัพพลายและปลั๊ก ?
A. เราสามารถให้ผลิตภัณฑ์ที่สอดคล้องกับมาตรฐานของแรงดันไฟฟ้าและปลั๊กในท้องถิ่นของคุณได้
คำถามวิธีการชำระเงิน
A. T T, L / C, D / P ฯลฯ
Q. พัสดุสินค้าเป็นอย่างไร ? วิธีการจัดส่ง
A. เครื่องหมายการรับช่วงส่งออกมาตรฐานบรรจุภัณฑ์ไม้หรือตามความต้องการของท่าน
เราจะหารือเกี่ยวกับโครงการของคุณหรือไม่
โปรดติดต่อและเราสามารถทำงานร่วมกันเพื่อให้คุณได้รับคำตอบและโซลูชันที่คุณต้องการ
เราจะช่วยให้คุณบรรลุเป้าหมายของคุณได้อย่างไร อุปสรรคทางเทคนิคใดที่ทีมวิศวกรของเราสามารถช่วยให้คุณเอาชนะได้ โปรดกดปุ่ม " ติดต่อเรา " เพื่อติดต่อกับเราเรายินดีอย่างยิ่งที่ได้รับทราบข้อมูลการวิจัยของคุณและช่วยเหลือคุณในทุกวิธีที่เราสามารถทำได้
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว 
