After-sales Service: | on-Line Service |
---|---|
Warranty: | One Year |
แอปพลิเคชัน: | อุตสาหกรรม, โรงเรียน, แล็บ |
ปรับแต่ง: | ปรับแต่ง |
การรับรอง: | CE |
โครงสร้าง: | พกพาสะดวก |
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
1200C Three ฮีตเตอร์ม้วนไปที่เตาหลอมหลอด PECVD ระบบการเคลือบไอเคมีที่ดียิ่งขึ้นด้วยพลาสมา
ข้อมูลจำเพาะของระบบ PECVD แบบม้วนต่อม้วน
ข้อมูลจำเพาะด้านประสิทธิภาพและการปรับตั้งค่าพื้นฐาน | |
ชื่อผลิตภัณฑ์ | หมุน เพื่อ หมุน PEVCD |
รุ่นผลิตภัณฑ์ | TN-OTF-1200X-III-PE300-RR |
แหล่งพลาสมา 1000 วัตต์ | กำลังเอาต์พุต : ปรับได้สูงสุด ±วัตต์ 1 50 % อัตราความถี่ RF:±MHz ความเสถียร 0.005 1% dB:≤55DB โหมดทำความเย็น :Forced Air Cooling กำลังไฟเข้า :1KW AC 220V |
ระบบควบคุมมิเตอร์วัดการไหลสามตัว | แรงดันไฟฟ้า :AC220V/50Hz ระบบไฟฟ้า :23 วัตต์ การควบคุมหน้าจอสัมผัส PLC ขนาดของถังผสม : ø φ80 *120 มม อุณหภูมิในการทำงาน :16~45 5 º C แรงดันสูงสุด : 3x106 Pa ความเที่ยงตรง : ±1.5 % FS เส้นตรง : ± 0.5 μ m (20.1)% 1.5 F.S. ความแม่นยำที่เกิดขึ้นซ้ำ : ±0.2 % F.S. ช่วงการไหล : เส้นทางแรก : 1~50 CCM ( ปรับเทียบมีเทน ) เส้นทางที่สอง : 1~200 SCCCM ( ปรับเทียบไฮโดรเจน ) เส้นทางที่สาม : 1~200 CCM ( ปรับเทียบอาร์กอน ) ตัวเลือกอื่นๆมีให้เลือกใช้สำหรับการปรับเทียบชนิดก๊าซตาม ความต้องการของลูกค้า |
หน่วยวัดสุญญากาศ | รุ่น :PCG-515 800 ช่วงการแสดงสถานะ : 3.8E-5 ถึง 5 25torr ความแม่นยำ : 5 × 10-4 ... 1 × 10-3 mbar N2 (N2) % ของการอ่าน ±50 1 × 10-3 ... 100 mbar N2 (N2) % ของการอ่าน ±15 100 950 mbar % ของการอ่านค่า ±5 950 1050 mbar % ของการอ่านค่า ±2.5 |
เครื่องดูดฝุ่นต่ำ | ประกอบด้วยปั๊มกลไกแบบหมุนสองรอบกรองละอองน้ำมันแนวตั้งสองชั้น ( วัสดุ PE) เกจสุญญากาศความต้านทานและข้อต่อท่อเชื่อมต่อ อัตราการดูดของปั๊มสุญญากาศ≥4.4L/s จำกัดระดับสุญญากาศที่ 10 Pa ช่วงการวัดเกจสุญญากาศ 10 PA-5 PA-5 105 Pa |
อุปกรณ์ซีลแบบม้วนต่อม้วนสำหรับฟอยล์ทองแดง | ใช้ขดลวดเพื่อม้วนและกลไกการคลายตัวเพื่อเลื่อนฟอยล์ทองแดงเข้าและออกจากวัสดุและความเร็วในการเคลื่อนที่ของฟอยล์ทองแดงสามารถปรับได้ตั้งแต่ 1 มม ./ นาที กำหนดค่าม้วนของฟอยล์ทองแดงทดสอบ กลไกการม้วนและการคลายตัวจะอยู่ในช่องสุญญากาศที่ปลายทั้งสองด้านของเตาหลอมท่อเพื่อให้แน่ใจว่าฟอยล์ทองแดงสามารถเคลื่อนที่ภายใต้สภาวะการเติบโตแบบซีลและสามารถจัดเตรียมในขนาดใหญ่ได้ อุปกรณ์ระบายความร้อนจะอยู่ระหว่างกลไกขดลวดและเตาหลอมทรงท่อสำหรับการระบายความร้อนอย่างรวดเร็วของฟอยล์ทองแดง |
ขนาดผลิตภัณฑ์ | ประมาณ 2400 ถึง 1250 ม . 800 |
น้ำหนักผลิตภัณฑ์ | ประมาณ 720 กก |
ใบรับรองคุณภาพ | CE |
ระยะเวลาการรับประกัน | หมายเหตุพิเศษ : 1 ไม่รวมอุปกรณ์สิ้นเปลืองเช่นชิ้นส่วนทำความร้อนท่อควอทซ์ตัวอย่างละลายฯลฯ 2 การรับประกันไม่ครอบคลุมถึงความเสียหายที่เกิดจากก๊าซกัดกร่อนและก๊าซกรด |
1 เรามีเครื่อง CVD/PECVD ที่มีระบบจ่ายก๊าซ + ระบบสุญญากาศ + เตาหลอมแบบท่อ + เครื่องกำเนิดไฟฟ้าแบบพลาสมา
เตาหลอมท่อ ( อุณหภูมิ ): 1200C, 1400C, 1600C สามารถปรับอุณหภูมิได้ 2
เตา หลอมท่อ ( โซนทำความร้อน ): สามารถ ใช้งานโซนเดี่ยวโซนคู่สามโซนปรับระดับได้ตามต้องการ 3
4 สามารถปรับแต่งท่อได้ทั้งแบบควอตซ์ , corundum และท่อโลหะผสม
5 สามารถปรับแต่งท่อที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางและความยาวแตกต่างกันได้
เครื่องกำเนิดไฟฟ้าพาสม่า : 100W, 150W, 300W วัตต์ , 500 วัตต์ , 6 1000W, และกำลังอื่นๆของตัวสร้างพลาสมาสามารถปรับแต่งได้
7 มิเตอร์วัดการไหล 1~3 หรือมัลติแชนเนลเป็นอุปกรณ์เสริมตามกระบวนการของคุณ
CVD-- เตาหลอมแบบท่อพร้อมโซนทำความร้อนเดี่ยว 1200C
PECVD-- ระบบเตาหลอมท่อที่ มีโซนทำความร้อนสามชั้น
PECVD-- เลื่อนไปที่ - หมุน
ชนิดหมุนได้ PECVD--
เครื่องจักรอื่นๆ :
เราสามารถจัดส่ง CVD, PECVD ทางทะเลทางอากาศทางบกและทาง Express ได้เรายังสามารถจัดเตรียมการจัดส่งสินค้าตามความต้องการของคุณได้อีกด้วย
Q. คุณเป็นผู้ผลิตหรือบริษัทการค้า ?
A. เราเป็นผู้ผลิต เครื่องมือสำหรับห้องปฏิบัติการระดับมืออาชีพเรามีทีมงานวิจัยและพัฒนามืออาชีพและศูนย์ปฏิบัติการซึ่งสามารถให้คำมั่นสัญญาถึงบริการหลังการขายและการขอรับบริการได้
Q. การรับประกันของคุณเป็นอย่างไร ?
A. การรับประกันของเราคือ 12 เดือนและ ให้การบำรุงรักษาตลอดอายุการใช้งาน เราให้บริการออนไลน์ตลอด 24 ชั่วโมง
คำถามเวลาจัดส่งสินค้าของคุณนานเท่าใด ถ้าฉันต้องการปรับแต่งอุปกรณ์จะใช้เวลานานเท่าใด
a. 5-10 วัน -- ในร้าน ผลิตภัณฑ์ที่กำหนดเอง -- โดยปกติจะใช้เวลา 30-60 วันขึ้นอยู่กับความต้องการของคุณ
Q. พาวเวอร์ซัพพลายและปลั๊ก ?
A. เราสามารถให้ผลิตภัณฑ์ที่สอดคล้องกับมาตรฐานของแรงดันไฟฟ้าและปลั๊กในท้องถิ่นของคุณได้
คำถามวิธีการชำระเงิน
A. T T, L / C, D / P ฯลฯ
Q. พัสดุสินค้าเป็นอย่างไร ? วิธีการจัดส่ง
A. เครื่องหมายการรับช่วงส่งออกมาตรฐานบรรจุภัณฑ์ไม้หรือตามความต้องการของท่าน
เราจะหารือเกี่ยวกับโครงการของคุณหรือไม่
โปรดติดต่อและเราสามารถทำงานร่วมกันเพื่อให้คุณได้รับคำตอบและโซลูชันที่คุณต้องการ
เราจะช่วยให้คุณบรรลุเป้าหมายของคุณได้อย่างไร อุปสรรคทางเทคนิคใดที่ทีมวิศวกรของเราสามารถช่วยให้คุณเอาชนะได้ โปรดกดปุ่ม " ติดต่อเรา " เพื่อติดต่อกับเราเรายินดีอย่างยิ่งที่ได้รับทราบข้อมูลการวิจัยของคุณและช่วยเหลือคุณในทุกวิธีที่เราสามารถทำได้
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ