ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว ระบบ CVD ที่มีประสิทธิภาพสูง ประกอบด้วยเครื่องกำเนิดไฟฟ้าแบบพลาสมาเตาหลอมท่อแบบสามโซนทำความร้อนเตาหลอมแบบมีท่อทำความร้อนเดียวแหล่งจ่ายไฟ RF และระบบสุญญากาศ
เพื่อให้ปฏิกิริยาทางเคมีเกิดขึ้นที่อุณหภูมิต่ำลงกิจกรรมของพลาสมาจะถูกนำมาใช้เพื่อส่งเสริมปฏิกิริยาดังกล่าวและ CVD จึงเรียกว่าการลดตำแหน่งของไอเคมีที่ดีขึ้นด้วยพลาสมา (PECVD) อุปกรณ์การเตรียมฟิล์ม PECVD จะทำให้ก๊าซที่ประกอบด้วยอะตอมที่ประกอบด้วยฟิล์มซึ่งใช้เอาต์พุต RF ขนาด 13.56 MHz เป็นพลาสมาในช่องสุญญากาศใช้กิจกรรมทางเคมีที่แข็งแกร่งของพลาสมาปรับปรุงสภาพการตอบสนองและใช้ประโยชน์จากกิจกรรมพลาสมาเพื่อส่งเสริมการตอบสนอง จากนั้นนำฟิล์มที่ต้องการติดบนซับสเตรต
แอปพลิเคชัน :
อุปกรณ์นี้สามารถใช้ในการทดสอบได้หลายประเภทเช่นการเตรียมการทำกราฟการจัดเตรียมเกลือซัลไฟและการเตรียมวัสดุสำหรับนาโนเมตร ฟิล์มหลายชนิดเช่น SiOx, SiNx, ซิลิคอน amorphous ซิลิคอน , ซิลิกอนไมโครคริสตัล , นาโน - ซิลิกอน , คุณสามารถเก็บ SIC, ข้าวหลามตัดฯลฯไว้บนพื้นผิวของแผ่นหรือตัวอย่างที่มีรูปร่างคล้ายกันและใส่ฟิล์มชนิด p และฟิล์มชนิด n ที่เจือบนฟิล์มได้ ฟิล์มที่ใช้ถ่ายทำนี้มีความสม่ำเสมอแน่นสม่ำเสมอติดและเป็นฉนวน ซึ่งมีการใช้อย่างแพร่หลายในพื้นที่ของหัวกัดแม่พิมพ์ความเที่ยงตรงสูงการเคลือบแบบแข็งการตกแต่งแบบไฮเอนด์ฯลฯ
| เตาหลอมท่อบริเวณทำความร้อนแบบ Ree-ฮีตเตอร์ | รุ่น | TN-O1200-50IIIT |
| วัสดุของท่อ | ควอทซ์ความบริสุทธิ์สูง | |
| เส้นผ่านศูนย์กลางท่อ | 50 มม | |
| ความยาวท่อ | 28 มม | |
| ความยาวส่วนเตาหลอม | 660 มม | |
| ความยาวโซนร้อน | 200 มม +200 มม +200 มม | |
| อุณหภูมิในการทำงาน | 0 º C | |
| ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ | ±1 º C | |
| โหมดควบคุมอุณหภูมิ | การควบคุมอุณหภูมิโปรแกรม 50 หรือ 30 segment | |
| โหมดการแสดงผล | LCD | |
| วิธีซีล | 304 หน้าแปลนสุญญากาศสแตนเลสสตีล | |
| อินเตอร์เฟซหน้าแปลน | หัวต่อ Ferrule 1 นิ้ว 4 , ข้อต่อ KF16/16 25/40 | |
| สุญญากาศ | 4.4E-3Pa | |
| แหล่งจ่ายไฟ | AC: 220V 50 Hz | |
| เตาหลอมท่อแบบโซนทำความร้อนเดี่ยว | รุ่น | CY, O1200-50IT |
| วัสดุของท่อ | ควอทซ์ความบริสุทธิ์สูง | |
| เส้นผ่านศูนย์กลางท่อ | 50 มม | |
| ความยาวท่อ | 28 มม | |
| ความยาวส่วนเตาหลอม | 40 มม | |
| ความยาวโซนร้อน | 400 มม | |
| โซนอุณหภูมิคงที่ | 200 มม | |
| อุณหภูมิในการทำงาน | 0 º C | |
| ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ | ±1 º C | |
| โหมดควบคุมอุณหภูมิ | การควบคุมอุณหภูมิโปรแกรม 50 หรือ 30 segment | |
| โหมดการแสดงผล | LCD | |
| วิธีซีล | 304 หน้าแปลนสุญญากาศสแตนเลสสตีล | |
| อินเตอร์เฟซหน้าแปลน | หัวต่อ Ferrule 1 นิ้ว 4 , ข้อต่อ KF16/16 25/40 | |
| สุญญากาศ | 4.4E-3Pa | |
| แหล่งจ่ายไฟ | AC: 220V 50 Hz | |
| ระบบเอาต์พุต RF | ช่วงกำลังไฟ | 0 ~ 500 วัตต์ปรับได้ |
| ความถี่ในการทำงาน | 0.005 MHz+13.5% | |
| โหมดการทำงาน | เอาต์พุตต่อเนื่อง | |
| โหมดการแสดงผล | LCD | |
| โหมดความต้านทานที่ตรงกัน | สามารถจับคู่ได้แสงที่ส่องสว่างจะถูกปกคลุมด้วยท่อเตาหลอมสำหรับพื้นที่ทำความร้อนสามท่อ | |
| ความเสถียรของกำลังแสง | ≤2 วัตต์ | |
| กำลังแสงสะท้อนในการทำงานปกติ | ≤3W | |
| เพิ่มกำลังที่สะท้อน | ≤70 วัตต์ | |
| องค์ประกอบฮาร์โมนิค | ø ≤ 50dBc | |
| ประสิทธิภาพของเครื่องจักร | ≥70 % | |
| ปัจจัยกำลังไฟ | ≥90 % | |
| แรงดัน / ความถี่ของแหล่งจ่ายไฟ | ความถี่ AC 50 เฟสเดียว (187V~153V) ความถี่ 850/60Hz | |
| โหมดควบคุม | การควบคุมภายใน / การสื่อสาร PLC แบบอะนาล็อก / RS232 / 485 | |
| การตั้งค่าการป้องกันพลังงาน | การป้องกันกระแสไฟเกิน DC, Power Amplifier เมื่อมีการป้องกันอุณหภูมิสูงเกิน , การป้องกันกำลังไฟสะท้อน | |
| วิธีการระบายความร้อน | การระบายความร้อนด้วยอากาศอัด | |
| ความยาวของแสง | ใน AR แหล่งจ่ายไฟ RF และคอยล์จะรวมกันเพื่อให้สว่างขึ้นและแสงที่ส่องสามารถเพิ่มความยาวของเตาหลอมในโซนร้อนสามโซน | |
| ระบบจ่ายก๊าซ | มิเตอร์วัดการไหลแบบมวลสี่ช่อง | มิเตอร์วัดการไหลแบบมวล |
| ช่วงการไหล | ช่วง MFC1: 0 ซม รุ่น MFC2 : 0 ซม รุ่น MFC3 : 0 ซม MFC4 ระยะ : 0 ซม ที่สอดคล้องกับก๊าซ H2, CH4, N2, AR, |
|
| ความแม่นยำในการวัด | ±1.5 %F.S | |
| อัตราการทำซ้ำ | ±0.2 % FS | |
| ความเที่ยงตรงเชิงเส้น | ±1 % F.S. | |
| เวลาตอบสนอง | ≤4s | |
| ความกดดันในการทำงาน | -0.15Mpa~0.15Mpa | |
| การควบคุมการไหล | การควบคุมหน้าจอสัมผัส LCD, จอแสดงผลดิจิตอล , ก๊าซแต่ละช่องมีเข็มวาล์วสำหรับการควบคุมแยกแต่ละตัว | |
| อินเตอร์เฟซไอดี | สามารถเชื่อมต่อกับ สแตนเลสสตีลเส้นผ่านศูนย์กลางภายนอก 1/4NPS หรือ 1 มม ท่อเหล็ก | |
| เต้ารับ | สามารถเชื่อมต่อกับ สแตนเลสสตีลเส้นผ่านศูนย์กลางภายนอก 1/4NPS หรือ 1 มม ท่อเหล็ก | |
| วิธีการเชื่อมต่อ | ขั้วต่อหุ้มโลหะคู่ | |
| อุณหภูมิในการทำงาน | 5 º C | |
| การเตรียมก๊าซล่วงหน้า | ติดตั้งอุปกรณ์ผสมก๊าซแบบสำเร็จ | |
| ระบบไอเสีย | ปั๊มแบบกลไก | ปั๊มใบพัดแบบหมุน |
| อัตราการปั๊ม | 1.1L/min | |
| อินเตอร์เฟซท่อไอเสีย | KF16 | |
| การวัดค่าสุญญากาศ | เกจความต้านทาน | |
| สุญญากาศสูงสุด | 1.0E-1Pa | |
| แหล่งจ่ายไฟ | AC: 220V 50 Hz | |
| อินเตอร์เฟซการปั๊ม | KF16 | |
| ราง | ความยาวราง | 2.5M~3 ม สามารถทำให้เกิดการเลื่อนของความยาวเตาหลอมหนึ่งตำแหน่งในเตาหลอมสามโซนทำความร้อนเพื่อให้อุณหภูมิเพิ่มขึ้นและลดลงอย่างรวดเร็ว |
รูปภาพที่เกี่ยวข้องของ PECVD Vacuum Furnace
Q. คุณเป็นผู้ผลิตหรือบริษัทการค้าใช่หรือไม่ ?
A. เราเป็นผู้ผลิตเครื่องมือทางห้องปฏิบัติการระดับมืออาชีพมีทีมออกแบบและโรงงานของตนเองมีประสบการณ์ทางเทคนิคที่สมบูรณ์และสามารถรับประกันคุณภาพของผลิตภัณฑ์และราคาที่เหมาะสมได้
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว 
