R&D โดยใช้ DB100 เครื่องฉีดแม่แบบขนาดเล็ก
DB100 เป็นระบบการวางไมโครแอสเซมบลีแบบอัตโนมัติ เครื่องทั้งเครื่องใช้แท่นเคลื่อนที่หินอ่อนเพื่อให้มั่นใจว่าการเคลื่อนที่ทั้งหมดมีความแม่นยำในระดับซับไมครอน มาพร้อมกับระบบการวัดความสูงของเลเซอร์ซึ่งสามารถตอบสนองความต้องการด้านแผ่นซับสเตรตแบบ Deep Cavity และการเชื่อมที่ได้รับการคัดสรรเป็นพิเศษ โมดูลเสริม : โมดูลทำความร้อนหัวฉีด , ระบบป้อนกลับแรงดันหัวฉีด , การจ่าย UV และโมดูลอบ , โมดูลป้องกันก๊าซไนโตรเจน , โมดูลทำความร้อนฐาน , โมดูลการตรวจสอบกระบวนการ , โมดูลการวางชิป
ความแม่นยำในการวางเครื่องสามารถไปถึง 1um ตามการกำหนดค่าที่แตกต่างกันและสามารถเปลี่ยนหัวฉีดด้วยมือได้ตามขนาดชิปที่แตกต่างกัน อุปกรณ์นี้เป็นอุปกรณ์ที่จำเป็นสำหรับการเชื่อมติดที่มีกาวความเที่ยงตรงสูงของอุปกรณ์ทางการแพทย์ระดับไฮเอนด์ ( ชุดโมดูลการสร้างภาพแกน ), อุปกรณ์ออปติก ( ชุดประกอบแถบเลเซอร์ LDpalladium VCSEL, PD เลนส์ฯลฯ ), ชิปเซมิคอนดักเตอร์ ( อุปกรณ์ MEMS, อุปกรณ์ความถี่วิทยุ , อุปกรณ์ไมโครเวฟและวงจรไฮบริด ) เหมาะสำหรับการวิจัยและพัฒนาและความต้องการในการผลิตแบบกลุ่มขนาดเล็กและหลากหลายรูปแบบสำหรับสถาบันวิจัยมหาวิทยาลัยและสถาบันการวิจัยอื่นๆห้องปฏิบัติการในองค์กร เครื่องจักรมีความเที่ยงตรงสูงประสิทธิภาพเสถียรภาพและต้นทุนสูง การทำงานสะดวกมากโดยเฉพาะสำหรับการประกอบชิปความแม่นยำสูง
| รุ่น |
DB100 |
DB100 วินาที |
| สูงสุด ขนาดชิป |
ø ≤202m*20 มม . ( เลือกได้ 50 มม .*50 มม |
| ต่ำสุด ขนาดชิป |
0.2 มม .*0.2 มม |
0.1 มม |
| ความเที่ยงตรงในการติดตั้ง |
±μ m |
±1 μ m |
| โหมดการป้อน |
2 นิ้วในรูปแบบวัฟเฟิล box * 2 |
2 นิ้วในรูปแบบวัฟเฟิล box * 2 |
| ขนาดแผ่นทำความร้อน |
150 มม .*150 มม |
110 มม .*110 มม |
| แรงดันหัวฉีดสูงสุด |
สูงสุด 200N, ต่ำสุด 2N |
สูงสุด 200N, ต่ำสุด 0.2N |
| ระบบการเคลื่อนที่แกน XYZ สูงสุด |
สกรูลูกกลิ้ง + เซอร์โวมอเตอร์ |
สกรูลูกกลิ้ง + เซอร์โวมอเตอร์ + ไม้บรรทัดบด |
| ความละเอียดของแกน X Y |
0.1um |
0.1um |
| ความละเอียดของแกน Z |
0.1um |
0.1um |
| มุมของแกน R |
ความแม่นยำในการควบคุมการหมุน : 0.01 ° |
ความแม่นยำในการควบคุมการหมุน : 0.01 ° |
| ระบบจ่ายอากาศ |
ปั๊มไดอะแฟรมอุตสาหกรรม |
ปั๊มไดอะแฟรมอุตสาหกรรม |
| เปิด / ปิด |
220V, 50Hz |
220V, 50Hz |
| น้ำหนักสุทธิ |
300 กก |
320 กก |
| ขนาด |
800 *630*599 750 มม |
800 *630*599 850 มม |
การกำหนดค่ามาตรฐาน :
ระบบการจัดวาง 1 ตำแหน่ง
2 ระบบการปรับแต่งด้วยสายตา ( การตรวจสอบอย่างเป็นระบบและการปรับแต่งความเที่ยงตรงของการติดตั้ง
ชิป )
ระบบเลเซอร์ไล่ช่วง 3
4 ระบบกาวชุบ
5 ระบบการจัดแนวด้วยภาพความแม่นยำสูง
ระบบควบคุมเซอร์โวโมชัน 6
อุปกรณ์เสริม :
1 ชุดทำความร้อนหัวพ่นด้านบน
2 ระบบการป้อนกลับแรงดันหัวฉีด
3 โมดูลการจ่ายและการรักษา UV
4 โมดูลก๊าซป้องกันไนโตรเจน
5 โมดูลอุ่นแผ่นซับสเตรต
6 แพลตฟอร์ม Eueudorangludi
7 โมดูลการวางแผ่นพลิกชิป
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว 
