เครื่องบอนน์ Small Chip Flip สำหรับ R&D โดยใช้ DB100
DB100 เป็นระบบการวางไมโครแอสเซมบลีแบบอัตโนมัติ เครื่องทั้งเครื่องใช้แท่นเคลื่อนที่หินอ่อนเพื่อให้มั่นใจว่าการเคลื่อนที่ทั้งหมดมีความแม่นยำในระดับซับไมครอน มาพร้อมกับระบบการวัดความสูงของเลเซอร์ซึ่งสามารถตอบสนองความต้องการด้านแผ่นซับสเตรตแบบ Deep Cavity และการเชื่อมที่ได้รับการคัดสรรเป็นพิเศษ โมดูลเสริม : โมดูลทำความร้อนหัวฉีด , ระบบป้อนกลับแรงดันหัวฉีด , การจ่าย UV และโมดูลอบ , โมดูลป้องกันก๊าซไนโตรเจน , โมดูลทำความร้อนฐาน , โมดูลการตรวจสอบกระบวนการ , โมดูลการวางชิป
ความแม่นยำในการวางเครื่องสามารถไปถึง 1um ตามการกำหนดค่าที่แตกต่างกันและสามารถเปลี่ยนหัวฉีดด้วยมือได้ตามขนาดชิปที่แตกต่างกัน อุปกรณ์นี้เป็นอุปกรณ์ที่จำเป็นสำหรับการเชื่อมติดที่มีกาวความเที่ยงตรงสูงของอุปกรณ์ทางการแพทย์ระดับไฮเอนด์ ( ชุดโมดูลการสร้างภาพแกน ), อุปกรณ์ออปติก ( ชุดประกอบแถบเลเซอร์ LDpalladium VCSEL, PD เลนส์ฯลฯ ), ชิปเซมิคอนดักเตอร์ ( อุปกรณ์ MEMS, อุปกรณ์ความถี่วิทยุ , อุปกรณ์ไมโครเวฟและวงจรไฮบริด ) เหมาะสำหรับการวิจัยและพัฒนาและความต้องการในการผลิตแบบกลุ่มขนาดเล็กและหลากหลายรูปแบบสำหรับสถาบันวิจัยมหาวิทยาลัยและสถาบันการวิจัยอื่นๆห้องปฏิบัติการในองค์กร เครื่องจักรมีความเที่ยงตรงสูงประสิทธิภาพเสถียรภาพและต้นทุนสูง การทำงานสะดวกมากโดยเฉพาะสำหรับการประกอบชิปความแม่นยำสูง
รุ่น |
DB100 |
DB100S |
ขนาดรอยบิ่นสูงสุด |
ø ≤มม . x 20 มม . ( เลือกได้ตั้งแต่ 50 50 มม .) |
ขนาดชิปต่ำสุด |
0.2 × 0.2 มม |
0.1 × 0.1 มม |
ความเที่ยงตรงในการติดตั้ง |
±μ m 3δ |
±1 μ m 3δ |
โหมดการป้อน |
2 นิ้วในแบบ wuffle box* 2 |
2 นิ้วในแบบ wuffle box* 2 |
ขนาดซับสเตรต |
150 × 150 มม |
110 × 110 มม |
แรงดันหัวฉีดสูงสุด |
สูงสุด 200 N, ต่ำสุด 2N |
สูงสุด 200N, ต่ำสุด 0.2N |
ระบบการเคลื่อนที่ตามแกน Z X |
สกรูลูกกลิ้ง + เซอร์โวมอเตอร์ |
สกรูลูกกลิ้ง + เซอร์โวมอเตอร์ + ไม้บรรทัดบด |
ความละเอียดของแกน X Y |
0.1um |
0.1um |
ความละเอียดแกน Z |
0.1um |
0.1um |
แกน R θ มุมของแกน |
ความแม่นยำในการควบคุมการหมุน : 0.01 ° |
ความแม่นยำในการควบคุมการหมุน : 0.01 ° |
ระบบจ่ายอากาศ |
ปั๊มไดอะแฟรมอุตสาหกรรม |
ปั๊มไดอะแฟรมอุตสาหกรรม |
เปิด / ปิด |
3KW ( ไม่รวมตาราง euetอาร์ก ติก ) |
3KW ( ไม่รวมตาราง euetอาร์ก ติก ) |
แหล่งจ่ายไฟ |
220V, 50Hz |
220V, 50Hz |
น้ำหนักสุทธิ |
150 กก |
160 กก |
ขนาด |
800 * 750 * 630mm |
800 * 750 * 630mm |
การกำหนดค่ามาตรฐาน :
ระบบการจัดวาง 1 ตำแหน่ง
2 ระบบการปรับเทียบด้วยสายตา ( การตรวจสอบอย่างเป็นระบบและการปรับเทียบความแม่นยำของชิปที่ติดตั้ง )
ระบบเลเซอร์ไล่ช่วง 3
4 ระบบกาวชุบ
5 ระบบการจัดแนวด้วยภาพความแม่นยำสูง
ระบบควบคุมเซอร์โวโมชัน 6
อุปกรณ์เสริม :
1 ชุดทำความร้อนหัวพ่นด้านบน
2 ระบบการป้อนกลับแรงดันหัวฉีด
3 โมดูลการจ่ายและการรักษา UV
4 โมดูลก๊าซป้องกันไนโตรเจน
5 โมดูลอุ่นแผ่นซับสเตรต
6 แพลตฟอร์ม Eueudorangludi
7 โมดูลการวางแผ่นพลิกชิป