การทำความสะอาดพื้นผิวเซมิคอนดักเตอร์สุญญากาศ Plasma ที่จำเป็นสูง

• After-sales Service: Engineer Go Oversea for Training
• Warranty: 1 Year
• Application: Industry, School, Lab, Institute
• Customized: Customized
• Certification: ISO
• Structure: Vertical
• ไม่ใช่ ของรุ่น: VPC42
• Material: Steel
• เปิด / ปิด: 380ac 20A
• ก๊าซ: อากาศอัด DAC, 0.5MPa
• ไนโตรเจน: 0.5MPa
• เซนเซอร์วัดอุณหภูมิ: โอเมก้า
• พื้นที่ทำความสะอาดด้านเดียว: 350 *350 มม
• มีชั้น 15 มม: ความถี่ระดับกลาง 0 khz 2 kw
• ชั้น 50 มม: 13.56hz 300w ความถี่วิทยุ
• ขนาด: 85 * 170 ซม
• แพคเพจการขนส่ง: Polywood Case
• เครื่องหมายการค้า: Torch
• ที่มา: Beijing
• กำลังการผลิต: 50sets/Month

คำอธิบายสินค้า

การทำความสะอาดพื้นผิวเซมิคอนดักเตอร์สุญญากาศ Plasma ที่จำเป็นสูง

I. ชื่ออุปกรณ์ , หมายเลขประเภท , ต้นทางและวันที่ส่งมอบ
1.1 ชื่ออุปกรณ์ : เครื่องดูดฝุ่นแบบพลาสมา
1.2 หมายเลขรุ่น : VPC42
1.3 Origin ( ประเทศผู้ผลิต ): บริษัท Beijing Torch Incorporated
1.4 วันที่จัดส่ง : 4-8 สัปดาห์หลังจากสัญญามีผล
1.5 โดยส่วนใหญ่ใช้สำหรับกระบวนการรักษาพื้นผิวพลาสมาในช่องที่มีการหุ้มเซมิคอนดักเตอร์เช่นซิลิกอนเวเฟอร์ซับสเตรตแก้วแผ่นเซรามิคแผ่นยึด IC โครงทองแดง แผงพลังงานซับสเตรตด้านเดียวขนาดใหญ่ , โมดูล IGBT, เซนเซอร์ MEMS พร้อมอุปกรณ์ติดตั้ง , อุปกรณ์ไมโครเวฟ , ฟิลเตอร์ , อุปกรณ์ RF ฯลฯ
ii.  พารามิเตอร์ประสิทธิภาพทางเทคนิคหลัก :
2.1 ปริมาตรช่องสุญญากาศ : 42 ลิตร
2.2 องศาสุญญากาศ :
ระดับสุญญากาศสูงสุดของ เครื่องดูดฝุ่นพลาสมา VPC42 คือ น้อยกว่า 2 Pa ( ปั๊มแห้งแบบกลไก 40L/Mins)
2.3 พื้นที่ทำความสะอาดที่มีประสิทธิภาพ :
พื้นที่ทำความสะอาดด้านเดียว : 350 *350 มม
15 ชั้น : ช่วง 15 มม .: ความถี่ปานกลาง 40kHz 2KW ( การเคลือบพื้นผิว )
5 ชั้น : ช่วงห่าง 50 มม ., 13.56HZ 300W ความถี่วิทยุ ( การประมวลผลระดับเสียงพร้อมการระบายความร้อนด้วยน้ำ )
2.4 ความสูงของช่องสุญญากาศ :
 ความสูงของห้อง :  350 มม . ( ขนาดที่มีผล )
2.5 อุณหภูมิการทำความสะอาด :
การทำความสะอาดด้วยอุณหภูมิต่ำ ( ต่ำกว่าอุณหภูมิห้อง )
2.6 ความถี่ในการทำความสะอาด : 30 วินาที
2.7 ผลการทำความสะอาด : ค่า dynne สามารถมีค่าได้ถึง 70 มุมของหยดน้ำคือ 15 องศาและ สามารถควบคุมได้อย่างเหมาะสมภายใน 10 องศา ( สามารถทำความ สะอาดระบบอากาศใน Class 100 โดยไม่มีฝุ่นได้ภายใน 4 ชั่วโมง )
2.8 สามารถใช้ก๊าซได้ :
อาร์กอนไนโตรเจนอ็อกซิเจนอ็อกซิเจนไนโตรเจนเจนไฮโดรเจนไฮโดรเจนไฮโดรเจนและไฮโดรเจนฟลูออไรด์ฯลฯ
2.9 เครื่องดูดฝุ่นแบบพลาสมา VPC42 มีระบบควบคุมด้วยซอฟต์แวร์ :
ระบบควบคุมซอฟต์แวร์  ใช้งานง่ายช่วย ให้สามารถเชื่อมต่ออุปกรณ์ควบคุม และสามารถ ตั้งค่าเส้นโค้งกระบวนการทำความสะอาดต่างๆได้และสามารถตั้งค่าแก้ไขจัดเก็บและเลือกเส้นโค้งเพื่อใช้ งานตามกระบวนการต่างๆได้ซอฟต์แวร์มีฟังก์ชันการวิเคราะห์ของตัวเองซึ่งสามารถวิเคราะห์เส้นโค้งของกระบวนการได้ ระบบควบคุมซอฟต์แวร์จะบันทึก ข้อมูลกระบวนการทำความสะอาดเส้นโค้งอุณหภูมิเวลาและข้อมูลที่เกี่ยวข้องกับสัญญาณเตือนโดยอัตโนมัติแบบเรียลไทม์เพื่อให้มั่นใจได้ถึงการตรวจสอบกระบวนการทำความสะอาดผลิตภัณฑ์


ข้อมูลบริษัท


ห้องแสดง