เครื่องทำความสะอาดพลาสมาสุญญากาศแบบอินไลน์สำหรับเซมิคอนดักเตอร์ส่วนประกอบ Precison สูง

• After-sales Service: Engineer Go Oversea for Training
• Warranty: 1 Year
• Application: Industry, School, Lab, Institute
• Customized: Customized
• Certification: ISO
• Structure: Vertical
• ไม่ใช่ ของรุ่น: VPC3I
• Material: Steel
• เปิด / ปิด: 380ac 20A
• ก๊าซ: อากาศอัด DAC, 0.5MPa
• ไนโตรเจน: 0.5MPa
• เซนเซอร์วัดอุณหภูมิ: โอเมก้า
• พื้นที่ทำความสะอาดด้านเดียว: 350 *350 มม
• มีชั้น 15 มม: ความถี่ระดับกลาง 0 khz 2 kw
• ชั้น 50 มม: 13.56hz 300w ความถี่วิทยุ
• ขนาด: 85 * 170 ซม
• แพคเพจการขนส่ง: Polywood Case
• เครื่องหมายการค้า: Torch
• ที่มา: Beijing
• กำลังการผลิต: 50sets/Month

คำอธิบายสินค้า

เครื่องทำความสะอาดพลาสมาสุญญากาศแบบอินไลน์สำหรับส่วนประกอบหลักที่มีประสิทธิภาพสูงเซมิคอนดักเตอร์

I. ชื่ออุปกรณ์ , หมายเลขประเภท , ต้นทางและวันที่ส่งมอบ
1.1 ชื่ออุปกรณ์ : เครื่องดูดฝุ่นแบบอินไลน์
1.2 หมายเลขรุ่น : VPC3i
1.3 Origin ( ประเทศผู้ผลิต ): บริษัท Beijing Torch Incorporated
1.4 วันที่จัดส่ง : 4-8 สัปดาห์หลังจากสัญญามีผล
1.5 โดยส่วนใหญ่ใช้สำหรับกระบวนการรักษาพื้นผิวพลาสมาในช่องที่มีการหุ้มเซมิคอนดักเตอร์เช่นซิลิกอนเวเฟอร์ซับสเตรตแก้วแผ่นเซรามิคแผ่นยึด IC โครงทองแดง แผงพลังงานซับสเตรตด้านเดียวขนาดใหญ่ , โมดูล IGBT, เซนเซอร์ MEMS พร้อมอุปกรณ์ติดตั้ง , อุปกรณ์ไมโครเวฟ , ฟิลเตอร์ , อุปกรณ์ RF ฯลฯ
II  พารามิเตอร์ประสิทธิภาพทางเทคนิคหลัก :
2.1 ปริมาตรของช่องสุญญากาศ : 3l
2.2 องศาสุญญากาศ :
ระดับสุญญากาศสูงสุดของ เครื่องดูดฝุ่นพลาสมา VPC3i คือ น้อยกว่า 10 Pa ( ปั๊มแห้งแบบกลไก 8L)
2.3 พื้นที่ทำความสะอาดที่มีประสิทธิภาพ :
พื้นที่ทำความสะอาด : 350 * 100 * 85 มม
ความถี่พลาสมา : 13.56hz 300W  RF ( การบำบัดระดับเสียงพร้อมการระบายความร้อนด้วยน้ำ )
2.4 ความสูงของช่องสุญญากาศ :
ความสูงของเตาหลอม : 100 มม . ( ขนาดที่มีผล )
2.5 อุณหภูมิการทำความสะอาด :
การทำความสะอาดด้วยอุณหภูมิต่ำ ( ต่ำกว่าอุณหภูมิห้อง )
2.6 ความถี่ในการทำความสะอาด : 30 วินาที
2.7 ผลการทำความสะอาด : ค่า dynne สามารถมีค่าได้ถึง 70 มุมของหยดน้ำคือ 15 องศาและ สามารถควบคุมได้อย่างเหมาะสมภายใน 10 องศา ( สามารถทำความ สะอาดระบบอากาศใน Class 100 โดยไม่มีฝุ่นได้ภายใน 4 ชั่วโมง )
2.8 สามารถใช้ก๊าซได้ :
อาร์กอนไนโตรเจนอ็อกซิเจนไนโตรเจนไฮโดรเจนไฮโดรเจนไฮโดรเจนไฮโดรเจนไฮโดรเจนและกรดฟอร์มิคฯลฯ



ข้อมูลบริษัท


ห้องแสดง