ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว | รายการ | ดัชนี | ||
| CF4, %(V/V)≥ | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
| N2: 10 6 V (V) ≤ | 4 | 20 | 40 |
| O2, 10 6 (V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
| CO2, 10 6 (V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
| CO 10 6 (V) ≤ | 0.3 | 0.5 | 1 |
| SF6, 10 6 (V) ≤ | 1 | 1 | 5 |
| H2O, 10 6 V ≤ | 1 | 5 | 10 |
| HF-10 6 (V) ≤ | 0.1 | 0.3 | 0.3 |
| TFC(CH2F2, CHF3, C2F3, CF8),10 6 (V/V) ≤ | 1 | 10 | 30 |
| ปริมาณสารปนเปื้อนทั้งหมด , ppm (V/V) ≤ | 10 | 50 | 100 |
| พารามิเตอร์ การทดสอบที่สำคัญ |
หน่วย | บริษัท ข้อมูลจำเพาะ |
การวิเคราะห์ ผลลัพธ์ |
วิธีการวิเคราะห์ |
| เทตราฟลูออโรโน (CF4) | %(V/V) | ต่ำสุด 99.999 % | 99.999 % | ก็ครับ |
| อ็อกซิเจน (O2) | ความเข้มข้นของภาพ | < 1.0 | < 0.2 | ก็ครับ |
| ไนโตรเจน (N2) | ความเข้มข้นของภาพ | < 1.0 | < 0.6 | ก็ครับ |
| คาร์บอนมอนอกไซด์ (CO) | ความเข้มข้นของภาพ | < 0.5 | < 0.2 | ก็ครับ |
| คาร์บอนไดออกไซด์ (CO2) | ความเข้มข้นของภาพ | < 0.5 | < 0.2 | ก็ครับ |
| กำมะถันที่เป็นเฮกซาฟลูออไรด์ (SF6) | ความเข้มข้นของภาพ | < 0.2 | < 0.1 | ก็ครับ |
| ไทรฟลูออโรเธน (CHF3) | ความเข้มข้นของภาพ | < 0.5 | < 0.1 | ก็ครับ |
| Halocbon(OFC)* อื่น | ความเข้มข้นของภาพ | < 1.0 | < 0.7 | ก็ครับ |
| ไฮโดรคาร์บอนทั้งหมด (TH)* | ความเข้มข้นของภาพ | < 0.5 | < 0.1 | ก็ครับ |
| ความชื้น H2O | ความเข้มข้นของภาพ | < 0.5 | < 0.2 | เครื่องวิเคราะห์ความชื้น |
| ความสดชื่นมีชีวิตชีวา ( แบบ HF) | ความเข้มข้นของภาพ | < 0.1 | < 0.08 | ตัววิเคราะห์ความสดชื่นมีชีวิตช |
| สารบัญความไม่ปลอดภัยทั้งหมด | ความเข้มข้นของภาพ | ≤10.0 | < 10.0 | ก็ครับ |
| ผู้เข้าร่วม 0.1μm ( > μ | ชิ้น / ลิตร | < 10.0 | < 1.0 | ICI-MS |
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว 
