อากาศจะถูกดูดเข้าไปในแผ่นกรองชั้นแรกผ่านพัดลมโดยกรองผ่าน Plenum ไปยังแผ่นกรองประสิทธิภาพสูง และอากาศที่กรองแล้วจะถูกส่งออกไปในสภาพอากาศที่ไหลในแนวตั้งหรือแนวนอนเพื่อให้พื้นที่ปฏิบัติงานมีระดับความสะอาด 100 ระดับเพื่อให้มั่นใจว่ามีการผลิตข้อกำหนดด้านความสะอาดของสิ่งแวดล้อม
พื้นที่ควบคุมสภาวะแวดล้อมเป็นคำที่ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เพื่ออ้างถึงพื้นผิวการทำงานที่สะอาดและไม่มีการปนเปื้อน สิ่งสำคัญในกระบวนการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์เนื่องจากแม้จะมีการปนเปื้อนเพียงเล็กน้อยก็สามารถส่งผลกระทบอย่างมากต่อประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือของผลิตภัณฑ์ขั้นสุดท้าย
แท่นควบคุมที่สะอาดโดยทั่วไปจะประกอบด้วยพื้นผิวแข็งเช่นโต๊ะหรือเทียบเคียงซึ่งมีวัสดุที่ใช้ในห้องทำความสะอาดได้เช่นสแตนเลสสตีลหรือโพลิเมอร์ที่บริสุทธิ์สูง จากนั้นพื้นผิวจะได้รับการซีลและติดตั้งกรอง HEPA เพื่อขจัดอนุภาคและสิ่งปนเปื้อนออกจากอากาศ
ในการรักษาแท่นควบคุมให้สะอาดจำเป็นต้องปฏิบัติตามขั้นตอนที่เคร่งครัดเพื่อป้องกันการปนเปื้อนเช่นการสวมใส่เครื่องแต่งกายห้องทำความสะอาดและการปฏิบัติตามระเบียบการจัดการและการจัดเก็บที่เหมาะสมสำหรับวัสดุและอุปกรณ์ การทำความสะอาดและการบำรุงรักษาแท่นควบคุมและส่วนประกอบต่างๆเป็นประจำยังมีความสำคัญต่อการรักษาสภาพแวดล้อมการทำงานที่สะอาดและไม่ปนเปื้อนอีกด้วย
โดยสรุปแล้วม้านั่งที่สะอาดเป็นองค์ประกอบที่สำคัญในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทำให้มั่นใจได้ว่ามีการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์คุณภาพสูงและเชื่อถือได้
รุ่น |
พิมพ์ |
ขนาดภายนอก ( มม .) |
ขนาดพื้นที่ทำงาน ( มม .) |
วัสดุ |
แหล่งจ่ายไฟ |
เปิด / ปิด |
การกำหนดค่า |
SZFM-CJ1000 |
แนวตั้ง |
1000 * 1750 * 700 |
860 * 570 * 520 |
ภายนอกของแผ่นระบายความร้อนจะทาสีภายใน 304 |
220 โวลต์ 50 Hz |
~190W±5W/Motor 150 |
ทำความสะอาดช่องเสียบไฟขนาด 1 8 รู *100 2 จอสัมผัส |
SZf-CJ1500 |
แนวตั้ง |
1500 * 1750 * 700 |
1360 * 570 * 520 |
ภายนอกของแผ่นระบายความร้อนจะทาสีภายใน 304 |
220 โวลต์ 50 Hz |
~190W±5W/Motor 150 |
ทำความสะอาดช่องเสียบไฟขนาด 1 8 รู *100 2 จอสัมผัส |
SZFM-CJ1800 |
แนวตั้ง |
1800 * 1750 * 700 |
1660 * 570 * 520 |
ภายนอกของแผ่นระบายความร้อนจะทาสีภายใน 304 |
220 โวลต์ 50 Hz |
~190W±5W/Motor 150 |
ทำความสะอาดช่องเสียบไฟขนาด 1 8 รู *100 2 จอสัมผัส |