After-sales Service: | Installation, Training |
---|---|
Warranty: | One Year Warranty |
Type: | Electrical Etching Machine |
Object: | Silicon-Based:Si/Sio2/Sinxsic |
Usage: | Corrosion & Hollowed-out |
Certification: | ISO9001: 2000, CE |
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
รายการ | MD150- รี | MD200-Rie | MD200C - Rie |
ขนาดผลิตภัณฑ์ | ≤6 นิ้ว | ≤8 นิ้ว | ≤8 นิ้ว |
แหล่งจ่ายไฟ RF | 0 วัตต์ / 300 วัตต์ / ปรับได้ 1000 วัตต์ | ||
ปั๊มโมเลกุล | 620 ( ลิตร / วินาที / 1300 ( ลิตร / วินาที / กำหนดเอง | Antitic66( ลิตร / วินาที )/ ระดับ 1300 ( ลิตร / วินาที )/ กำหนดเอง | |
ปั๊ม Fไวน์ มีสาย | ปั๊มกลไก / ปั๊มแห้ง | ปล่อยให้ปั๊มแห้ง | |
แรงดันในกระบวนการ | แรงดันที่ควบคุมไม่ได้ / แรงดันที่ควบคุมด้วย 0 Torr | ||
ชนิดก๊าซ | H/CH4/S2/M2/MAR/SF6/CF4/ CHF1/C4F8/NF1/กำหนด เอง ( สูงสุด 9 ช่องสัญญาณ , ไม่มีสารกัดกร่อนและก๊าซพิษ ) |
H2/CH43/O2/N2/AR/F6/CF4/CHF3/C4F8/NF3/NF3/BCl3/HBr ( สูงสุด 9 ช่อง ) | |
ระยะของก๊าซ | 0 ซม ./50 ซม ./100 ซม ./200 ซม ./200 ซม ./300 ซม ./500 ซม ./500 ซม ./ ปรับแต่ง | ||
LoadLock | ใช่ / ไม่ใช่ | ใช่ | |
การควบคุมระบบตัวอย่าง | 10 ° C ~ ห้อง /-25 30 ° C ประมาณ 100 ° C/ กำหนดเอง | 30 ° C ประมาณ 100 ° C / กำหนดเอง | |
การระบายความร้อนด้วยฮีเลียมหลัง | ใช่ / ไม่ใช่ | ใช่ | |
ด้านในฟันผุ | ใช่ / ไม่ใช่ | ใช่ | |
ควบคุมโพรงผนัง | ไม่ / ห้องประเมิน ~ 60 120 ° C | ห้องพัก 60 ° 120 ° C | |
ระบบควบคุม | อัตโนมัติ / กำหนดเอง | ||
การกัดกรดในวัสดุ | ซิลิคอนอิง : SI/SiO2/SiNx ··· IV-IV: SIC วัสดุแม่เหล็ก / วัสดุอัลลอย วัสดุโลหะ : Ni-MH /CR/Al/AU ..... วัสดุอินทรีย์ : PR/PMMA/HDMS/Organic ฟิล์ม ...... |
แบบซิลิคอน : SI/SiO2/SiNx...... III-V(2): 3 InP/Gaa/GN...... IV-IV: SIC II-VI (4): ชุดทีม 3 วัสดุแม่เหล็ก / วัสดุอัลลอย วัสดุโลหะ : Ni-MH /CR/A1/AU ...... วัสดุอินทรีย์ : PR/PMMA/HDMS / ฟิล์มอินทรีย์ ... |
โดยใช้วิธีการกัดกรดสำหรับวัสดุที่กัดโลหะบางชนิด ( เช่น Ni / CR) และเซรามิกและการกัดโลหะกัดโลหะและการทิ้งระเบิดทางกายภาพ | ใช้สำหรับการกัดกรดและการขจัดสารประกอบอินทรีย์ เช่นโฟโตรีซีส (PPR)/ PMMA / HDMS / โพลีเมอร์ |
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ