ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว สารทำความสะอาดพลาสมาไ
SPV-100MWR เป็นระบบทำความสะอาดพลาสมาด้วยไมโครเวฟแรงดันไฟต่ำสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยการใช้ไมโครเวฟที่มีความถี่ 2.45GHz กับช่องบนผนังของช่องสุญญากาศทำให้เกิดพลาสมาต่อเนื่องเป็นจำนวนมากและทำความสะอาดชิปด้วยการเข้าไปในช่อง
| โฮสต์พลาสมาสุญญากาศ | ||
| ขนาดอุปกรณ์ | 1230X1800X1100mm ( ความกว้าง x ความสูง x ความลึก ) | |
| น้ำหนัก | 450 กก | |
| ความต้องการพลังงาน | AC380V, 60Hz, 50 Hz, 5 สาย , 30A | |
| ข้อมูลจำเพาะของเครื่องกำเนิดไฟฟ้าพลาส | ||
| แหล่งจ่ายไฟไมโครเวฟ | เปิด / ปิด | 0 ~ 1250 วัตต์ |
| ความถี่ | 2.45GHz | |
| ระบบสุญญากาศ | ||
| วัสดุ | โลหะผสมอะลูมิเนียม ( ส่วนหุ้มสแตนเลสสตีลปรับแต่งได้ ) | |
| ความหนา | 25 มม | |
| ขนาดภายในของช่อง | 480mmX470mmX480 มม | |
| พื้นที่ทำงาน | 6 ส่วนนิตยสาร | |
| ECR | นิตยสารเซาะร่องให้ผลการประมวลผล ECR ที่มีประสิทธิภาพยิ่งขึ้น | |
| ความสามารถของพลาสมา | ||
| ความสามารถในการประมวลผล | พิตช์ 35um 40μm บั๊มพ์ 15X15 มม . ขนาดไดย์สูงสุด |
|
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว 
