ตัวควบคุมการไหลของมวลก๊าซสมาร์ทตัวควบคุมการจราจร MFC Flowcontroller แบบ Industry FlowController

 ตัวควบคุมการไหลเชิงมวลของ MEMC2300 PV ซีรี่ส์ ประกอบด้วยสามส่วนได้แก่มิเตอร์การไหลเชิงมวลวาล์วสัดส่วนความเร็วสูงพิเศษโมดูลประมวลผลสัญญาณและควบคุม

มิเตอร์วัดการไหลเชิงมวลเป็นเซนเซอร์ MEMS ที่ผลิตจากกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ CMOS หลักการทำงานของการวัดการไหลนำมาใช้เป็นหลักการกระจายความร้อน ศูนย์กลางของชิปติดตั้งเครื่องทำความร้อนและด้านต้นทางและปลายทางของเครื่องทำความร้อนจะติดตั้งองค์ประกอบการวัดอุณหภูมิด้วยการเพิ่มความร้อนและเทอร์มอไพล์ตามลำดับ ช่องจะอยู่ที่ด้านล่างของแผงอุปกรณ์ทำความร้อนและเทอร์มอไพล์ซึ่งจะสามารถตรวจจับการเปลี่ยนแปลงความร้อนของอุปกรณ์ทำความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพ หลังจากที่ตัวนำความร้อนเกิดกระแสไฟฟ้าคงที่แล้วอุณหภูมิที่เกี่ยวข้องจะเกิดขึ้นในบริเวณใกล้กับตัวนำความร้อน การไหลของสื่อจะกระจายไปยังบริเวณอุณหภูมิท้องถิ่นอีกครั้ง เนื่องจากการเปลี่ยนแปลงในช่องอุณหภูมิมีความสัมพันธ์เชิงเส้นกับอัตราการไหลเชิงมวลของเหลวอัตราการไหลของมวลของเหลวจึงสามารถคำนวณผกผันได้โดยการวัดช่องอุณหภูมิอย่างแม่นยำ เซนเซอร์ใช้หลักการกระจายความร้อนเพื่อวัดการไหลเชิงมวลโดยทั่วไปไม่มีการชดเชยแรงดันและอุณหภูมิและใช้การกระจายความร้อนกับสเกลของไมโครมิเตอร์ ดังนั้นมิเตอร์วัดการไหลแบบมวลที่ผลิตโดยเซนเซอร์นี้จึงมีคุณสมบัติของความแม่นยำสูงช่วงกว้างความไวและการวัดที่แม่นยำ

ใช้วาล์วสัดส่วนความเร็วสูงพิเศษเป็นตัวกระตุ้นซึ่งมีคุณสมบัติของการไม่ติดขัดประสิทธิภาพสูงและการควบคุมที่แม่นยำ สามารถควบคุมการไหลด้วยความเร็วสูงและความเที่ยงตรงสูงได้โดยการควบคุมช่องเปิดของวาล์วอย่างรวดเร็วและแม่นยำ วาล์วมีทั้งชนิดปกติปิดและเปิดตามปกติ

โมดูลประมวลผลสัญญาณและควบคุมได้รับการออกแบบและผลิตโดยใช้ DSP ประสิทธิภาพสูงและเชื่อถือได้

มิเตอร์วัดการไหลเชิงมวลวาล์วสัดส่วนความเร็วสูงพิเศษและการประมวลผลสัญญาณและโมดูลควบคุมเป็นระบบควบคุมการไหลเชิงมวลแบบวนรอบปิด  ระบบได้รวมอัลกอริธึมการควบคุมแบบปรับได้ขั้นสูงเข้าไว้ด้วยกันซึ่งสามารถลดข้อผิดพลาดแบบสุ่มในข้อมูลการวัดได้อย่างมีประสิทธิภาพดังนั้นระบบจึงมีคุณลักษณะของการตอบสนองที่รวดเร็วความแม่นยำสูงและความเสถียรที่ดี