เครื่องเคลือบสาร Magnetortron Smandering RF ขนาด 2 นิ้วสำหรับฟิล์มแบบไม่นำไฟฟ้า

• Certification: CE
• Condition: New
• แรงดันไฟฟ้า: 110 / 240 โวลต์
• ช่องสุญญากาศ: 160 มม .*100 มม .*100 250 มม . 150 มม
• ระดับสุญญากาศ: 2 แรงบิดรวมทั้งขาตั้งคู่
• สามารถปรับความเร็วในการหมุนได้: 1 - 10 รอบต่อนาทีสำหรับการเคลือบที่สม่ำเสมอ
• ไม่ใช่ ของรุ่น: MC-SC-2RF
• การเคลือบผิว: การเคลือบด้วยสุญญากาศ
• กำลัง: 800 W
• น้ำหนัก: 70 กก
• ขนาดเป้าหมายตามข้อกำหนด: เส้นผ่านศูนย์กลาง 2 นิ้ว x 1 ความหนาสูงสุด 4 นิ้ว
• หน้าแปลนการซีล: เส้นผ่านศูนย์กลาง 165 มม
• ขนาดตัวยึดตัวอย่าง: เส้นผ่านศูนย์กลาง 50 มม . สำหรับเวเฟอร์สูงสุด 2 นิ้ว
• แพคเพจการขนส่ง: Export Standard Packaging for Air and Sea
• เครื่องหมายการค้า: MeCan
• ที่มา: China (Mainland) Guangdong
• กำลังการผลิต: 5000

คำอธิบายสินค้า

เครื่องเคลือบแม่เหล็กพลาสมา RF แบบพ่นสีสำหรับฟิล์มแบบไม่นำไฟฟ้าขนาด 2 นิ้ว   MC-SC-2RF

คำอธิบายผลิตภัณฑ์

MC-SC-2RF คือพลาสมาแมกเนตรอน RF แบบหัวเดี่ยวขนาดกะทัดรัดขนาด 2 นิ้วที่เคลือบด้วยฟิล์มบางออกไซด์โดยส่วนใหญ่เป็นโลหะ โดยจะรวมส่วนประกอบทั้งหมดไว้ในตู้แบบตั้งพื้นเดียวซึ่งรวมถึงแหล่งจ่ายพลังงาน RF, ช่องสุญญากาศ , ปั๊มสุญญากาศ , ระบบหมุนเวียนน้ำและจอแสดงความหนาของฟิล์มฯลฯเป็นตัวเลือกที่ยอดเยี่ยมและประหยัดค่าใช้จ่ายสำหรับการเคลือบฟิล์มบางของวัสดุที่ไม่นำไฟฟ้าใน R&D  

 

กำลังไฟอินพุต	1 VAC, 220 VAC, 60Hz, 50 เฟสเดียว 2 800 W ( รวมปั๊ม ) 3 หาก แรงดันไฟฟ้าคือ 110 VAC จำเป็นต้องใช้หม้อแปลง 1000 W โปรดคลิกที่ภาพด้านซ้ายเพื่อสั่งซื้อ
แหล่งจ่ายไฟต้นทาง	เครื่องกำเนิดไฟฟ้า RF 13.5 MHz, 300 W 1 ตัวพร้อมฟังก์ชันการจับคู่อัตโนมัติติดตั้งอยู่ในตู้และเชื่อมต่อกับหัวสปัตเตอริง 2 นิ้ว 2 อุปกรณ์เสริม : แหล่งจ่ายไฟ DC สปัตเตอริงมีให้เลือกใช้สำหรับวัสดุโลหะเคลือบผิว
หัวแมกเนตรอนสคูลลิ่ง	1 มีการรวมหัว Magnetron Smobering 2 นิ้วพร้อมด้วยแจ็คเก็ตกันน้ำระบายความร้อนและใส่เข้าไปในห้องควอทซ์ด้วยแคลมป์ด่วน   2 มีชัตเตอร์หนึ่งตัวติดอยู่ที่ขอบเหล็ก ( ทำงานด้วยมือ ) 3 ต้องใช้เครื่องทำความเย็นระบบหมุนเวียนน้ำแบบควบคุมด้วยดิจิตอล 16 ลิตร / นาทีสำหรับหัวอ่านของแมกเนตรอนที่มีการไหลของน้ำ   หัวเซนเซอร์สามารถถอดและถอดออกได้ 4 หัวและ 1 นิ้วโดยมีค่าใช้จ่ายเพิ่มเติม   สาย RF ขนาด 5 148 ซม . สามารถเปลี่ยนได้โดยมีค่าใช้จ่ายเพิ่มเติม
ชิ้นงานสปัตเตอริง	1 ขนาดของชิ้นงานที่ต้องการ : เส้นผ่านศูนย์กลาง 2 นิ้ว x 4 ความหนาสูงสุด 1 นิ้ว 2 เป้าหมาย SiO2 หนึ่งชิ้นรวมไว้สำหรับการทดสอบการสาธิต แนะนำให้ใช้วิธีการเคลือบผิวด้วยเซรามิคอัล 2O3 3 4 สามารถสั่งงานเสริมชิ้นงานสีพ่น 2 นิ้ว ( พร้อมแผ่นรอง ) ได้โดยมีค่าใช้จ่ายเพิ่มเติม
ช่องสุญญากาศ	1 ช่องสุญญากาศ : 160 มม . OD x 150 มม . ID x 250 มม . ความสูงผลิตจากควอตซ์ความบริสุทธิ์สูง 2 หน้าแปลนการซีล : อะลูมิเนียมผลิตจากอะลูมิเนียมพร้อมโอริงซิลิโคนอุณหภูมิสูง 165 มม 3 มีฝาปิดตาข่ายสแตนเลสสตีลเพื่อการแผ่รังสี RF จากห้องได้ถึง 100 เปอร์เซ็นต์ 4 ระดับสุญญากาศ : 1.0E-4 2 Torr พร้อมปั๊มกลไกแบบสองขั้นตอนและ 1.0E-4 5 Torr ที่มีเทอร์โบเสริม
ที่เก็บตัวอย่าง	1 ตัวยึดตัวอย่างสามารถหมุนและสามารถปรับความร้อนได้จากเครื่องทำความร้อนเซรามิกพร้อมฝาปิดสแตนเลสสตีล 2 ขนาดที่ใส่ตัวอย่าง : เส้นผ่านศูนย์กลาง 50 มม . สำหรับเวเฟอร์ขนาดสูงสุด 2 นิ้ว 3 สามารถปรับความเร็วการหมุนได้ : 1 - 10 รอบต่อนาทีเพื่อให้การเคลือบสม่ำเสมอ 4 อุณหภูมิของตัวจับยึดสามารถปรับได้จาก RT ถึง 500 ° C สูงสุดโดยมีความแม่นยำ +/- 1.0 ° C ผ่านทางอุปกรณ์ควบคุมอุณหภูมิดิจิตอล มีตัวจับยึดตัวอย่างความร้อน 5 อุณหภูมิ 800 º C เมื่อร้องขอ 6 มีตัวเลือกการคงค่าตัวอย่างการสั่นสะเทือนเสริมสำหรับการเคลือบ PVD
ปั๊มสุญญากาศ	พอร์ตสุญญากาศ KF25 ถูกสร้างขึ้นเพื่อเชื่อมต่อกับปั๊มสุญญากาศ 1 2 จำเป็นต้องใช้ปั๊มสุญญากาศที่มีอะแดปเตอร์ KF25 แต่ไม่ได้ให้มาด้วย โปรดคลิกรูปภาพเพื่อสั่งซื้อแยกต่างหาก 3 ระดับสุญญากาศ : 1.0E-4 2 Torr พร้อมปั๊มกลไกแบบสองขั้นตอนและ 5 Torr ด้วยเทอร์โบปั๊ม
ไม่จำเป็น	เซนเซอร์วัดความหนาควอตซ์ชนิดความเที่ยงตรง 0.10 เป็นอุปกรณ์เสริมซึ่งสามารถ Å ติดตั้งในห้องเพื่อตรวจสอบความหนาของการเคลือบได้ด้วยความแม่นยำ μ m  แล็ปท็อปจำเป็นสำหรับการวัดความหนาของการแสดงผล
น้ำหนักสุทธิ	70KG
การรับประกันและการปฏิบัติตามกฎระเบียบ	1 รับประกัน 1 ปีภายใต้เงื่อนไขพร้อมบริการสนับสนุนตลอดอายุการใช้งาน 2 ได้รับการรับรอง CE การรับรองจาก NRTL หรือ CSA จะมีให้เมื่อมีการร้องขอโดยมีค่าใช้จ่ายเพิ่มเติม 3
หมายเหตุของแอปพลิเคชัน	1 เครื่องดูดฝุ่น RF แมกเนตรอนขนาดกะทัดรัดขนาด 2 นิ้วได้รับการออกแบบมาเพื่อการเคลือบฟิล์มแบบบางออกไซด์บนซับสเตรตผลึกเดี่ยวซึ่งโดยปกติแล้วไม่จำเป็นต้องมีการตั้งค่าสุญญากาศสูง 2 โปรดใช้ > 5N Purity AR Gas สำหรับการพ่นพลาสมาเป็นน้ำกระเซ็น 3 เพื่อความแข็งแกร่งในการยึดจับซับสเตรตฟิล์มที่ดีที่สุดโปรดทำความสะอาดพื้นผิวของซับสเตรตก่อนที่จะเคลือบผิว : การทำความสะอาดด้วยระบบอัลตราโซนิคด้วยอ่างอาบน้ำตามลำดับดังต่อไปนี้ ( ชนิด 1 อะซีโทน ) Isopropyl 2 - เพื่อระบายน้ำมันและคราบมันออก เป่าซับสเตรตให้แห้งด้วย N2 จากนั้นอบด้วยสุญญากาศเพื่อกำจัดความชื้นที่ถูกดูดซับ B อาจจำเป็นต้องทำความสะอาดพลาสมาเพื่อการเคลือบพื้นผิวอย่างหยาบกระบวนการเชื่อมเคมีบนพื้นผิวหรือการขจัดการปนเปื้อนเพิ่มเติม C. แบบเลเยอร์บัฟเฟอร์ขนาดบาง ( ประมาณ 5 nm) เช่น CR, Ti, Mo, TA, สามารถใช้เพื่อปรับปรุงการเกาะติดของโลหะและโลหะผสม 4 เพื่อให้ได้ประสิทธิภาพสูงสุดควรติดตั้งชิ้นงานที่ไม่นำไฟฟ้าด้วยแผ่นรองทองแดง   5 OLT จะเคลือบ ZnO บนซับสเตรต Al2O3 ที่อุณหภูมิ 500 ° C   6 ห้ามใช้น้ำประปาในเครื่องทำความเย็นด้วยน้ำ ใช้น้ำ DI, น้ำกลั่นหรือสารเติมแต่งป้องกันการกัดกร่อนเป็นสารผสม