ไมโครสโคปแรงอะตอมสำหรับชนิดอุตสาหกรรมเวเฟอร์
คำอธิบายผลิตภัณฑ์
I. คุณสมบัติอื่นๆ
ไมโครสโคปแรงอะตอมมิเตอร์สำหรับอุตสาหกรรมขนาดใหญ่รุ่นแรกในประเทศจีน บรรลุเป้าหมายการผลิตเชิงพาณิชย์
·ขนาดและน้ำหนักของตัวอย่างแทบจะไม่จำกัดจึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการทดสอบตัวอย่างขนาดใหญ่เช่นเวเฟอร์ , ที่ตีมีขนาดใหญ่มากและกระจกออปติคัล
·แท่นวางตัวอย่างมีความสามารถในการต่อขยายสูงและสะดวกสบายมาก สำหรับการใช้งานร่วมกับอุปกรณ์หลายชนิดเพื่อให้สามารถตรวจจับที่ตำแหน่งที่
·การสแกนอัตโนมัติเพียงคลิกเดียวสามารถตั้งโปรแกรมจุดทดสอบหลายจุดได้เพื่อการตรวจจับที่รวดเร็วและอัตโนมัติ
·เก็บตัวอย่างไว้กับที่ขณะสแกนภาพและขับโพรบเพื่อทำการตรวจวัดการเคลื่อนไหวแบบ 3D XYZ
·การออกแบบหัวเซนเซอร์แบบสแกน , ฐานเป็นหินอ่อน , แท่นดูดแบบสุญญากาศ
·ระบบลดการสั่นสะเทือนเชิงกลแบบผสมผสานและการป้องกันเสียงรบกวนเพื่อสิ่งแวดล้อมที่ยอดเยี่ยม ลดระดับเสียงรบกวนของระบบ
·วิธีการใส่เข็มที่ชาญฉลาดและรวดเร็วสำหรับการตรวจจับเซรามิก Piezoelectric โดยอัตโนมัติภายใต้การควบคุมมอเตอร์ช่วยป้องกันการเกิดโพรบและตัวอย่าง
·ฟังก์ชันแก้ไขโดยผู้ใช้ของสแกนเนอร์ที่ไม่ใช่แบบเส้นตรงที่มีการกำหนดลักษณะนาโนและความแม่นยำในการวัดสูงกว่า 98 %
ii. ซอฟต์แวร์
1 ชนิดของพิกเซลการสุ่มตัวอย่าง สำหรับ เลือก : 256 × 256 10, 512 × 512
2 ใช้ ฟังก์ชันย้ายและตัดพื้นที่สแกน เลือก พื้นที่ที่น่าสนใจ ของตัวอย่าง ;
3 ตัวอย่างการสแกน ในมุมสุ่ม ที่ จุดเริ่มต้น ;
4 ปรับ แต่งระบบการตรวจจับลำแสง เลเซอร์แบบเรียลไทม์
5 เลือก และ ตั้ง ค่าส ีอื่นของ ภาพที่สแกน ในถาดเรียง
6 สนับสนุน การ ปรับเทียบมาตรฐานแบบเส้นตรงและออฟเซ็ต แบบเรียลไทม์ สำหรับ ชื่อตัวอย่าง ;
7 สนับสนุน การปรับเทียบความไวของสแกนเนอร์ และ การปรับเทียบคอนโทรลเลอร์อิเล็กทรอนิกส์อัตโนมัติ ;
8 สนับสนุน การวิเคราะห์แบบออฟไลน์ และ กระบวนการ ของภาพตัวอย่าง
พารามิเตอร์ของผลิตภัณฑ์
| โหมดการทำงาน |
โหมดรายชื่อ , การสัมผัสโหมด |
z โต๊ะยกของ |
อุปกรณ์ควบคุมการขับเคลื่อนด้วยสเต็ปเปอร์มอเตอร์ด้วยขนาดขั้นต่ำสุดของ 10 nm |
| โหมดเสริม |
แรงเสียดทาน / แรงด้านข้าง , แอมพลิจูด / เฟส , แรงแม่เหล็ก / แรงสถิต |
z ช่วงชักยก |
20 มม . ( อุปกรณ์เสริม 25 มม .) |
| บังคับเส้นโค้งสเปกตรัม |
เส้นโค้งแรง F-Z, เส้นโค้ง RMSZ |
การกำหนดตำแหน่งออปติก |
ออปติคัลวัตถุ 10 เท่า |
| วิธีการสแกน XYZ |
ตรวจสอบการสแกน XYZ |
กล้อง |
CMOS ดิจิตอล 5 ล้านพิกเซล |
| ช่วงการสแกน XY |
มากกว่า 100um × 100um |
อัตราการสแกน |
0.6 Hz~30 Hz |
| z มุมสแกน |
มากกว่า 10 ม |
มุมสแกน |
0 ° ~ 360 ° |
| ความละเอียดในการสแกน |
แนวนอน 0.2nm, แนวตั้ง 0.05 nm |
สภาพแวดล้อมในการทำงาน |
Windows 10
ระบบปฏิบัติการ |
XY
ขั้นตอนตัวอย่าง |
ด้วยความแม่นยำในการเคลื่อนไหวสูงถึง 1um ที่มอเตอร์ขับเคลื่อนด้วยสเต็ปเปอร์ |
การเชื่อมต่อการสื่อสาร |
USB2.0/2.0 3.0 |
XY
ขยับการเคลื่อนไหว |
200 × 200 มม . ( อุปกรณ์เสริม 300 × 300 มม .) |
โครงสร้างอุปกรณ์ |
หัวเซนเซอร์ที่ใช้สแกนซึ่งเป็นฐานที่ทำจากหินอ่อน |
| ตัวอย่างแพลตฟอร์มการจ่ายผลิตภัณฑ์ |
เส้นผ่านศูนย์กลาง 200 มม . ( อุปกรณ์เสริม 300 มม .) |
วิธีการลดการสั่นสะเทือน |
ฝาครอบป้องกันเสียงดูดซับแรงกระแทกแบบลอยอากาศ ( อุปกรณ์เสริมแพลตฟอร์มดูดซับแรงกระแทก ) |
| น้ำหนักตัวอย่าง |
≤20 กก |
|
|
III พารามิเตอร์ทางเทคนิคหลัก
FSM สร้างขึ้นในปี 2013 ในช่วง 9 ปีที่ผ่านมาเราให้ความสำคัญกับการผลิตเครื่องมือสำหรับห้องปฏิบัติการและโรงงาน
เรามีไมโครสโคปแรงอะตอมสำหรับการศึกษาทางกายภาพและการตรวจสอบการเดินสายตามปกติ
เป็นค่า AFM ที่มีอัตราต้นทุนดีที่สุด
รูปภาพแบบละเอียด
ทำไมต้องเลือกเรา
1 ประสบการณ์ในการผลิตและการบริการมานานหลายปี
2 เรา เป็นผู้ผลิตที่ สามารถให้ราคาพิเศษกับคุณได้
ได้รับการรับรอง ISO9001 3
4 อายุการใช้งานหลังการรับประกันบริการหลังการขาย
5 มีบริการ OEM
6 การตรวจสอบคุณภาพอย่างเข้มงวดก่อนการจัดส่ง
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว 
