After-sales Service: | 2 Years |
---|---|
Warranty: | 1 Years |
แอปพลิเคชัน: | โรงเรียน, แล็บ |
ปรับแต่ง: | ปรับแต่ง |
โครงสร้าง: | เดสก์ทอป |
วัสดุ: | สแตนเลสสตีล |
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ระบบ PECVD
ระบบ PECVD ใช้ไมโครเวฟหรือความถี่วิทยุเพื่อแยกไอออนก๊าซที่มีอะตอมที่ประกอบด้วยฟิล์มเพื่อสร้างพลาสมาภายในเครื่อง พลาสมามีกิจกรรมทางเคมีที่เข้มข้นและสามารถตอบสนองได้ง่ายในการถ่ายภาพยนตร์ที่ต้องการบนซับสเตรต ระบบนี้ใช้กันอย่างแพร่หลายในการนำฟิล์มคุณภาพสูงของ SiO2 ฟิล์ม S3N4, ฟิล์มข้าวหลามตัด , ฟิล์มแข็ง , ฟิล์มออปติคัล , ท่อคาร์บอนนาโน (CNT) วัสดุคอมโพสิต C/C การเคลือบ SIC การเคลือบกราไฟต์ผลิตภัณฑ์เคลือบฯลฯ
รุ่น | DM-12NT-PECVD | DM-14ST-PECVD | DM-17MT-PECVD |
อุณหภูมิสูงสุด | 1200 º C | 1400 º C | 10000 º C |
อุณหภูมิขณะทำงาน | 1100 º C | 1300 º C | 1600 º C |
แผ่นทำความร้อน | สายไฟที่มีความต้านทาน | SIC | โมซิ 2 |
เทอร์โมคับเปลอร์ | ประเภท K | S ประเภท | ประเภท B |
โซนอุณหภูมิ | จำนวน / เส้นผ่านศูนย์กลาง / ความยาว ( ปรับแต่งได้ ) | ||
ความแม่นยำของอุณหภูมิ | ±1 º C | ||
แรงดันไฟฟ้าพิกัด | AC220V50Hz/60Hz ( ปรับแต่งได้ ) | ||
การควบคุมก๊าซ | มิเตอร์วัดการไหลแบบลอย / มิเตอร์การไหลแบบมวล | ||
ระบบสุญญากาศ | ปั๊มแบบหมุน / ปั๊มกระจายแสง / ปั๊ม Turbo Molecular Pump ( อุปกรณ์เสริม ) | ||
กำลังไฟ RF | 100 วัตต์ ( อุปกรณ์เสริม ) | ||
ฟังก์ชันเสริม | หน้าจอสัมผัส / รีโมทคอนโทรล / การตรวจสอบคอมพิวเตอร์ | ||
สามารถปรับแต่งได้ |
คำถามที่ 1 บริการหลังการขายเป็นอย่างไรบ้าง
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ