ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว 
| โหมด | LH 1800 | LH 2000 | LH 3000 | ฮาร์ดแวร์ 2000 | ฮาร์ดแวร์ 3000 | ฮาร์ดแวร์ 4000 | ฮาร์ดแวร์ 5000 |
| ขนาดช่องสุญญากาศ | φ1800x2000 | φ2000x2000 | φ3000x3000 | φ2000x6000 | φ3000x6000 | φ4000x8000 | φ5000x10000 |
| ระบบสุญญากาศ | ปั๊มกลไก + ปั๊มราก + ปั๊มกระจาย / ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ + ปั๊มเก็บ | ||||||
| ระบบเคลือบผิว | แหล่งการระเหยของอาร์ค , แหล่งจ่ายไฟเสริมของไอออนเคลือบผิวโดยเฉพาะ | ||||||
| ระบบการเติมลม | มิเตอร์วัดการไหลเชิงมวล | มิเตอร์วัดการไหลเชิงมวล | มิเตอร์วัดการไหลเชิงมวล | มิเตอร์วัดการไหลเชิงมวล | มิเตอร์วัดการไหลเชิงมวล | มิเตอร์วัดการไหลเชิงมวล | มิเตอร์วัดการไหลเชิงมวล |
| โหมดควบคุม | ด้วยตนเองหรืออัตโนมัติ | ด้วยตนเองหรืออัตโนมัติ | ด้วยตนเองหรืออัตโนมัติ | ด้วยตนเองหรืออัตโนมัติ | ด้วยตนเองหรืออัตโนมัติ | ด้วยตนเองหรืออัตโนมัติ | ด้วยตนเองหรืออัตโนมัติ |
| สุญญากาศสูงสุด | 5.0x10 -4 Pa | 5.0x10 -4 Pa | 5.0x10 -4 Pa | 5.0x10 -4 Pa | 5.0x10 -4 Pa | 5.0x10 -4 Pa | 5.0x10 -4 Pa |
| หมายเหตุ | เหนือพารามิเตอร์เครื่องจักรสำหรับอ้างอิงเท่านั้นระบุตามข้อกำหนดพิเศษของลูกค้าในการออกแบบกระบวนการที่ใช้งานได้จริง | ||||||
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว 
