ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว 
| ขนาดโหมด | 1200 | 1200 | 1400 | 1400 |
| 1200 มม | 1250 มม | 1400 มม | 1400 * 1800 มม | |
| ประเภทฟิล์ม | ฟิล์มอาหาร , ฟิล์มโปร่งแสง , ฟิล์มชนิดไม่นำไฟฟ้า , ฟิล์มป้องกันสนามแม่เหล็กไฟฟ้า , ฟิล์มไดอีเล็ก , ฯลฯ | |||
| แหล่งจ่ายไฟ | กำลังการระเหยของความต้านทานกระแสไฟ DC แมกเนตรอนกำลัง ไฟ RF | |||
| โครงสร้างแบบสปัตเตอริงและอิเล็กโทรด | ชิ้นงาน column แมกเนตรอน , เป้าหมายสี่เหลี่ยมเครื่องบิน , เป้าหมายคู่ , ขั้วไฟฟ้าระเหย | |||
| โครงสร้างช่องสุญญากาศ | ประตูคู่แนวตั้ง , ประตูเดียวแนวตั้ง , ตำแหน่งการล็อคตำแหน่งของระบบปั๊ม , ประตูเดียวแนวนอน , ระบบปั๊มด้านข้าง | |||
| สุญญากาศสูงสุด | 10 -4 * 4.0 PA | |||
| ระบบสุญญากาศ | ปั๊มกระจาย + ปั๊มราก + ปั๊มกลไก + ปั๊มการจัดเก็บ | |||
| เวลาปั๊ม | ปั๊มตั้งแต่บรรยากาศไปจนถึง 8.5 ดาว 10 -3 ใต้ นาที | |||
| โหมดการเคลื่อนที่ของชิ้นงาน | การหมุนเวียนเสียง / การควบคุมความถี่ | |||
| โหมดควบคุม | กำหนดเอง / อัตโนมัติในโหมดเดียว , หน้าจอสัมผัส + PLC | |||
| หมายเหตุ | เราสามารถออกแบบขนาดของอุปกรณ์ตามข้อกำหนดเทคนิคพิเศษของลูกค้า | |||
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว 
