ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว | ท่อแยกโซนทำความร้อนสองท่อ |
โซนร้อนสองโซนที่ มีโซนร้อนเดี่ยวความยาว 440 มม และความยาว 250 มม . โซนอบอุ่น อุณหภูมิการทำงานสูงสุด 1200oC เป็นเวลา < 60 นาที สูงสุด 1100oC สำหรับทำความร้อนต่อเนื่อง ตัวควบคุมอุณหภูมิดิจิตอลความเที่ยงตรงสูงที่ตั้งโปรแกรมได้ 30 Segment ท่อควอทซ์ความบริสุทธิ์สูง : เส้นผ่านศูนย์กลาง 1400 มม . x ID 2.83 มม . ความยาว 55 นิ้ว x ความยาว ฟุต อินพุต : 208 - 240V AC อินพุต , หนึ่งเฟสที่สูงสุด 3kW มีเตาหลอมพื้นที่ทำความร้อนสามแบบเป็นอุปกรณ์เสริม |
| แหล่งจ่ายไฟ RF พลาสมา |
กำลังเอาต์พุต : 5 - ± W ปรับได้โดยมีความเสถียร 1 1% ความถี่ RF: ความเสถียร 13.56 MHz ±0.005 % การจับคู่ : อัตโนมัติ พอร์ตเอาต์พุต RF: 50 μ Ω , N-type, ตัวเมีย เสียงรบกวน : < 50 dB การระบายความร้อน : การระบายความร้อนด้วยอากาศ พลังงาน : 208 VAC, 50 60Hz |
| สถานีส่งก๊าซแบบสามช่องทาง |
อุณหภูมิขณะทำงาน : 5~45 º C สูงสุด แรงดัน : 3x106 Pa ความแม่นยำ : ±1.5 % FS กระดาษรอง : ± μ m 0.5 1.5 F.S. ความแม่นยำในการทำซ้ำ : ±0.2 % F.S. ช่วงการควบคุม : คอนโทรลเลอร์ 1 0~100 SCCCM ( การปรับเทียบก๊าซ AR) คอนโทรลเลอร์ 2 1: 1~199 SCCM ( การปรับเทียบ H2) คอนโทรลเลอร์ 3 1: 1~499 SCCM ( ปรับเทียบมีเทน ) |
| ปั๊มสุญญากาศและวาล์ว |
ปั๊มสุญญากาศแบบใบพัดสำหรับงานหนัก (1 7.8 ลบ . ฟุต / นาที -240 ลิตร / นาที ) ติดตั้งระบบไอเสียสองระดับในตัวถังด้านล่างที่มีแรงดันสุญญากาศสูงสุด 10-2 torr อะแดปเตอร์ KFD25 และท่อสแตนเลสสตีลเชื่อมต่ออยู่ระหว่างปั๊ม และหน้าแปลนท่อที่มีบอลวาล์วที่แม่นยำ เกจแรงดันสุญญากาศดิจิตอลและจอแสดง ผลติดตั้งพร้อมกับ เตาหลอม มีปั๊มแบบไร้สายและมีระบบสุญญากาศควบคุมแรงดัน PID ให้บริการเมื่อมีการร้องขอโดยมีค่าใช้จ่ายเพิ่มเติม |
| เกจแรงดันต้านการกัดกร่อน | ช่วง การวัด 1125 ถึง 5 Torr ไม่มีสารกัดกร่อนชนิดก๊าซ ความแม่นยำและความสามารถในการทำซ้ำของบรรยากาศสูงเพื่อความดันบรรยากาศที่เชื่อถือได้ การตรวจจับ การตรวจจับบรรยากาศที่รวดเร็วช่วยลดเวลารอและลดรอบการทำงานลง เปลี่ยนส่วนประกอบของเซนเซอร์แบบพลักแอนด์เพลย์ได้ง่าย |
| ตัวควบคุมอุณหภูมิ | ส่วนที่สามารถโปรแกรมได้ 30 ส่วนเพื่อการควบคุมอัตราความร้อนอัตราความเย็นและเวลาที่แช่ภาพที่แม่นยำ ฟังก์ชันการปรับเสียง PID ในตัวที่มีการป้องกันเทอร์โมคับเปลอร์ที่ร้อนเกินไปและเสียหาย การป้องกันอุณหภูมิสูง เกินไปและ การเตือน ภัยทำให้สามารถทำงานได้โดยไม่ต้องมีผู้ดูแล +/- 1 º C ความแม่นยำของอุณหภูมิ พอร์ตการสื่อสาร RS485 |
| แผงควบคุม | แผงควบคุมหน้าจอสัมผัสขนาด 7 นิ้วในตัวซึ่งจะควบคุมอุณหภูมิอัตราการไหลของก๊าซและพลาสมา |
| ขนาดโดยรวม | 2400 ลิตร x 600 วัตต์ x 1250 สูงมม |
| ช่องสุญญากาศ R2R |
ช่องที่ซีลด้วยสุญญากาศสองช่องอยู่ที่ปลายทั้งสองด้านของ และเชื่อมต่อกับท่อควอทซ์ ลูกกลิ้งแบบม้วนสำหรับซับสเตรตเข้าและออกอยู่ในตำแหน่ง ในช่องสุญญากาศด้านข้าง ความเร็วการม้วนสำหรับซับสเตรตสามารถปรับได้ตั้งแต่ 1 - 400 มม ./ นาที ความกว้างของฐานแบบเคลื่อนย้ายได้สูงสุด L 65 มม . สำหรับท่อ OD 80 มม มีแผ่นฟอยล์ทองแดงหนึ่งม้วนที่มีความกว้าง 65 มม . และหนา 0.025 มม . ( ประมาณ 5 กก .) สำหรับการปฏิบัติของลูกค้า หลอด OD 100 มม . เมื่อมีการร้องขอ ซึ่งสามารถป้อนซับสเตรตโดยมีความกว้างสูงสุด 80 มม |
| การรับประกัน | รับประกันหนึ่งปีภายใต้เงื่อนไขพร้อมบริการสนับสนุนด้านเวลาในการยก |
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว 
