ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว | แผงควบคุม | พารามิเตอร์ทั้งหมดของ Vapor , ALD และ Gas flow จะถูกควบคุมโดย PLC ผ่านทางหน้าจอสัมผัสขนาด 6 นิ้วในรถเข็นของมือถือ วาล์ว ALD สองช่อง สำหรับช่องทางการส่งก๊าซของ MFC |
| วาล์ว ALD |
วาล์ว ALD สองตัวพร้อมด้วยตัวควบคุมพัลส์ ( ระยะเวลาต่ำสุด 10 ms) สามารถทำความร้อนด้วยแอคชูเอเตอร์ความร้อน |
| เครื่องกำเนิดไฟฟ้าไอระเหยเหลว | เครื่องทำไอน้ำมันอัตโนมัติมีให้และเชื่อมต่อ กับ ALD วาล์ว |
| เตาหลอมท่อแบ่งโซนคู่ |
อุณหภูมิสูงสุด 1100 º C สำหรับการทำความร้อนต่อเนื่อง ตัวควบคุมอุณหภูมิดิจิตอลที่มีความเที่ยงตรงแบบตั้งโปรแกรมได้ 30 ส่วน มีโซนทำความร้อนควบคุมสองโซนแยกกัน ความยาว 200 มม . สำหรับแต่ละโซนการทำความร้อน ความยาวความร้อนรวม 400 มม พื้นที่ทำความร้อนอุณหภูมิกลางแบบคงที่ 250 มม . หากทั้งสองโซนเป็น ให้ความร้อนที่อุณหภูมิเดียวกัน ความแตกต่างของอุณหภูมิสูงสุด 500 º C ระหว่างสองโซนที่มีบล็อกวัดอุณหภูมิ ในระหว่างนั้น อินพุต : 208 - 240V AC อินพุต , หนึ่งเฟสที่สูงสุด 4 กิโลวัตต์ อุปกรณ์เสริม : สามารถติดตั้งระบบควบคุม ALD โดยใช้เตาหลอมท่อขนาดสั้นเป็นภาพเบโลโอรีซอน |
| เกจแรงดันต้านการกัดกร่อน | ช่วง การวัด 1125 ถึง 5 Torr ไม่มีสารกัดกร่อนชนิดก๊าซ ความแม่นยำและความสามารถในการทำซ้ำของบรรยากาศสูงเพื่อความดันบรรยากาศที่เชื่อถือได้ การตรวจจับ การตรวจจับบรรยากาศที่รวดเร็วช่วยลดเวลารอและลดรอบการทำงานลง เปลี่ยนส่วนประกอบของเซนเซอร์แบบพลักแอนด์เพลย์ได้ง่าย |
| ปั๊มสุญญากาศ ( ไม่บังคับ ) |
สามารถใช้แรงดูด 2 Torr ได้ภายในท่อที่ใช้งาน ไม่รวมเครื่องปั๊มสุญญากาศแนะนำให้คุณสั่งแบบแห้ง ปั๊มสำหรับกระบวนการ CVD |
มากขึ้นในท่าเตะบอล ไม่จำเป็น |
เครื่องหนุนหรือเครื่องระเหยสำหรับ CVD สามารถเพิ่ม Quartz Crystal และ Thermocouple ลงในการตรวจสอบ แผ่นฟิล์มบาง ความหนาและอุณหภูมิที่มีค่าใช้จ่ายเพิ่มเติม |
| ปรับปรุงแนวคิด | คุณสามารถใช้อุปกรณ์ ALD เพื่อสร้างพลาสมาแบบไฮบริดที่ดียิ่งขึ้น ระบบ ALD+ CVD และ ALD+PVD+CVD เพื่อเพิ่มจำนวนวัสดุที่ซับซ้อน |
| การรับประกัน | รับประกันหนึ่งปีภายใต้เงื่อนไขพร้อมบริการสนับสนุนตลอดอายุการใช้งาน |
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว 
