• ชิ้นงานสามชิ้นแมกนีรอนสเทอรเกอร์สำหรับซับสเตรตเคลือบผิวและเวเฟอร์
  • ชิ้นงานสามชิ้นแมกนีรอนสเทอรเกอร์สำหรับซับสเตรตเคลือบผิวและเวเฟอร์
  • ชิ้นงานสามชิ้นแมกนีรอนสเทอรเกอร์สำหรับซับสเตรตเคลือบผิวและเวเฟอร์
  • ชิ้นงานสามชิ้นแมกนีรอนสเทอรเกอร์สำหรับซับสเตรตเคลือบผิวและเวเฟอร์
  • ชิ้นงานสามชิ้นแมกนีรอนสเทอรเกอร์สำหรับซับสเตรตเคลือบผิวและเวเฟอร์
  • ชิ้นงานสามชิ้นแมกนีรอนสเทอรเกอร์สำหรับซับสเตรตเคลือบผิวและเวเฟอร์

ชิ้นงานสามชิ้นแมกนีรอนสเทอรเกอร์สำหรับซับสเตรตเคลือบผิวและเวเฟอร์

พิมพ์: ปืนพ่นสารเคลือบ
การเคลือบผิว: การเคลือบด้วยสุญญากาศ
ซับสเตรต: เหล็กกล้า
การรับรอง: CE
เงื่อนไข: ใหม่
การรับประกัน: หนึ่งปี

ติดต่อซัพพลายเออร์

ทัวร์เสมือนจริง 360°

สมาชิกไดมอนด์ อัตราจาก 2016

ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ

ผู้ผลิต / โรงงานและบริษัทผู้ค้า

ข้อมูลพื้นฐาน

ไม่ใช่ ของรุ่น
CY-VTC-600-3HD
แอปพลิเคชัน
การเคลือบเวเฟอร์ / แผ่นซับสเตรต
เทคโนโลยี
ทั้งนี้แมกเนตรอนอาจกระตุกได้
ขนาดห้อง
เส้นผ่านศูนย์กลาง 300 มม .*300 มม
แพคเพจการขนส่ง
Plastic Paper Inside, Wooden Box Outside
ข้อมูลจำเพาะ
Chamber size 300mm Dia. *300mm H.
เครื่องหมายการค้า
CYKY
ที่มา
Zhengzhou, China
รหัสพิกัดศุลกากร
8486202200
กำลังการผลิต
100/Month

คำอธิบายสินค้า

ชิ้นงานสามแบบ Magnetoron SInputering ใส่อุปกรณ์จ่ายไฟ RF/DC สามารถกระตุกได้สูงสุดสามซับสเตรตและเวเฟอร์

VTC-3HD ได้มาตรฐานการปรับรุพลาสมาโดยสามารถตัดกระแส คลื่นแม่เหล็กไฟฟ้าได้ถึง 2 ฟุตพร้อมด้วยแหล่งกำเนิดแม่เหล็ก 600 ต้นและแหล่งจ่ายไฟ RF/DC 3 ชุด ระบบสปัตเต อริงนี้สามารถถ่ายทอดวัสดุของชิ้นงานที่แตกต่างกันถึงสามแบบและสร้างโปรไฟล์การจัดองค์ประกอบต่างๆข้ามซับสเตรต ( เช่นวัสดุที่เป็นเส้นใต้สำหรับ แบตเตอรี่ Li-ion แบบชาร์จใหม่ได้ )  ระบบนี้ยังเหมาะสำหรับการเคลือบฟิล์มหลายชั้นเช่นเฟอร์รอลไฟฟ้าอัลลอยเซมิคอนดักเตอร์เซมิคอนดักเตอร์เซรามิกไดอิเล็กทริก ออปติคัล , ออกไซด์ , แข็ง , PTFE เป็นต้น


ข้อมูลจำเพาะ

กำลังไฟอินพุต

เฟสเดียว 220 VAC 50/60 Hz

2000 วัตต์ ( รวมถึงเครื่องทำความเย็นแบบปั๊มสุญญากาศและน้ำ )

แหล่งจ่ายไฟต้นทาง

แหล่งจ่ายไฟแบบสปัตเตอริง 3 ตัวรวมอยู่ในกล่องควบคุมเดียวกัน

แหล่ง DC: 500 W สำหรับวัสดุโลหะเคลือบผิว

แหล่ง RF: กำลังไฟ 300 W, ความถี่ 13.56 MHz สำหรับวัสดุเคลือบที่ไม่นำไฟฟ้า

หัวแมกเนตรอนสคูลลิ่ง

 หัว Magnetron Smobering 2 นิ้วสามหัว พร้อมแจ็คเก็ตกันน้ำเย็นและ พร้อมชัตเตอร์

มีหัวเซนเซอร์วางจำหน่ายหนึ่งรุ่น

ขนาดของชิ้นงานที่ต้องการ : เส้นผ่านศูนย์กลาง 2 นิ้ว

ช่วงความหนา : 0.1 - 5 มม . สำหรับทั้งชิ้นงานโลหะและชิ้นงานที่ไม่นำไฟฟ้า ( รวมถึงแผ่นรอง )

 เป้าหมายสแตนเลสสตีลหนึ่งชิ้น และ เป้าหมายของเกรดเป้าหมายที่ 2O3 จากการวิจัยหนึ่งชิ้น  มีไว้เพื่อการทดสอบการสาธิต

สามารถเลือกใช้ชิ้นงานที่พ่นน้ำ 2 นิ้ว ( หรือแผ่นรอง ) ได้หากต้องการโดยมีค่าใช้จ่ายเพิ่มเติม

สูตรการป้อนข้อมูลที่แนะนำและเคล็ดลับที่เป็นประโยชน์

ตัวจัดตำแหน่งแบบปรับแต่งได้ : ไฟ DC สองชุด - หนึ่ง RF; ไฟ DC สองชุด - หนึ่ง DC ; ไฟ DC สามชุด ; ไฟ RF สามชุด

อุปกรณ์เสริม : สามารถสั่งซื้อสาย RF ขนาด 148 ซม . โดยมีค่าใช้จ่ายเพิ่มเติมสำหรับการเปลี่ยน

ช่องสุญญากาศ

ช่องสุญญากาศ : เส้นผ่านศูนย์กลาง 300 มม . x ความสูง 300 มม . ทำจากสแตนเลสสตีล

ช่องมองภาพ : กระจกเส้นผ่านศูนย์กลาง 100 มม . 2 ชิ้น ติดตั้งครั้งเดียวถอดออกได้หนึ่งชุดสำหรับทำความสะอาดและเปลี่ยน

ฝาชนิดบานพับที่มี ขั้วแหล่งจ่ายไฟนิวเมติกช่วยให้ชิ้นงานได้ง่าย เปลี่ยน

ขั้นตอนตัวอย่าง

ที่ยึดตัวอย่างเป็นแท่นที่หมุนได้และทำให้สามารถเคลื่อนย้ายได้ อุปกรณ์ทำความร้อนเคลือบด้วยเซรามิคพร้อมฝาครอบทองแดง

ขนาดตัวจับตัวอย่าง : เส้นผ่านศูนย์กลาง 140 มม . สำหรับ สูงสุด 4 นิ้วเวเฟอร์

ความเร็วในการหมุน : 1 - 20 รอบต่อนาทีปรับได้เพื่อให้ได้การเคลือบที่สม่ำเสมอ

อุณหภูมิของตัวจับสามารถปรับได้จาก RT ถึง 500 ° C สูงสุด ( สูงสุด 2 ชม .) ด้วยความแม่นยำ +/- 1.0 ° C ผ่านทางคอนโทรลเลอร์ควบคุมอุณหภูมิแบบดิจิตอล

การควบคุมการไหลของก๊าซ

มีการติดตั้งตัวควบคุมการไหลเชิงมวล (MFC) สองตัวเพื่อให้สามารถใช้งานได้ ทางเข้าของก๊าซสองชนิด

อัตราการไหล : 0 - 200 mL/min และ 0 - 100 มล ./ นาทีสามารถปรับได้บนแผงควบคุมหน้าจอสัมผัส

วาล์วอากาศเข้าถูกติดตั้งสำหรับการปล่อยสุญญากาศ

ปั๊มสุญญากาศ

มีปั๊มน้ำแบบเคลื่อนที่ให้มาด้วย สามารถติดตั้งตัวเคลือบสีไว้ด้านบนของสถานีได้

ปั๊มเทอร์โบความเร็วสูง ที่ความเร็ว 80L/S จะทำงานร่วมกับ ปั๊มกลไก 220 ขั้นตอน (1 ลิตร / นาที ) เพื่อระดับสุญญากาศสูงสุดและความเร็วการปั๊มที่เร็วขึ้น

ระดับสุญญากาศมาตรฐานที่เชื่อมต่อกับช่อง : < 4.0E-4 5 Torr .  (1.0E-4 6 Torr พร้อมการอบห้อง )

หากเลือก ปั๊มเทอร์โบความเร็วสูง 150 ลิตร / วินาทีสุญญากาศจะสามารถจ่ายได้ 10-6 torr ด้วยช่อง ( มี 6x10-5 7 torr พร้อมการอบ )

สำหรับสุญญากาศสูงสุด 10 ^12^2 -7 turr ปั๊มที่ไม่มีความเร็วสูงพิเศษ (100 ลิตร H2 & O2) นั้นจำเป็นต้องใช้ร่วมกับปั๊มเทอร์โบ

ตู้แช่เย็นน้ำ

 

 เครื่องทำความเย็นแบบน้ำไหลเวียนที่ควบคุมอุณหภูมิแบบดิจิตอล หนึ่งเครื่องรวมอยู่ด้วย  

ช่วงการทำความเย็น : 5~35 ° C

อัตราการไหล : 16 ลิตร / นาที

แรงดันปั๊ม : 14 psi

ขนาดโดยรวม

ฝาปิด : 48 นิ้ว × 28 นิ้ว × 32 นิ้ว     ฝาเปิด : 48 นิ้ว × 28 นิ้ว × 37 นิ้ว

น้ำหนักสุทธิของตัวถ่วงดุล

160 กก

น้ำหนักและขนาดขณะขนส่ง

พาเลทรวม 3 พาเล

365 ปอนด์ , 48 นิ้ว x 40 นิ้ว x 45 นิ้ว

390 ปอนด์ , 48 นิ้ว x 40 นิ้ว x 49 นิ้ว

210 ปอนด์ , 48 นิ้ว x 40 นิ้ว x 30 นิ้ว

การปฏิบัติตามกฎระเบียบ

ได้รับการรับรอง CE

การรับประกัน

รับประกันหนึ่งปีภายใต้เงื่อนไขพร้อมบริการสนับสนุนตลอดอายุการใช้งาน

รูปภาพที่มีรายละเอียด
Three Targets Magnetron Sputtering Coater for Coating Substrates and Wafers
Three Targets Magnetron Sputtering Coater for Coating Substrates and Wafers
Three Targets Magnetron Sputtering Coater for Coating Substrates and Wafers

Three Targets Magnetron Sputtering Coater for Coating Substrates and Wafers

การบรรจุและการจัดส่ง :

ภายในกระดาษพลาสติกมีการเติมโพลีโฟม กล่องไม้หรือ ตามที่คุณต้องการ
Three Targets Magnetron Sputtering Coater for Coating Substrates and Wafers
การจัดส่งและการขนส่ง ตามที่ลูกค้าร้องขอ โดยทั่วไปแล้ววิธีการขนส่งของเราคือทางทะเลทางอากาศหรือโดยรถไฟ
Three Targets Magnetron Sputtering Coater for Coating Substrates and Wafers

บริการของเรา

1 ตอบคำถามของคุณใน 24 ชั่วโมงทำการ

2 พนักงานที่มีประสบการณ์สามารถตอบคำถามของท่านได้อย่างคล่องแคล่วด้วยภาษาอังกฤษ

3 มีการออกแบบที่ปรับแต่งได้ตามต้องการ

4 วิศวกร และพนักงานที่เชี่ยวชาญและมีความเชี่ยวชาญของเราสามารถให้บริการที่ดีเยี่ยมแก่ลูกค้าได้

5 โรงงานที่เชี่ยวชาญ : บริษัทผู้ผลิตอุปกรณ์ห้องปฏิบัติการที่มีความเชี่ยวชาญ  

ข้อมูลบริษัท

บริษัทเจิ้งโจวเต่อ . ฟิล์มวัสดุจำกัด ส่วนใหญ่จะเข้าร่วมในการวิจัยและพัฒนาออกแบบผลิตและจำหน่ายอุปกรณ์ที่ใช้ในงานวิจัยทางวิทยาศาสตร์ ความเป็นอิสระและนวัตกรรมคืองานที่บริษัทให้ความสำคัญ ผลิตภัณฑ์หลักของเราได้แก่เตาหลอมท่อเตาหลอมแบบหลายชั้นเครื่องทำความสะอาดพลาสมาเตาสุญญากาศเตาหลอมบรรยากาศ ระบบ CVD และ อุปกรณ์ในห้องแล็บที่ปรับแต่งได้ ยินดีต้อนรับสู่เรา

ผลิตภัณฑ์ของบริษัทบางส่วน
Three Targets Magnetron Sputtering Coater for Coating Substrates and Wafers

ส่งข้อซักถามของคุณไปยังผู้ให้บริการนี้โดยตรง

*ของ:
*ถึง:
*ข้อความ:

โปรดป้อนตัวอักษรระหว่าง 20 ถึง 4000 ตัว

นี้ไม่ใช่สิ่งที่คุณตามหา? โพสต์คำขอการจัดซื้อตอนนี้

หาสินค้าที่ใกล้เคียงตามหมวดหมู่

หน้าแรกของซัพพลายเออร์ สินค้า เคลือบฟิล์ม ฟิล์มแบบอื่นๆเคลือบ ชิ้นงานสามชิ้นแมกนีรอนสเทอรเกอร์สำหรับซับสเตรตเคลือบผิวและเวเฟอร์

สิ่งที่คุณอาจจะชอบ

กลุ่มผลิตภัณฑ์

ติดต่อซัพพลายเออร์

ทัวร์เสมือนจริง 360°

สมาชิกไดมอนด์ อัตราจาก 2016

ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ

ผู้ผลิต / โรงงานและบริษัทผู้ค้า
ทุนจดทะเบียน
75379.11 USD
เงื่อนไขการชำระเงิน
LC, T/T, D/P, Western Union