พิมพ์: | ปืนพ่นสารเคลือบ |
---|---|
การเคลือบผิว: | การเคลือบด้วยสุญญากาศ |
ซับสเตรต: | เหล็กกล้า |
การรับรอง: | CE |
เงื่อนไข: | ใหม่ |
การรับประกัน: | หนึ่งปี |
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ชิ้นงานสามแบบ Magnetoron SInputering ใส่อุปกรณ์จ่ายไฟ RF/DC สามารถกระตุกได้สูงสุดสามซับสเตรตและเวเฟอร์
VTC-3HD ได้มาตรฐานการปรับรุพลาสมาโดยสามารถตัดกระแส คลื่นแม่เหล็กไฟฟ้าได้ถึง 2 ฟุตพร้อมด้วยแหล่งกำเนิดแม่เหล็ก 600 ต้นและแหล่งจ่ายไฟ RF/DC 3 ชุด ระบบสปัตเต อริงนี้สามารถถ่ายทอดวัสดุของชิ้นงานที่แตกต่างกันถึงสามแบบและสร้างโปรไฟล์การจัดองค์ประกอบต่างๆข้ามซับสเตรต ( เช่นวัสดุที่เป็นเส้นใต้สำหรับ แบตเตอรี่ Li-ion แบบชาร์จใหม่ได้ ) ระบบนี้ยังเหมาะสำหรับการเคลือบฟิล์มหลายชั้นเช่นเฟอร์รอลไฟฟ้าอัลลอยเซมิคอนดักเตอร์เซมิคอนดักเตอร์เซรามิกไดอิเล็กทริก ออปติคัล , ออกไซด์ , แข็ง , PTFE เป็นต้น
ข้อมูลจำเพาะ
กำลังไฟอินพุต |
เฟสเดียว 220 VAC 50/60 Hz 2000 วัตต์ ( รวมถึงเครื่องทำความเย็นแบบปั๊มสุญญากาศและน้ำ ) |
แหล่งจ่ายไฟต้นทาง |
แหล่งจ่ายไฟแบบสปัตเตอริง 3 ตัวรวมอยู่ในกล่องควบคุมเดียวกัน แหล่ง DC: 500 W สำหรับวัสดุโลหะเคลือบผิว แหล่ง RF: กำลังไฟ 300 W, ความถี่ 13.56 MHz สำหรับวัสดุเคลือบที่ไม่นำไฟฟ้า |
หัวแมกเนตรอนสคูลลิ่ง |
หัว Magnetron Smobering 2 นิ้วสามหัว พร้อมแจ็คเก็ตกันน้ำเย็นและ พร้อมชัตเตอร์ มีหัวเซนเซอร์วางจำหน่ายหนึ่งรุ่น ขนาดของชิ้นงานที่ต้องการ : เส้นผ่านศูนย์กลาง 2 นิ้ว ช่วงความหนา : 0.1 - 5 มม . สำหรับทั้งชิ้นงานโลหะและชิ้นงานที่ไม่นำไฟฟ้า ( รวมถึงแผ่นรอง ) เป้าหมายสแตนเลสสตีลหนึ่งชิ้น และ เป้าหมายของเกรดเป้าหมายที่ 2O3 จากการวิจัยหนึ่งชิ้น มีไว้เพื่อการทดสอบการสาธิต สามารถเลือกใช้ชิ้นงานที่พ่นน้ำ 2 นิ้ว ( หรือแผ่นรอง ) ได้หากต้องการโดยมีค่าใช้จ่ายเพิ่มเติม สูตรการป้อนข้อมูลที่แนะนำและเคล็ดลับที่เป็นประโยชน์ ตัวจัดตำแหน่งแบบปรับแต่งได้ : ไฟ DC สองชุด - หนึ่ง RF; ไฟ DC สองชุด - หนึ่ง DC ; ไฟ DC สามชุด ; ไฟ RF สามชุด อุปกรณ์เสริม : สามารถสั่งซื้อสาย RF ขนาด 148 ซม . โดยมีค่าใช้จ่ายเพิ่มเติมสำหรับการเปลี่ยน |
ช่องสุญญากาศ |
ช่องสุญญากาศ : เส้นผ่านศูนย์กลาง 300 มม . x ความสูง 300 มม . ทำจากสแตนเลสสตีล ช่องมองภาพ : กระจกเส้นผ่านศูนย์กลาง 100 มม . 2 ชิ้น ติดตั้งครั้งเดียวถอดออกได้หนึ่งชุดสำหรับทำความสะอาดและเปลี่ยน ฝาชนิดบานพับที่มี ขั้วแหล่งจ่ายไฟนิวเมติกช่วยให้ชิ้นงานได้ง่าย เปลี่ยน |
ขั้นตอนตัวอย่าง |
ที่ยึดตัวอย่างเป็นแท่นที่หมุนได้และทำให้สามารถเคลื่อนย้ายได้ อุปกรณ์ทำความร้อนเคลือบด้วยเซรามิคพร้อมฝาครอบทองแดง ขนาดตัวจับตัวอย่าง : เส้นผ่านศูนย์กลาง 140 มม . สำหรับ สูงสุด 4 นิ้วเวเฟอร์ ความเร็วในการหมุน : 1 - 20 รอบต่อนาทีปรับได้เพื่อให้ได้การเคลือบที่สม่ำเสมอ อุณหภูมิของตัวจับสามารถปรับได้จาก RT ถึง 500 ° C สูงสุด ( สูงสุด 2 ชม .) ด้วยความแม่นยำ +/- 1.0 ° C ผ่านทางคอนโทรลเลอร์ควบคุมอุณหภูมิแบบดิจิตอล |
การควบคุมการไหลของก๊าซ |
มีการติดตั้งตัวควบคุมการไหลเชิงมวล (MFC) สองตัวเพื่อให้สามารถใช้งานได้ ทางเข้าของก๊าซสองชนิด อัตราการไหล : 0 - 200 mL/min และ 0 - 100 มล ./ นาทีสามารถปรับได้บนแผงควบคุมหน้าจอสัมผัส วาล์วอากาศเข้าถูกติดตั้งสำหรับการปล่อยสุญญากาศ |
ปั๊มสุญญากาศ |
มีปั๊มน้ำแบบเคลื่อนที่ให้มาด้วย สามารถติดตั้งตัวเคลือบสีไว้ด้านบนของสถานีได้ ปั๊มเทอร์โบความเร็วสูง ที่ความเร็ว 80L/S จะทำงานร่วมกับ ปั๊มกลไก 220 ขั้นตอน (1 ลิตร / นาที ) เพื่อระดับสุญญากาศสูงสุดและความเร็วการปั๊มที่เร็วขึ้น ระดับสุญญากาศมาตรฐานที่เชื่อมต่อกับช่อง : < 4.0E-4 5 Torr . (1.0E-4 6 Torr พร้อมการอบห้อง ) หากเลือก ปั๊มเทอร์โบความเร็วสูง 150 ลิตร / วินาทีสุญญากาศจะสามารถจ่ายได้ 10-6 torr ด้วยช่อง ( มี 6x10-5 7 torr พร้อมการอบ ) สำหรับสุญญากาศสูงสุด 10 ^12^2 -7 turr ปั๊มที่ไม่มีความเร็วสูงพิเศษ (100 ลิตร H2 & O2) นั้นจำเป็นต้องใช้ร่วมกับปั๊มเทอร์โบ |
ตู้แช่เย็นน้ำ
|
เครื่องทำความเย็นแบบน้ำไหลเวียนที่ควบคุมอุณหภูมิแบบดิจิตอล หนึ่งเครื่องรวมอยู่ด้วย ช่วงการทำความเย็น : 5~35 ° C อัตราการไหล : 16 ลิตร / นาที แรงดันปั๊ม : 14 psi |
ขนาดโดยรวม |
ฝาปิด : 48 นิ้ว × 28 นิ้ว × 32 นิ้ว ฝาเปิด : 48 นิ้ว × 28 นิ้ว × 37 นิ้ว |
น้ำหนักสุทธิของตัวถ่วงดุล |
160 กก |
น้ำหนักและขนาดขณะขนส่ง |
พาเลทรวม 3 พาเล 365 ปอนด์ , 48 นิ้ว x 40 นิ้ว x 45 นิ้ว 390 ปอนด์ , 48 นิ้ว x 40 นิ้ว x 49 นิ้ว 210 ปอนด์ , 48 นิ้ว x 40 นิ้ว x 30 นิ้ว |
การปฏิบัติตามกฎระเบียบ |
ได้รับการรับรอง CE |
การรับประกัน |
รับประกันหนึ่งปีภายใต้เงื่อนไขพร้อมบริการสนับสนุนตลอดอายุการใช้งาน |
รูปภาพที่มีรายละเอียด
การบรรจุและการจัดส่ง :
ภายในกระดาษพลาสติกมีการเติมโพลีโฟม กล่องไม้หรือ ตามที่คุณต้องการ
การจัดส่งและการขนส่ง ตามที่ลูกค้าร้องขอ โดยทั่วไปแล้ววิธีการขนส่งของเราคือทางทะเลทางอากาศหรือโดยรถไฟ
1 ตอบคำถามของคุณใน 24 ชั่วโมงทำการ
2 พนักงานที่มีประสบการณ์สามารถตอบคำถามของท่านได้อย่างคล่องแคล่วด้วยภาษาอังกฤษ
3 มีการออกแบบที่ปรับแต่งได้ตามต้องการ
4 วิศวกร และพนักงานที่เชี่ยวชาญและมีความเชี่ยวชาญของเราสามารถให้บริการที่ดีเยี่ยมแก่ลูกค้าได้
5 โรงงานที่เชี่ยวชาญ : บริษัทผู้ผลิตอุปกรณ์ห้องปฏิบัติการที่มีความเชี่ยวชาญ
ข้อมูลบริษัทบริษัทเจิ้งโจวเต่อ . ฟิล์มวัสดุจำกัด ส่วนใหญ่จะเข้าร่วมในการวิจัยและพัฒนาออกแบบผลิตและจำหน่ายอุปกรณ์ที่ใช้ในงานวิจัยทางวิทยาศาสตร์ ความเป็นอิสระและนวัตกรรมคืองานที่บริษัทให้ความสำคัญ ผลิตภัณฑ์หลักของเราได้แก่เตาหลอมท่อเตาหลอมแบบหลายชั้นเครื่องทำความสะอาดพลาสมาเตาสุญญากาศเตาหลอมบรรยากาศ ระบบ CVD และ อุปกรณ์ในห้องแล็บที่ปรับแต่งได้ ยินดีต้อนรับสู่เรา
ผลิตภัณฑ์ของบริษัทบางส่วน
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ