• เครื่องมือเคลือบแม่เหล็กสตรอนสปีทริงเป้าหมายสามชิ้นสำหรับฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์
  • เครื่องมือเคลือบแม่เหล็กสตรอนสปีทริงเป้าหมายสามชิ้นสำหรับฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์
  • เครื่องมือเคลือบแม่เหล็กสตรอนสปีทริงเป้าหมายสามชิ้นสำหรับฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์
  • เครื่องมือเคลือบแม่เหล็กสตรอนสปีทริงเป้าหมายสามชิ้นสำหรับฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์

เครื่องมือเคลือบแม่เหล็กสตรอนสปีทริงเป้าหมายสามชิ้นสำหรับฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์

บริการหลังการขาย: วิดีโอออนไลน์
ประกันสินค้า: 1 ปี
พิมพ์: สายการผลิตแบบเคลือบ
การเคลือบผิว: การเคลือบด้วยสุญญากาศ
ซับสเตรต: เหล็กกล้า
การรับรอง: CE

ติดต่อซัพพลายเออร์

ทัวร์เสมือนจริง 360°

สมาชิกไดมอนด์ อัตราจาก 2016

ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ

ผู้ผลิต / โรงงานและบริษัทผู้ค้า

ข้อมูลพื้นฐาน

ไม่ใช่ ของรุ่น
CY-MSP500S-2DC-1RF
เงื่อนไข
ใหม่
โหมดทำความเย็น
การระบายความร้อนด้วยน้ำ
เครื่องทำน้ำเย็น
เครื่องทำความเย็นแบบไหลเวียนน้ำมีอัตราการไหล 10 ลิตร / ไมล์
ขนาดห้อง
300 มม .*300 มม
วัสดุของห้อง
สแตนเลสสตีล
โหมดการเปิด
ฝาด้านบนเปิดอยู่
ปั๊มสำรอง
ปั๊มใบพัดแบบหมุน
สุญญากาศสูงสุด
1.0E-5pa
แพคเพจการขนส่ง
Wooden Case
ข้อมูลจำเพาะ
กำหนดเอง
เครื่องหมายการค้า
CYKY
ที่มา
Zhengzhou, China
รหัสพิกัดศุลกากร
8416100000
กำลังการผลิต
100pieces/Month

คำอธิบายสินค้า

อุปกรณ์เคลือบแม่เหล็กด้านบนของชิ้นงาน 3 ชิ้นสำหรับฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์

อุปกรณ์เคลือบด้วยแมกเนตรอน (แมกเน ตรอน (Electron sprสมาชิก ) 3 ชิ้นเป็นอุปกรณ์เคลือบที่ใช้งานได้อย่างคุ้มค่าโดยบริษัทของเราสามารถพัฒนาได้อย่างอิสระโดยมีลักษณะของการกำหนดมาตรฐาน , การเปลี่ยนสภาพให้เป็นแบบไบนาไรเซชันและการปรับแต่ง อุปกรณ์นี้สามารถใช้ในการจัดเตรียมฟิล์มไฟฟ้าแบบใช้แล้วห่อหุ้มด้วยวัสดุชั้นเดียวหรือหลายชั้นฟิล์มที่นำไฟฟ้าฟิล์มโลหะผสมฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์ฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์ฟิล์มเซรามิก ฟิล์มไดอิเล็กทริก , ฟิล์มออปติคัล , ฟิล์มออกไซด์ , ฟิล์มโพลิทิตาฟลูออโรเอทิลีน , เป็นต้นสามารถใช้แหล่งจ่ายไฟ DC สำหรับการเตรียมฟิล์มโลหะสามารถใช้แหล่งจ่ายไฟ RF สำหรับการเตรียมฟิล์มที่ไม่ใช่โลหะและชิ้นงานทั้งสามสามารถตอบสนองความต้องการด้านการเคลือบหลายชั้นหรือหลายชั้นได้ เมื่อเปรียบเทียบกับอุปกรณ์ชนิดเดียวกันอุปกรณ์เคลือบแมกเนตรอนแบบพ่นน้ำสามชิ้นงานไม่เพียงแต่ใช้งานอย่างแพร่หลายเท่านั้นแต่ยังมีข้อดีของขนาดเล็กและใช้งานง่ายอีกด้วย เป็นอุปกรณ์ที่เหมาะสำหรับการเตรียมฟิล์มวัสดุในห้องปฏิบัติการ

ข้อมูลจำเพาะของตัวจัดอันดับสุญญากาศ :

เครื่องเคลือบผิวแบบแมกเนตรอนสามชิ้นแบบพ่นน้ำ ( แหล่งจ่ายไฟ DC + แหล่งจ่ายไฟ RF)
ตารางตัวอย่าง โหมดสปัตเตอริง การวางแนวแบบสปัตเตอริงขึ้นแท่นวางตัวอย่างอยู่เหนือชิ้นงานที่มีน้ำกระเซ็น
ปรับกึ่งกลางที่ใส่ตัวอย่างโดยใช้ชัตเตอร์เพียงหนึ่งเดียว
ที่เก็บตัวอย่าง φ150mm
ความแม่นยำในการควบคุม ±1 º C
ช่วงความร้อน อุณหภูมิห้อง ~500 º C
ปรับความเร็วได้ 1 รอบต่อนาทีปรับได้
สามารถปรับระยะฐานของชิ้นงานได้ ระยะห่างระหว่างชิ้นงานและซับสเตรตสามารถเป็นได้ ปรับค่าทางไฟฟ้า


ปืนชิ้นงานแมกเนตรอน
ระนาบเป้าหมาย ชิ้นงานระนาบทรงกลม
เครื่องดูดฝุ่นแบบสปัตเตอริง 10PPA ถึง 0.2Pa
เส้นผ่านศูนย์กลางชิ้นงาน 3~0.50.8 มม 50
ความหนาของชิ้นงาน ประมาณ 2 มม
หมายเหตุ : หากชิ้นงานเป็นวัสดุแม่เหล็ก ( เช่น FE, Co, Ni ) ความหนาจะต้องไม่เกิน 1.5 มม . และต้องใช้ปืนพ่นแม่เหล็กที่มีกำลังแรงสูงจะต้องมีการชาร์จประจุเพิ่มเติม
แรงดันไฟฟ้าของฉนวน >2000V
จำนวน 2 นิ้ว *10; 3 พร้อมชัตเตอร์สำหรับปืนแต่ละกระบอก
ข้อมูลจำเพาะของสายเคเบิล SL-16
อุณหภูมิของหัวเป้าหมาย <=65 º C

ช่องสุญญากาศ
การบำบัดผนังด้านใน การขัดด้วยอิเล็กโทรไลต์
ขนาดห้อง ø φ300mm × 350 มม
วัสดุของห้อง 304 สแตนเลสสตีล
กรอบการตรวจสอบ ช่องควอตซ์ , เส้นผ่านศูนย์กลาง φ100mm ด้วยชัตเตอร์
วิธีซีล ซีล Viton
วิธีเปิด ช่องเปิดด้านบน , ส่วนรองรับกระบอกสูบเสริม











ระบบควบคุมก๊าซ
การควบคุมการไหล มิเตอร์วัดการไหลแบบมวล 3 ทิศทาง :
ออกซิเจน : ช่วง 0 ถึง 100CCM
ก๊าซอาร์กอน : ช่วง 0 ถึง 200SCCCM
ไนโตรเจน : ช่วง 0 ถึง 500 CCM
( หมายเหตุ : เพื่อให้ได้สภาพแวดล้อมที่ปราศจากอ็อกซิเจนสูงขึ้นต้องทำความสะอาดช่องสุญญากาศด้วยก๊าซเฉื่อยที่มีความบริสุทธิ์สูงอย่างน้อย 3 ครั้ง )
ชนิดก๊าซ อาร์กอนไนโตรเจนอ็อกซิเจนและก๊าซเฉื่อยอื่นๆ
ชนิดวาล์วควบคุม ลิ้นโซลินอยด์
สถานะคงที่ของวาล์วควบคุม ปกติปิด
การวัดลิเนียริตี้ ±1.5 % F.S
อัตราการทำซ้ำในการวัด ±0.2 % F.S
เวลาตอบสนองในการวัด ≤8 วินาที (T95)
ช่วงแรงดันในการทำงาน 0.3 MPa
แรงดันตัววาล์ว 3MPa
อุณหภูมิในการทำงาน 5 45 º C
วัสดุของร่างกาย โลหะสแตนเลส 316L
อัตราการรั่วไหลของตัววาล์ว 1 × 10 Pa m3/s
ข้อต่อท่อ ข้อต่อแบบแพคขนาด 4 1
สัญญาณอินพุตและเอาต์พุต 0 ~ 5 โวลต์
แหล่งจ่ายไฟ ±±V( 5 15%)(+15V 50mA,  -15V 200mA)
ขนาดโดยรวม ( มม .) 130 ( กว้าง ) × 102 ( สูง ) × 28 ( หนา )
อินเตอร์เฟสการสื่อสาร โปรโตคอล RS485 MODBUS
แหล่งจ่ายไฟ DC แหล่งจ่ายไฟ 500 วัตต์
แรงดันไฟฟ้าเอาต์พุต 0 โวลต์
กระแสไฟฟ้าเอาต์พุตสูงสุด 1 ก
ระยะเวลา 65000 S
เวลาเริ่มต้น 1~10 S
จำนวน 2 เซ็ต
แหล่งจ่ายไฟ RF แหล่งจ่ายไฟ 500 วัตต์
ช่วงเอาต์พุตกำลังไฟ 0W-500W จัดการแข่งขันได้โดยอัตโนมัติ
กำลังสะท้อนสูงสุด 100W
ความถี่ RF ความเสถียร 0.005 MHz+/-1.5%
ความเสถียรของกำลังแสง ≤5 วัตต์
องค์ประกอบฮาร์โมนิค น้อยกว่า -50dbc
จำนวน 1 เซ็ต

ชิ้นงานคู่ของแมกเนตรอนสไปมาบนภาพถ่ายผลิตภัณฑ์ :
Three Target Upper Magnetron Sputtering Coater Instrument for Semiconductor FilmsThree Target Upper Magnetron Sputtering Coater Instrument for Semiconductor FilmsThree Target Upper Magnetron Sputtering Coater Instrument for Semiconductor FilmsThree Target Upper Magnetron Sputtering Coater Instrument for Semiconductor Films


Three Target Upper Magnetron Sputtering Coater Instrument for Semiconductor FilmsThree Target Upper Magnetron Sputtering Coater Instrument for Semiconductor Films

Three Target Upper Magnetron Sputtering Coater Instrument for Semiconductor Films

ก่อตั้งขึ้นในปี 2005 โดยบริษัท Zhengzhou Scientific Instrument Co., Ltd. เป็นบริษัทที่มีความเชี่ยวชาญในการพัฒนาและผลิตอุปกรณ์การวิจัยทางเทคโนโลยีในห้องปฏิบัติการ ผลิตภัณฑ์มีทั้งแบบผสมแบบกดแบบผสมแบบไหม้ตัดสายดิน อุปกรณ์ที่ขัดเงาเคลือบและวิเคราะห์รวมถึงวัสดุสิ้นเปลืองที่เกี่ยวข้อง ผลิตภัณฑ์ต่างๆได้แก่อุปกรณ์เชื่อมระหว่างห้องปฏิบัติการอุปกรณ์เคลือบผิวและอื่นๆ ปัจจุบันบริษัทส่งออกผลิตภัณฑ์ไปยัง 25 ประเทศและภูมิภาคเช่นสหรัฐอเมริกายุโรปและเอเชียตะวันออกเฉียงใต้และได้รับการตอบรับเป็นอย่างดีจากหน่วยงานวิจัยทางวิทยาศาสตร์หลายแห่ง

บริษัทมีทีมงานวิจัยและพัฒนาเทคโนโลยีที่ครบกำหนดจำนวนเจ้าหน้าที่ด้านเทคนิคอยู่ที่ 33 150 คนพื้นที่สำนักงานมากกว่า 500 ตารางเมตรโดยมีพื้นที่ประมาณ 1,500 ตารางเมตรอยู่ที่เขตอุตสาหกรรมเจิ้งโจวไฮเทค ผลิตภัณฑ์นี้ตั้งอยู่ในตลาดวิจัยโดยให้บริการงานวิจัยทางวิทยาศาสตร์ในห้องปฏิบัติการของมหาวิทยาลัยและวิทยาลัยและยังสามารถปรับแต่งผลิตภัณฑ์ตามความต้องการของคุณได้อีกด้วย
Three Target Upper Magnetron Sputtering Coater Instrument for Semiconductor Films
Three Target Upper Magnetron Sputtering Coater Instrument for Semiconductor Films
Three Target Upper Magnetron Sputtering Coater Instrument for Semiconductor Films

Q. คุณเป็นผู้ผลิตหรือบริษัทการค้าใช่หรือไม่ ?

A. เราเป็นผู้ผลิตเครื่องมือทางห้องปฏิบัติการระดับมืออาชีพมีทีมออกแบบและโรงงานของตนเองมีประสบการณ์ทางเทคนิคที่สมบูรณ์และสามารถรับประกันคุณภาพของผลิตภัณฑ์และราคาที่เหมาะสมได้

คำถามระบบบริการหลังการขายของบริษัทของคุณเป็นอย่างไร

A.  ช่วงระยะเวลาการรับประกันผลิตภัณฑ์คือ 12 เดือนเราสามารถให้การบำรุงรักษาตลอดอายุการใช้งานได้ เรามีแผนกก่อนการขายและหลังการขายมืออาชีพที่สามารถตอบกลับคุณได้ภายใน 24 ชั่วโมงเพื่อแก้ไขปัญหาทางเทคนิคใดๆ

คำถามเวลาจัดส่งสินค้าของคุณนานเท่าใด ถ้าฉันต้องการปรับแต่งอุปกรณ์จะใช้เวลานานเท่าใด

คำตอบ 1. หากสินค้าอยู่ในคลังสินค้าก็จะเป็นเวลา 5-10 วัน 2 เราสามารถให้บริการที่ปรับแต่งตามความต้องการของลูกค้าได้ โดยปกติแล้วจะใช้เวลา 30-60 วันขึ้นอยู่กับข้อมูลจำเพาะของอุปกรณ์แบบกำหนดเอง

Q. แหล่งจ่ายไฟและปลั๊กไฟของประเทศของเรานั้นแตกต่างกัน คุณจะแก้ไขปัญหาได้อย่างไร

A. เราสามารถจัดส่งหม้อแปลงและปลั๊กไฟได้ตามความต้องการของคุณตามปลั๊กไฟของประเทศต่างๆ

คำถามวิธีการชำระเงิน

AT/T, L / C, D / P เป็นต้นขอแนะนำให้ใช้การรับประกันการค้า Alibaba

Q. พัสดุสินค้าเป็นอย่างไร ? วิธีการจัดส่ง

คำตอบ 1. กล่องไม้ 2 ป้ายกำกับการส่งออกที่เป็นมาตรฐาน ปั๊มน้ำนม , อากาศ , ส่งทะเลตามความต้องการของลูกค้าค้นหาวิธีที่เหมาะสมที่สุด

หากมีคำถามเพิ่มเติมโปรดติดต่อฝ่ายบริการลูกค้า

ส่งข้อซักถามของคุณไปยังผู้ให้บริการนี้โดยตรง

*ของ:
*ถึง:
*ข้อความ:

โปรดป้อนตัวอักษรระหว่าง 20 ถึง 4000 ตัว

นี้ไม่ใช่สิ่งที่คุณตามหา? โพสต์คำขอการจัดซื้อตอนนี้

หาสินค้าที่ใกล้เคียงตามหมวดหมู่

หน้าแรกของซัพพลายเออร์ สินค้า การเคลือบเงาแบบสปัตเตอริง เคลือบด้วยแมกเนตรอนสี เครื่องมือเคลือบแม่เหล็กสตรอนสปีทริงเป้าหมายสามชิ้นสำหรับฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์

สิ่งที่คุณอาจจะชอบ

กลุ่มผลิตภัณฑ์

ติดต่อซัพพลายเออร์

ทัวร์เสมือนจริง 360°

สมาชิกไดมอนด์ อัตราจาก 2016

ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ

ผู้ผลิต / โรงงานและบริษัทผู้ค้า
ทุนจดทะเบียน
75379.11 USD
เงื่อนไขการชำระเงิน
LC, T/T, D/P, Western Union