ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว การใช้อุปกรณ์เคลือบผิวแบบสปัตเตอริง
VTC-20-3HD 600 เป็น ระบบแมกเนตรอนขนาด 2 หัวขนาดกะทัดรัดขนาด 3 นิ้วที่มีการพ่นน้ำไปมาพร้อมกับ แหล่งจ่ายไฟเสริม : DC ที่เป็นร่อง RF ได้รับการเพิ่มประสิทธิภาพ RF ทั้งระบบ RF และ DC ที่เป็นร่อง ซึ่งช่วยให้ผู้ใช้สามารถควบคุมกระบวนการได้อย่างง่ายดายโคเทเลตนี้เหมาะสำหรับการเคลือบฟิล์มหลายชั้นที่มีวัสดุหลากหลายเช่น เฟอร์รอลไฟฟ้าอัลลอยเซมิคอนดักเตอร์เซมิคอนดักเตอร์เซมิกไดอีเล็ก ออปติกออกไซด์แข็ง PTFE เป็นต้นในราคาประหยัด
พารามิเตอร์ทางเทคนิค :
|
กำลังไฟอินพุต |
220VAC 50 Hz/60 Hz, เฟสเดียว 2000 วัตต์ ( รวมปั๊ม ) |
|
แหล่งจ่ายไฟต้นทาง |
แหล่งจ่ายไฟ DC, แหล่งจ่ายไฟ RF เดียวหรือทั้งแหล่งจ่ายไฟ DC และ RF แหล่งจ่ายไฟเป็นอุปกรณ์เสริมสำหรับแหล่งจ่ายไฟเดี่ยว แหล่ง DC: 500 วัตต์เพื่อวัสดุโลหะเคลือบผิว แหล่ง RF ขนาดกะทัดรัด 300 สำหรับวัสดุที่ไม่นำไฟฟ้า |
|
หัวแมกเนตรอนสคูลลิ่ง |
หัว Magnetron Smobering 2 นิ้วสามหัวพร้อมแจ็คเก็ตกันน้ำเย็น ให้มาด้วยเพื่อเชื่อมต่อแหล่งจ่ายไฟเสริม การระบายความร้อนด้วยน้ำส่วนหัว : ต้องใช้การไหลของน้ำ 10 มล ./ นาที |
|
ช่องสุญญากาศ |
ช่องสุญญากาศ : เส้นผ่านศูนย์กลาง 300 มม . x ความสูง 300 มม . ทำจากสแตนเลสสตีล หน้าต่างการตรวจสอบมีเส้นผ่านศูนย์กลาง 100 มม ฝาปิดแบบบานพับที่ด้านบนพร้อมด้วยแหล่งกีฬาฤดูใบไม้ผลิ เปลี่ยนเป้าหมายได้ง่าย |
|
ที่เก็บตัวอย่าง |
ขนาดตัวยึดตัวอย่าง : เส้นผ่านศูนย์กลาง 140 มม . สำหรับ สูงสุด 4 นิ้วเวเฟอร์ ความเร็วในการหมุนของแท่นยึดตัวอย่างสามารถปรับได้ : 1 - 20 รอบต่อนาทีสำหรับการเคลือบที่สม่ำเสมอ อุณหภูมิของตัวจับสามารถปรับได้ตั้งแต่ RT ถึง 500 ° C สูงสุด ด้วยความแม่นยำ +/- 1.0 ° C |
|
การควบคุมการไหลของก๊าซ
|
เครื่อง MFC ดิจิตอลความเที่ยงตรงสูง 2 เครื่อง ( คอนโทรลเลอร์การไหลเชิงมวล ) ติดตั้งเพื่อให้ก๊าซสองชนิดสามารถ กรอกข้อมูลแล้ว อัตราการไหล : สูงสุด 200 มล ./ นาที สามารถปรับอัตราการไหลบนการควบคุมหน้าจอสัมผัสขนาด 6 นิ้ว ได้อย่างมีพ |
|
ปั๊มสุญญากาศ |
ระบบ ปั๊มสุญญากาศเทอร์โบความเร็วสูงติดตั้งโดยตรงในช่องสุญญากาศสำหรับ ระดับสุญญากาศสูงสุด 1 2 ปั๊มกลไกแบบสองขั้นตอนสำหรับงานหนักเชื่อมต่อกับปั๊มเทอร์โบเพื่อปั๊มที่เร็วขึ้น รวมถึงสถานีปั๊ม 3 และเครื่องปั๊มน้ำแบบกะทัดรัดที่สามารถพ่นน้ำได้ สามารถวางไว้ด้านบนของสถานีได้ ระดับสุญญากาศสูงสุด : 10 ^-6 torr พร้อมการอบช่อง 4 |
|
การตรวจสอบความหนา |
มีเซนเซอร์วัดความหนาควอตซ์ความเที่ยงตรงหนึ่งตัวติดตั้งอยู่ภายในห้อง 0.10 ตรวจสอบความหนาของสารเคลือบด้วยความแม่นยำ Å μ m จอแสดงผล LED ภายนอกสามารถ : วัสดุอินพุตที่จะเคลือบตามฐานข้อมูลที่มีให้ แสดงความหนาทั้งหมดที่เคลือบและความเร็วในการเคลือบ มีเซนเซอร์ควอตซ์ 3.5 ชิ้น ( สิ้นเปลือง ) ให้มาด้วย 4 จำเป็นต้องระบายความร้อนด้วยน้ำ |
|
ขนาดโดยรวม |
L1300 มม . × W660mm × H1200 มม |
|
น้ำหนักสุทธิ |
160 กก |
|
การรับประกัน |
รับประกันแบบจำกัดเป็นเวลา 1 ปีพร้อมการสนับสนุนตลอดอายุการใช้งาน |
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว 
