เครื่อง CVD รุ่นปรับปรุงพลาสมา (Plasma Enhanced CVD - PECVD) สำหรับการเตรียมตัวซัลไฟด์

• แอปพลิเคชัน: โรงเรียน, แล็บ
• ปรับแต่ง: ปรับแต่ง
• การรับรอง: CE
• โครงสร้าง: เดสก์ทอป
• วัสดุ: สแตนเลสสตีล
• พิมพ์: เตาหลอมแบบท่อ
• ไม่ใช่ ของรุ่น: CY-PECVD-T01
• เตาหลอมท่อสุญญากาศ: ควอทซ์ความบริสุทธิ์สูง
• เส้นผ่านศูนย์กลางท่อ: 50 มม
• ความยาวโซนร้อน: 400 มม
• อุณหภูมิในการทำงาน: 0 - 1100c
• RF: 0.005 0.56mhz+10%
• ระบบจ่ายก๊าซ: มิเตอร์วัดการไหลของก๊าซ
• ความแม่นยำในการวัด: คิดเป็นอัตรา + 0.2 %
• สุญญากาศสูงสุด: 1.0E-1pa
• ปั๊มใบพัดแบบหมุน: 1.1 ลิตร / วินาที
• แพคเพจการขนส่ง: Standard Export Fumigation Sign Wooden Box Packagi
• ข้อมูลจำเพาะ: PECVD furnace
• เครื่องหมายการค้า: CYKY
• ที่มา: Zhengzhou Henan China

คำอธิบายสินค้า

เครื่อง CVD (PECVD) ที่ดียิ่งขึ้นด้วยพลาสมาสำหรับการเตรียมการของซัลไฟด์


คำอธิบายผลิตภัณฑ์ ของเครื่อง CVD ที่ปรับปรุงพลาสมา
เครื่อง CVD ที่มีประสิทธิภาพสูงประกอบด้วยเครื่องกำเนิดไฟฟ้าแบบพลาสมาเตาหลอมท่อแบบสามโซนทำความร้อนเตาหลอมแบบมีท่อทำความร้อนเดียวแหล่งจ่ายไฟ RF และระบบสุญญากาศ
เพื่อให้ปฏิกิริยาทางเคมีเกิดขึ้นที่อุณหภูมิต่ำลงกิจกรรมของพลาสมาจะถูกนำมาใช้เพื่อส่งเสริมปฏิกิริยาดังกล่าวและ CVD จึงเรียกว่าการลดตำแหน่งของไอเคมีที่ดีขึ้นด้วยพลาสมา (PECVD) อุปกรณ์การเตรียมฟิล์ม PECVD จะทำให้ก๊าซที่ประกอบด้วยอะตอมที่ประกอบด้วยฟิล์มซึ่งใช้เอาต์พุต RF ขนาด 13.56 MHz เป็นพลาสมาในช่องสุญญากาศใช้กิจกรรมทางเคมีที่แข็งแกร่งของพลาสมาปรับปรุงสภาพการตอบสนองและใช้ประโยชน์จากกิจกรรมพลาสมาเพื่อส่งเสริมการตอบสนอง จากนั้นนำฟิล์มที่ต้องการติดบนซับสเตรต

แอปพลิเคชัน :
อุปกรณ์นี้สามารถใช้ในการทดสอบได้หลายประเภทเช่นการเตรียมการทำกราฟการจัดเตรียมเกลือซัลไฟและการเตรียมวัสดุสำหรับนาโนเมตร ฟิล์มหลายชนิดเช่น SiOx, SiNx, ซิลิคอน amorphous ซิลิคอน , ซิลิกอนไมโครคริสตัล , นาโน - ซิลิกอน , คุณสามารถเก็บ SIC, ข้าวหลามตัดฯลฯไว้บนพื้นผิวของแผ่นหรือตัวอย่างที่มีรูปร่างคล้ายกันและใส่ฟิล์มชนิด p และฟิล์มชนิด n ที่เจือบนฟิล์มได้ ฟิล์มที่ใช้ถ่ายทำนี้มีความสม่ำเสมอแน่นสม่ำเสมอติดและเป็นฉนวน ซึ่งมีการใช้อย่างแพร่หลายในพื้นที่ของหัวกัดแม่พิมพ์ความเที่ยงตรงสูงการเคลือบแบบแข็งการตกแต่งแบบไฮเอนด์ฯลฯ


พารามิเตอร์ทางเทคนิคของเครื่อง CVD ที่เพิ่มประสิทธิภาพของพลาสมา
 

เตาหลอมท่อแบบสามโซนทำความร้อน	รุ่น	CY, O1200-50IIIT
	วัสดุของท่อ	ควอทซ์ความบริสุทธิ์สูง
	เส้นผ่านศูนย์กลางท่อ	50 มม
	ความยาวท่อ	28 มม
	ความยาวส่วนเตาหลอม	660 มม
	ความยาวโซนร้อน	200 มม +200 มม +200 มม
	อุณหภูมิในการทำงาน	0 º C
	ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ	±1 º C
	โหมดควบคุมอุณหภูมิ	การควบคุมอุณหภูมิโปรแกรม 50 หรือ 30 segment
	โหมดการแสดงผล	LCD
	วิธีซีล	304 หน้าแปลนสุญญากาศสแตนเลสสตีล
	อินเตอร์เฟซหน้าแปลน	หัวต่อ Ferrule 1 นิ้ว 4 , ข้อต่อ KF16/16 25/40
	สุญญากาศ	4.4E-3Pa
	แหล่งจ่ายไฟ	AC: 220V 50 Hz
เตาหลอมท่อแบบโซนทำความร้อนเดี่ยว	รุ่น	CY, O1200-50IT
	วัสดุของท่อ	ควอทซ์ความบริสุทธิ์สูง
	เส้นผ่านศูนย์กลางท่อ	50 มม
	ความยาวท่อ	28 มม
	ความยาวส่วนเตาหลอม	40 มม
	ความยาวโซนร้อน	400 มม
	โซนอุณหภูมิคงที่	200 มม
	อุณหภูมิในการทำงาน	0 º C
	ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ	±1 º C
	โหมดควบคุมอุณหภูมิ	การควบคุมอุณหภูมิโปรแกรม 50 หรือ 30 segment
	โหมดการแสดงผล	LCD
	วิธีซีล	304 หน้าแปลนสุญญากาศสแตนเลสสตีล
	อินเตอร์เฟซหน้าแปลน	หัวต่อ Ferrule 1 นิ้ว 4 , ข้อต่อ KF16/16 25/40
	สุญญากาศ	4.4E-3Pa
	แหล่งจ่ายไฟ	AC: 220V 50 Hz
ระบบเอาต์พุต RF	ช่วงกำลังไฟ	0 ~ 500 วัตต์ปรับได้
	ความถี่ในการทำงาน	0.005 MHz+13.5%
	โหมดการทำงาน	เอาต์พุตต่อเนื่อง
	โหมดการแสดงผล	LCD
	โหมดความต้านทานที่ตรงกัน	สามารถจับคู่ได้แสงที่ส่องสว่างจะถูกปกคลุมด้วยท่อเตาหลอมสำหรับพื้นที่ทำความร้อนสามท่อ
	ความเสถียรของกำลังแสง	≤2 วัตต์
	กำลังแสงสะท้อนในการทำงานปกติ	≤3W
	เพิ่มกำลังที่สะท้อน	≤70 วัตต์
	องค์ประกอบฮาร์โมนิค	ø ≤ 50dBc
	ประสิทธิภาพของเครื่องจักร	≥70 %
	ปัจจัยกำลังไฟ	≥90 %
	แรงดัน / ความถี่ของแหล่งจ่ายไฟ	ความถี่ AC 50 เฟสเดียว (187V~153V) ความถี่ 850/60Hz
	โหมดควบคุม	การควบคุมภายใน / การสื่อสาร PLC แบบอะนาล็อก / RS232 / 485
	การตั้งค่าการป้องกันพลังงาน	การป้องกันกระแสไฟเกิน DC, Power Amplifier เมื่อมีการป้องกันอุณหภูมิสูงเกิน , การป้องกันกำลังไฟสะท้อน
	วิธีการระบายความร้อน	การระบายความร้อนด้วยอากาศอัด
	ความยาวของแสง	ใน AR แหล่งจ่ายไฟ RF และคอยล์จะรวมกันเพื่อให้สว่างขึ้นและแสงที่ส่องสามารถเพิ่มความยาวของเตาหลอมในโซนร้อนสามโซน
ระบบจ่ายก๊าซ	มิเตอร์วัดการไหลแบบมวลสี่ช่อง	มิเตอร์วัดการไหลแบบมวล
	ช่วงการไหล	ช่วง MFC1: 0 ซม   รุ่น MFC2 : 0 ซม รุ่น MFC3 : 0 ซม   MFC4 ระยะ : 0 ซม ที่สอดคล้องกับก๊าซ H2, CH4, N2, AR,
	ความแม่นยำในการวัด	±1.5 %F.S
	อัตราการทำซ้ำ	±0.2 % FS
	ความเที่ยงตรงเชิงเส้น	±1 % F.S.
	เวลาตอบสนอง	≤4s
	ความกดดันในการทำงาน	-0.15Mpa~0.15Mpa
	การควบคุมการไหล	การควบคุมหน้าจอสัมผัส LCD, จอแสดงผลดิจิตอล , ก๊าซแต่ละช่องมีเข็มวาล์วสำหรับการควบคุมแยกแต่ละตัว
	อินเตอร์เฟซไอดี	สามารถเชื่อมต่อกับ สแตนเลสสตีลเส้นผ่านศูนย์กลางภายนอก 1/4NPS หรือ 1 มม ท่อเหล็ก
	เต้ารับ	สามารถเชื่อมต่อกับ สแตนเลสสตีลเส้นผ่านศูนย์กลางภายนอก 1/4NPS หรือ 1 มม ท่อเหล็ก
	วิธีการเชื่อมต่อ	ขั้วต่อหุ้มโลหะคู่
	อุณหภูมิในการทำงาน	5 º C
	การเตรียมก๊าซล่วงหน้า	ติดตั้งอุปกรณ์ผสมก๊าซแบบสำเร็จ
ระบบไอเสีย	ปั๊มแบบกลไก	ปั๊มใบพัดแบบหมุน
	อัตราการปั๊ม	1.1L/min
	อินเตอร์เฟซท่อไอเสีย	KF16
	การวัดค่าสุญญากาศ	เกจความต้านทาน
	สุญญากาศสูงสุด	1.0E-1Pa
	แหล่งจ่ายไฟ	AC: 220V 50 Hz
	อินเตอร์เฟซการปั๊ม	KF16
ราง	ความยาวราง	2.5M~3 ม สามารถทำให้เกิดการเลื่อนของความยาวเตาหลอมหนึ่งตำแหน่งในเตาหลอมสามโซนทำความร้อนเพื่อให้อุณหภูมิเพิ่มขึ้นและลดลงอย่างรวดเร็ว

หมายเหตุ : คุณสามารถเลือกอุณหภูมิพื้นที่อุณหภูมิขนาดเตาระบบสุญญากาศมิเตอร์วัดการไหลได้ตามความต้องการในการทดลอง


ภาพที่เกี่ยวข้องของเครื่อง CVD ที่ปรับปรุงแล้วของพลาสมา



เตาหลอมท่อ



ระบบไอเสีย ( ปั๊มสุญญากาศ )

ก่อตั้งขึ้นในปี 2005 โดยบริษัท Zhengzhou Scientific Instrument Co., Ltd. เป็นบริษัทที่มีความเชี่ยวชาญในการพัฒนาและผลิตอุปกรณ์การวิจัยทางเทคโนโลยีในห้องปฏิบัติการ ผลิตภัณฑ์มีทั้งแบบผสมแบบกดแบบผสมแบบไหม้ตัดสายดิน อุปกรณ์ที่ขัดเงาเคลือบและวิเคราะห์รวมถึงวัสดุสิ้นเปลืองที่เกี่ยวข้อง ผลิตภัณฑ์ต่างๆได้แก่อุปกรณ์เชื่อมระหว่างห้องปฏิบัติการอุปกรณ์เคลือบผิวและอื่นๆ ปัจจุบันบริษัทส่งออกผลิตภัณฑ์ไปยัง 25 ประเทศและภูมิภาคเช่นสหรัฐอเมริกายุโรปและเอเชียตะวันออกเฉียงใต้และได้รับการตอบรับเป็นอย่างดีจากหน่วยงานวิจัยทางวิทยาศาสตร์หลายแห่ง

บริษัทมีทีมงานวิจัยและพัฒนาเทคโนโลยีที่ครบกำหนดจำนวนเจ้าหน้าที่ด้านเทคนิคอยู่ที่ 33 150 คนพื้นที่สำนักงานมากกว่า 500 ตารางเมตรโดยมีพื้นที่ประมาณ 1,500 ตารางเมตรอยู่ที่เขตอุตสาหกรรมเจิ้งโจวไฮเทค ผลิตภัณฑ์นี้ตั้งอยู่ในตลาดวิจัยโดยให้บริการงานวิจัยทางวิทยาศาสตร์ในห้องปฏิบัติการของมหาวิทยาลัยและวิทยาลัยและยังสามารถปรับแต่งผลิตภัณฑ์ตามความต้องการของคุณได้อีกด้วย





Q. คุณเป็นผู้ผลิตหรือบริษัทการค้าใช่หรือไม่ ?
A. เราเป็นผู้ผลิตเครื่องมือทางห้องปฏิบัติการระดับมืออาชีพมีทีมออกแบบและโรงงานของตนเองมีประสบการณ์ทางเทคนิคที่สมบูรณ์และสามารถรับประกันคุณภาพของผลิตภัณฑ์และราคาที่เหมาะสมได้

คำถามระบบบริการหลังการขายของบริษัทของคุณเป็นอย่างไร
A. ช่วงระยะเวลาการรับประกันผลิตภัณฑ์คือ 12 เดือนเราสามารถให้การบำรุงรักษาตลอดอายุการใช้งานได้ เรามีแผนกก่อนการขายและหลังการขายมืออาชีพที่สามารถตอบกลับคุณได้ภายใน 24 ชั่วโมงเพื่อแก้ไขปัญหาทางเทคนิคใดๆ

คำถามเวลาจัดส่งสินค้าของคุณนานเท่าใด ถ้าฉันต้องการปรับแต่งอุปกรณ์จะใช้เวลานานเท่าใด
คำตอบ 1. หากสินค้าอยู่ในคลังสินค้าก็จะเป็นเวลา 5-10 วัน 2 เราสามารถให้บริการที่ปรับแต่งตามความต้องการของลูกค้าได้ โดยปกติแล้วจะใช้เวลา 30-60 วันขึ้นอยู่กับข้อมูลจำเพาะของอุปกรณ์แบบกำหนดเอง

Q. แหล่งจ่ายไฟและปลั๊กไฟของประเทศของเรานั้นแตกต่างกัน คุณจะแก้ไขปัญหาได้อย่างไร
A. เราสามารถจัดส่งหม้อแปลงและปลั๊กไฟได้ตามความต้องการของคุณตามปลั๊กไฟของประเทศต่างๆ

คำถามวิธีการชำระเงิน
AT/T, L / C, D / P เป็นต้นขอแนะนำให้ใช้การรับประกันการค้า Alibaba

Q. พัสดุสินค้าเป็นอย่างไร ? วิธีการจัดส่ง
คำตอบ 1. กล่องไม้ 2 ป้ายกำกับการส่งออกที่เป็นมาตรฐาน ปั๊มน้ำนม , อากาศ , ส่งทะเลตามความต้องการของลูกค้าค้นหาวิธีที่เหมาะสมที่สุด

หากมีคำถามเพิ่มเติมโปรดติดต่อฝ่ายบริการลูกค้า