อุปกรณ์เคลือบผิวแบบ PLD เลเซอร์สปัตเตอริงสำหรับการเตรียมฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์ , แบบซูเปอร์ลาทิซ
ข้อมูลเบื้องต้นเกี่ยวกับ ระบบการปรับตำแหน่งเลเซอร์แบบพัลส์ที่สามารถปรับแต่งได้โดยสรุป :
ระบบเลเซอร์พัลส์ให้ถูกย่อเป็นระบบ PLD โดยระบบนี้ประกอบด้วยสองส่วนคือเลเซอร์เอ็กไซเมอร์และช่องเคลือบสุญญากาศ ช่องเคลือบสุญญากาศประกอบด้วยช่องสุญญากาศแบบพ่นน้ำแท่นวางชิ้นงานที่หมุนแท่นความร้อนซับสเตรตป้องกันออกซิเดชันเส้นทางก๊าซที่ใช้งานได้ระบบการแยกก๊าซตารางเครื่องจักรการติดตั้งการวัดสุญญากาศและระบบควบคุมไฟฟ้า
องค์ประกอบของอุปกรณ์ ของระบบเลเซอร์เซนเซอร์แบบพัลส์ที่ปรับแต่งได้ :
เลเซอร์ 1
เลเซอร์เลเซอร์เลเซอร์เลเซอร์สำหรับอุตสาหกรรมเกรดอุตสาหกรรมที่มียอดขายสูงสุดของ InC Machinery นั้นจะถูกปรับให้เหมาะกับการใช้งาน PLD เลเซอร์สำหรับ InPEX ซีรี่ส์ให้ประสิทธิภาพการทำงานที่ยอดเยี่ยมความทนทานความน่าเชื่อถือและประสิทธิภาพการทำงานร่วมกันที่ง่ายดายเพื่อให้ตรงตามความต้องการของนักวิจัยและผู้ประกอบระบบในสาขาการสลักเลเซอร์แบบพัลส์ (PLD)
1 ข้อดีของเลเซอร์
1 ตัวเลือก Gaser 1000 สามารถทำงานร่วมกับเทคโนโลยีไอคอนเพื่อเพิ่มการใช้งานก๊าซได้ อายุการใช้งานและลดต้นทุนการใช้งาน
(1) 2 ความสม่ำเสมอของลำแสงและความเสถียรของพลังงานระหว่างพัลส์ที่มีความกว้างของพัลส์ที่สั้นมาก
(5) 3 พลังงานจะคงที่ที่ที่ความถี่การทำซ้ำทั้งหมด
(1) คุณสมบัติการซีลอัตโนมัติ EasyClean 4 ช่วยให้ก๊าซเต็มและลดลง การซ่อมบำรุงหยุดทำงาน
(3) 5 การติดตั้งออปติกที่มีความเสถียรสูงเพื่อความแม่นยำในการชี้ลำแสงที่ยอดเยี่ยม
(1) 6 ระบบการส่งลำแสงที่ปรับแต่งได้ตามต้องการเพื่อให้เหมาะกับการใช้งาน PLD ที่เฉพาะเจาะจง ที่จำเป็น
2 ประสิทธิภาพการทำงานคงที่ตาม PLD
พลังงานพัลส์คงที่ : เลเซอร์ InXX-1 740 / 760 series Inimer ที่รวมเทคโนโลยี Inicer และ GasMistr-3 1000 เข้าด้วยกันมีชีวิตชีวาและก๊าซสแตติกที่ไม่มีใครเทียบได้หลังจากการแลกเปลี่ยนก๊าซเพียงครั้งเดียว จากความถี่การทำซ้ำหนึ่งครั้งไปจนถึงความถี่สูงสุดพลังงานพัลส์จะคงที่ที่ทุกความถี่การทำซ้ำ วิธีนี้จะรับประกันว่าพารามิเตอร์กระบวนการ PLD จะไม่เปลี่ยนแปลงเมื่อมีการเปลี่ยนแปลงเวลาการทำงานของเลเซอร์และความถี่ในการวัดซ้ำ
ความเสถียรของพัลส์คงที่ : วิธีการตรวจสอบพลังงานขั้นสูงใช้เพื่อปรับพลังงานพัลส์ซึ่งสามารถปรับแรงดันปล่อยออกและก๊าซผสมได้อย่างแม่นยำและรักษาพลังงานเอาต์พุตให้คงที่ภายใต้ทุกสภาพการทำงาน ( รวมถึงโหมดถ่ายภาพต่อเนื่อง ) ความเสถียรของพัลส์ต่อพัลส์ดีกว่า 1 %
ความเสถียรในการชี้ตำแหน่งอย่างต่อเนื่อง : ขายึดออปติกแกนที่มีความเสถียรสูงให้ความเสถียรการชี้ตำแหน่งสูงกว่า 200μrad μ s จึงไม่ต้องปรับเทียบใหม่หลังจากการซ่อมแซมแบบออปติก
คุณภาพของลำแสงคงที่ : การกระจายความเข้มของลำแสง 740 เลเซอร์ใน IPEX-4 / 760 ซีรี่ส์ได้รับการออกแบบให้มีขอบที่คมและด้านบนแบนเรียบโดยเฉพาะมีการเปลี่ยนแปลงน้อยมากภายในอายุการใช้งานของห้องเลเซอร์
3 ข้อมูลจำเพาะของเลเซอร์
| ความยาวคลื่น (nm) |
193 (ArF) |
248 ( โครน ) |
308 ( ซีเครล ) |
| ปรับความเสถียรของพลังงานพัลส์ (mJ) ที่อัตราการทำซ้ำทั้งหมด |
IPX-10 740 ซีรี่ส์ |
150 |
400 |
250 |
| IPX-10 760 ซีรี่ส์ |
200 |
600 |
500 |
| พลังงานพัลส์สูงสุด (mJ) ที่อัตราการทำซ้ำต่ำ |
IPX-10 740 ซีรี่ส์ |
230 |
450 |
300 |
| IPX-10 760 ซีรี่ส์ |
250 |
700 |
600 |
| กำลังเฉลี่ยที่มีเสถียรภาพ (W) |
IPX-10 746 |
15 |
40 |
25 |
| IPX-10 744 |
6.0 |
20 |
12 |
| IPX-10 742 |
3.0 |
10 |
6.0 |
| IPX-10 766 |
10 |
30 |
25 |
| IPX-10 764 |
5.0 |
18 |
10 |
| IPX-10 762 |
2.5 |
9.0 |
5.0 |
| อัตราการทำซ้ำสูงสุด (Pps ) |
IPX-10 746 |
100 |
100 |
100 |
| IPX-10 744 |
40 |
50 |
50 |
| IPX-10 742 |
20 |
25 |
25 |
| IPX-10 766 |
40 |
50 |
40 |
| IPX-10 764 |
25 |
30 |
20 |
| IPX-10 762 |
12 |
15 |
10 |
ระยะเวลาพัลส์ (NS)
(FWHM ตามที่ระบุ ) |
IPX-10 740/760 ซีรี่ส์ |
12 - 20 |
ขนาดลำแสง ( มม .)
(V × H, ตามที่ระบุ ) |
IPX-10 740 ซีรี่ส์ |
12 × 26 |
| IPX-10 760 ซีรี่ส์ |
12 × 28 |
การเบนออกของลำแสง (mrad)
(V × H, ตามที่ระบุ ) |
IPX-10 740/760 ซีรี่ส์ |
1 × 3 |
2 ช่องเคลือบสุญญากาศ
1) 1 ชุดของส่วนประกอบช่องสุญญากาศแบบน้ำพ่นน้ำ 1 ชุด
ขนาดของช่องสุญญากาศทรงกลมคือ Ф450mm μ m ทำจากสแตนเลสสตีลคุณภาพสูง เชื่อมโดยอาร์กอนอาร์ค พื้นผิวจะได้รับการขัดด้วยกระบวนการพิเศษ อินเตอร์เฟซจะถูกซีลด้วยปะเก็นโลหะหรือแหวนยางฟลูออรีน
2 ชุดส่วนประกอบแพลตฟอร์มเป้าหมายแบบหมุนได้ 1 ชุด
(1) สามารถโหลดชิ้นงานได้ครั้งละ 1 ชิ้นขนาดของชิ้นงาน : (i) Φ60mm และ (ii) φ25mm
(1) แต่ละชิ้นงานสามารถหมุนได้ความเร็วในการหมุนคือ 2 - 60 รอบต่อนาทีปรับได้อย่างต่อเนื่องโดยควบคุมด้วยกลไกการเชื่อมต่อแม่เหล็กที่ขับเคลื่อนด้วยมอเตอร์
(1) 3 กลไกการปรับตำแหน่งการหมุนของตำแหน่งชิ้นงานจะถูกควบคุมโดยกลไกการเชื่อมต่อแม่เหล็กที่ขับเคลื่อนด้วยมอเตอร์
(2) วัสดุป้องกันชิ้นงาน 4 ชิ้นป้องกันเป้าหมาย 4 ชิ้นและมีเพียงวัสดุเป้าหมายเดียวที่ถูกพ่นออกมาในฟิล์มในแต่ละครั้งเพื่อหลีกเลี่ยงการปนเปื้อนระหว่างวัสดุเป้าหมาย
3 ชุดประกอบด้วยสารซับสเตรตต้านอนุมูลอิสระ 1 ชิ้น
(1) 1 ขนาดของซับสเตรต : φ2 สามารถใส่ซับสเตรตแก้วขึ้นด้านบนได้ ;
(2) อุณหภูมิสูงสุดของสารซับสเตรตที่มีอุณหภูมิสูงสุดคือ±º C 2 1 º C ควบคุมโดย Thermocouple closed loop ที่อยู่กับห่วงและเครื่องทำความร้อนทำจากวัสดุต้านอนุมูลอิสระ
(1) ซับสเตรตสามารถหมุนอย่างต่อเนื่องความเร็วคือ 3 - 60 รอบต่อนาทีควบคุมด้วยกลไกการเชื่อมต่อแม่เหล็กที่ขับเคลื่อนด้วยมอเตอร์ ;
(1) ระยะห่างระหว่างแผ่นซับสเตรตและแพลตฟอร์มเป้าหมายสามารถปรับได้ตั้งแต่ 30 ถึง 4 มม . และควบคุมด้วยกลไกการปรับเบลโลแบบแมนนวลภายนอกห้อง
(1) 5 ส่วนประกอบแผ่นกั้นตัวอย่างควบคุมแบบแมนนวล : 1 ชุด ;
(2) ที่เก็บตัวอย่าง : 2 6
4 ตั้งค่าหน้าต่างและขอบเหล็ก 1
5 ชุดควบคุมการสแกนลำแสงเลเซอร์ 1 ชุด
แพลตฟอร์มกลไกการสแกนสองมิติ , การควบคุมมอเตอร์สองชุดหรือการควบคุมด้วยตนเอง ;
6 ท่อก๊าซที่ใช้งานได้ 2 ช่อง
7 ชุดปั๊มก๊าซ , วาล์ว , ท่อ 1 ชุด
8 ชุดของชุดเฟรมยึดเครื่องจักร 1 ชุด
ผิวของเครื่องจักรที่มีการตกแต่งผิวด้วยสแตนเลสสตีลสามารถยึดและเคลื่อนย้ายล้อได้สี่ล้อ
9 ชุดการวัดสุญญากาศและระบบควบคุมไฟฟ้า 1
10 ชุดระบบควบคุมคอมพิวเตอร์ 1
ภาพที่เกี่ยวข้อง ของระบบกำหนดตำแหน่งเลเซอร์แบบพัลส์ที่ปรับแต่งได้ :
ก่อตั้งขึ้นในปี 2005 โดยบริษัท Zhengzhou Scientific Instrument Co., Ltd. เป็นบริษัทที่มีความเชี่ยวชาญในการพัฒนาและผลิตอุปกรณ์การวิจัยทางเทคโนโลยีในห้องปฏิบัติการ ผลิตภัณฑ์มีทั้งแบบผสมแบบกดแบบผสมแบบไหม้ตัดสายดิน อุปกรณ์ที่ขัดเงาเคลือบและวิเคราะห์รวมถึงวัสดุสิ้นเปลืองที่เกี่ยวข้อง ผลิตภัณฑ์ต่างๆได้แก่อุปกรณ์เชื่อมระหว่างห้องปฏิบัติการอุปกรณ์เคลือบผิวและอื่นๆ ปัจจุบันบริษัทส่งออกผลิตภัณฑ์ไปยัง 25 ประเทศและภูมิภาคเช่นสหรัฐอเมริกายุโรปและเอเชียตะวันออกเฉียงใต้และได้รับการตอบรับเป็นอย่างดีจากหน่วยงานวิจัยทางวิทยาศาสตร์หลายแห่ง
บริษัทมีทีมงานวิจัยและพัฒนาเทคโนโลยีที่ครบกำหนดจำนวนเจ้าหน้าที่ด้านเทคนิคอยู่ที่ 33 150 คนพื้นที่สำนักงานมากกว่า 500 ตารางเมตรโดยมีพื้นที่ประมาณ 1,500 ตารางเมตรอยู่ที่เขตอุตสาหกรรมเจิ้งโจวไฮเทค ผลิตภัณฑ์นี้ตั้งอยู่ในตลาดวิจัยโดยให้บริการงานวิจัยทางวิทยาศาสตร์ในห้องปฏิบัติการของมหาวิทยาลัยและวิทยาลัยและยังสามารถปรับแต่งผลิตภัณฑ์ตามความต้องการของคุณได้อีกด้วย
Q. คุณเป็นผู้ผลิตหรือบริษัทการค้าใช่หรือไม่ ?
A. เราเป็นผู้ผลิตเครื่องมือทางห้องปฏิบัติการระดับมืออาชีพมีทีมออกแบบและโรงงานของตนเองมีประสบการณ์ทางเทคนิคที่สมบูรณ์และสามารถรับประกันคุณภาพของผลิตภัณฑ์และราคาที่เหมาะสมได้
คำถามระบบบริการหลังการขายของบริษัทของคุณเป็นอย่างไร
A. ช่วงระยะเวลาการรับประกันผลิตภัณฑ์คือ 12 เดือนเราสามารถให้การบำรุงรักษาตลอดอายุการใช้งานได้ เรามีแผนกก่อนการขายและหลังการขายมืออาชีพที่สามารถตอบกลับคุณได้ภายใน 24 ชั่วโมงเพื่อแก้ไขปัญหาทางเทคนิคใดๆ
คำถามเวลาจัดส่งสินค้าของคุณนานเท่าใด ถ้าฉันต้องการปรับแต่งอุปกรณ์จะใช้เวลานานเท่าใด
คำตอบ 1. หากสินค้าอยู่ในคลังสินค้าก็จะเป็นเวลา 5-10 วัน 2 เราสามารถให้บริการที่ปรับแต่งตามความต้องการของลูกค้าได้ โดยปกติแล้วจะใช้เวลา 30-60 วันขึ้นอยู่กับข้อมูลจำเพาะของอุปกรณ์แบบกำหนดเอง
Q. แหล่งจ่ายไฟและปลั๊กไฟของประเทศของเรานั้นแตกต่างกัน คุณจะแก้ไขปัญหาได้อย่างไร
A. เราสามารถจัดส่งหม้อแปลงและปลั๊กไฟได้ตามความต้องการของคุณตามปลั๊กไฟของประเทศต่างๆ
คำถามวิธีการชำระเงิน
AT/T, L / C, D / P เป็นต้นขอแนะนำให้ใช้การรับประกันการค้า Alibaba
Q. พัสดุสินค้าเป็นอย่างไร ? วิธีการจัดส่ง
คำตอบ 1. กล่องไม้ 2 ป้ายกำกับการส่งออกที่เป็นมาตรฐาน ปั๊มน้ำนม , อากาศ , ส่งทะเลตามความต้องการของลูกค้าค้นหาวิธีที่เหมาะสมที่สุด
หากมีคำถามเพิ่มเติมโปรดติดต่อฝ่ายบริการลูกค้า
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว 
