ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว การเตรียมฟิล์มใสปลอดเพชรโพลีคริสตัลคุณภาพสูง
การเตรียมฟิล์มโพลีคริสตัลลีนใสคุณภาพสูง
การจัดเตรียมฟิล์มคาร์บอนนาโนต่างๆเช่นกราฟิเน , ท่อคาร์บอน , ความสมบูรณ์และฟิล์มข้าวหลามตัด
คุณสมบัติ
ก อุปกรณ์พลาสมาพร้อมไมโครเวฟ 6kw สแตนเลสสตีลความหนาแน่นของพลังงานสูง
ข แท่นซับสเตรตที่ระบายความร้อนด้วยน้ำและช่องโลหะที่ระบายความร้อนด้วยน้ำจะช่วยให้ระบบสามารถทำงานได้อย่างเสถียรเป็นเวลานาน
ค อุณหภูมิของซับสเตรตสามารถทำได้ด้วยไมโครเวฟอุ่นในตัว ;
ง เครื่องมือวัดสุญญากาศใช้เกจสุญญากาศแบบเต็มช่วงซึ่งสามารถวัดสุญญากาศของพื้นหลังและแรงดันก๊าซที่ใช้งานได้อย่างแม่นยำ
จ ปั๊มสุญญากาศและวาล์วจะใช้ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ ( สุญญากาศสูงสุดคือ 1 × 10 5Pa) และปั๊มสุญญากาศแบบใบพัดหมุน ( สุญญากาศสูงสุดคือ 1Pa) และระบบสามารถควบคุมแรงดันการลดตำแหน่งได้โดยอัตโนมัติ
ฉ ระบบระบายอากาศของน้ำหล่อเย็นเพื่อให้มั่นใจว่าอุปกรณ์จะทำงานได้อย่างปลอดภัยและมั่นคงภายใต้กำลังสูง
ก หน้าจอสัมผัสขนาด 15 นิ้ว , การควบคุม PLC อัตโนมัติสามารถตั้งค่าอุณหภูมิหรือแรงดันให้คงที่สามารถบันทึกและนำไฟล์กระบวนการมาใช้ใหม่ได้ถึง 20 ชุด
โมดูลควบคุมกระบวนการทำงานอัตโนมัติแบบเต็มรูปแบบซึ่งสามารถเตรียมแผ่นฟิล์มและผลึกเพชรคุณภาพสูงได้อย่างมีเสถียรภาพและเชื่อถือได้
ข้อมูลทางเทคนิค :
|
ระบบไมโครเวฟ |
ความถี่ไมโครเวฟ |
2450±25MHz |
|
กำลังเอาต์พุต |
สามารถปรับแต่งได้ต่อเนื่อง 0.6 กม |
|
|
การปรับคลื่นไมโครเวฟ |
จูนเนอร์ 3 สตับ การแปลงสายอากาศโหมด |
|
|
การป้องกันการสะท้อนแสงของไมโครเวฟ |
กลม , โหลดน้ำ |
|
|
โหมดการทำงานของไมโครเวฟ |
TM013 |
|
|
การรั่วซึมของไมโครเวฟ |
≤ 2 mW/ ซม .2 |
|
|
ระบบสุญญากาศ |
ช่วงแรงดันการทำงาน |
10 ~ 250Torr |
|
การควบคุมแรงดันอัตโนมัติ |
40 ~ 250Torr |
|
|
ปั๊มสุญญากาศ |
4.4L/s ปั๊มแบบใบพัดหมุน |
|
|
ความสมบูรณ์ของสุญญากาศ |
< 0x10-50 Pa * 9 Pa * m3 / วินาที ( โดยเครื่องตรวจจับการรั่วไหลฮีเลียม ) |
|
|
สมรรถนะในการเก็บแรงดัน |
การเพิ่มของแรงดันมีค่าน้อยกว่า 0.2 Torr ทุก 24 ชั่วโมง |
|
|
สุญญากาศสูงสุด |
7.5 Pa (1 x 4 Torr) |
|
|
การวัดค่าสุญญากาศ |
เกจฟิล์มยี่ห้อ |
|
|
เตาปฏิกรณ์สุญญากาศ |
วัสดุและโครงสร้างของเตาปฏิกรณ์ |
สแตนเลสสตีลระบายความร้อนด้วยน้ำสองชั้น |
|
ซีลสุญญากาศ |
ซีลโลหะ + ซีลโอริง Fluorubber ( ประตูโหลด ) |
|
|
ID เตาปฏิกรณ์ |
φ140mm |
|
|
หน้าต่างตารางตัวอย่าง |
พอร์ตแบบสี่เหลี่ยม 105x50 มม . ประตูหน้าปิดผนึกด้วยโอริงฟลูออรีน |
|
|
Watch window |
สองพอร์ต CF35 ช่องขนาดใหญ่ กระจาย 180 ° |
|
|
กรอบการวัดอุณหภูมิ |
มุมในแนวนอนของหน้าต่างทั้งสองบานคือ 25 ถึง 30 ° การกระจาย 180 ° ; ช่องนี้ช่วยให้ตรวจจับอุณหภูมิของได้สะดวก เวทีตัวอย่างจากมุมเฉียงของส่วนบน ของเตาปฏิกรณ์ลงข้างล่าง |
|
|
ขั้นตอนตัวอย่าง |
แพลตฟอร์มซับสเตรตที่ระบายความร้อนด้วยน้ำสำหรับการยกไฟฟ้า ø φ100mm ช่วงความสูงที่ปรับได้ 0 มม |
|
|
เมื่อเส้นผ่านศูนย์กลางของซับสเตรตโมลิบดีนัมคือ ≥50 มม . ลูกยิงพลาสมาสามารถครอบคลุมระยะของแผ่นซับสเตรตที่ 5000 W และ 180torr |
||
|
อุณหภูมิของแผ่นซับสเตรต 250 ~1400º C ขึ้นอยู่กับพารามิเตอร์ของกระบวนการ |
||
|
ช่องทางการขายแก๊ส |
มิเตอร์วัดการไหลและวาล์วควบคุมการไหลนำเข้าจากญี่ปุ่น |
|
|
เครื่อง MFC 4 ช่องสัญญาณที่ระบบจัดเตรียมไว้ให้ |
||
|
4 การไหลสูงสุดของเครื่อง MFG: 1000 ซม ., CH4: 100 ซม ., o2: 20 ซม ., N2: 2 ซม |
||
|
ระบบการวัดอุณหภูมิ |
ระบบการวัดอุณหภูมิอินฟราเรด Rayek แบบเยอรมัน , ช่วงอุณหภูมิ : 300 ~ 1300 º C |
|
|
ซอฟต์แวร์ระบบ |
หน้าจอสัมผัสขนาด 15 นิ้วพร้อมการควบคุม PLC อินเตอร์เฟซการใช้งานที่ใช้งานง่าย |
|
|
ระบบรองรับผู้ใช้สองระดับได้แก่วิศวกรและผู้ปฏิบัติงานและมีฟังก์ชันการจัดการผู้ใช้งาน |
||
|
ระบบมีการติดตั้งระบบป้องกันอัตโนมัติเช่นน้ำขาดแคลนการขาดแคลนอากาศความผิดพลาดของระยะแหล่งจ่ายไฟการกระโดดของลูกไฟอุณหภูมิสูงเกินไปการจุดระเบิดและอื่นๆ |
||
|
สามารถตั้งค่าสูตรการทำงานได้สูงสุด 10 ชุดแต่ละชุดจะมีข้อมูล 40 แถวกระบวนการผลิตจะถูกควบคุมโดยอัตโนมัติด้วยสูตรการทำงานและสามารถสำรองและส่งออกข้อมูลการทำงานผ่านดิสก์ U ได้ |
||
|
ระบบนี้มาพร้อมกับการแยกอากาศอัตโนมัติอย่างสมบูรณ์การจุดระเบิดความร้อนการทำความเย็นและกระบวนการตั้งค่าล่วงหน้าอื่นๆซึ่งผู้ใช้สามารถใช้งานได้ง่าย |
||
|
การควบคุมอุณหภูมิอัตโนมัติและการควบคุมแรงดันอากาศอย่างสมบูรณ์แบบจะลดลงอย่างมาก เวิร์กโหลดของผู้ปฏิบัติงานระบบ |
||
ภาพถ่ายอุปกรณ์ :
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว 
