ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว |
ชื่อผลิตภัณฑ์ |
เครื่องเคลือบแม่เหล็กออนตรอนชิ้นงานแบบคู่พร้อมด้วยช่องการเปลี่ยนผ่าน |
|
รุ่นผลิตภัณฑ์ |
CY MSP325G-2T-DVC-2DC ( ช่องสุญญากาศคู่ ) |
|
เงื่อนไขการติดตั้ง |
1 อุณหภูมิสภาพแวดล้อมในการทำงาน 25 º C±55 º C, ความชื้นสัมพัทธ์ 85%RH±10 85%RH 2 แหล่งจ่ายไฟของอุปกรณ์ : AC220V, 50Hz ต้องต่อสายดินอย่างดี ; กำลังไฟพิกัด 3 เท่า : 5000 วัตต์ ; 4 ก๊าซอุปกรณ์ : ต้องเติมอาร์กอนสำหรับ การทำความสะอาดห้องอุปกรณ์และลูกค้าต้องเตรียมอาร์กอนอาร์กอนด้วยความบริสุทธิ์ ≥99.99 % 3. ขนาดของสถานที่จัดการประชุมคือ 1200 มม . × 1200 มม . × 2000 มม . 5 6 ตำแหน่งการจัดวางจำเป็นต้องมีการระบายอากาศที่ดีและการคายความร้อน |
|
พารามิเตอร์ทางเทคนิค |
แหล่งจ่ายไฟ 1 สปัตเตอริง : แหล่งจ่ายไฟ DC 500 วัตต์ x 2; แรงดันไฟฟ้าเอาต์พุต สูงสุด 600V กระแสเอาต์พุตจำกัด 1000 mA 2 เป้าหมายแมกเนตรอน : ชิ้นงานที่มีสมดุลขนาด 2 นิ้วพร้อมด้วยการเชื่อมต่อแบบแม่เหล็ก ; 3 วัสดุเป้าหมายที่ใช้ได้สำหรับชิ้นงานแมกเนตรอน : วัตถุที่เป็นโลหะนำไฟฟ้าชนิดหนา φ50mm x 3 มม 5.Cavity size: Main Cavity φ325mm x 410 มม .; โพรงการเปลี่ยนวิถีการทำงาน 150x150 มม 4 5 ฟังก์ชันช่อง : ช่องหลักติดตั้งฝาด้านข้างที่ปิดผนึกด้วย แหวนซีล , ช่องวัดควอตซ์ที่มีแผงหน้าและ แท่งทำงานแบบแมนนวลสำหรับถ่ายโอนตัวอย่าง ห้องเปลี่ยนผ่านจะมี ฝาครอบด้านบนพร้อมหน้าต่างควอทซ์ที่ซีลด้วยแหวนซีลการ เชื่อมต่อแบบแม่เหล็กจะดันก้านสูบเพื่อส่งตัวอย่างเข้าไปยังห้องหลักและ ระบบสุญญากาศอิสระ 6 ช่องสำหรับใส่ : สแตนเลสสตีล 304 7 ตารางตัวอย่างการทำความร้อนแบบหมุน : ความเร็วจะปรับอย่างต่อเนื่องตั้งแต่ 1 ถึง 20 รอบต่อนาทีอุณหภูมิความร้อนสูงถึง 500 ° C และแนะนำให้ปรับอัตราความร้อน เป็น 10 ° C/min และอุณหภูมิสูงสุดคือ 20 ° C/min 8 วิธีการระบายความร้อน : ชิ้นงานแมกเนตรอนและปั๊มโมเลกุลต้องมีการหมุนเวียน ของระบบทำความเย็น ระบบระบายความร้อนน้ำ : ปริมาตรของแท้งค์น้ำ 9 ลิตรอัตราการไหล 10 ลิตร / นาที 9 ระบบจ่ายก๊าซ : มิเตอร์วัดการไหลของมวลก๊าซประเภทก๊าซอัตรา การไหล ประมาณ 1 ซม . ( ปรับแต่งได้ ); 10 11 ความแม่นยำของมิเตอร์วัดการไหล : 1.5 ช่วง ±% อิน เตอร์เฟซการปั๊มของช่องสุญญากาศคือ CF160 12 13 อินเตอร์เฟซช่องอากาศเข้าเป็นข้อต่อหุ้มคู่ขนาด 1/4 นิ้ว 14 จอภาพเป็นคอมพิวเตอร์สำหรับงานอุตสาหกรรมที่รวมทุกอย่างไว้ในหนึ่งเดียว 14 เครื่อง 15 สามารถปรับกระแสน้ำกระเซ็นและสามารถตั้งค่ากระแสน้ำและ ค่าสุญญากาศที่ป้องกันน้ำกระเซ็นได้ 16 การป้องกันความปลอดภัย : กระแสน้ำกระเซ็นจะถูกตัดโดยอัตโนมัติเมื่อ กระแสไฟเกินและสุญญากาศต่ำเกินไป ; ระบบสุญญากาศ : ห้องใหญ่ติดตั้ง ชุดปั๊มโมเลกุลสูง (CCY GZK103 ที่มีความเร็วการปั๊ม 600L/s ห้องเปลี่ยนผ่าน ติดตั้งชุดปั๊มโมเลกุลขนาดเล็กที่มีความเร็วการปั๊ม 17 ลิตร / วินาที ระบบสุญญากาศสองชุดสามารถทำงานและควบคุมได้อย่างอิสระและ วาล์วนิวแมติกระหว่างห้องและในระบบสุญญากาศทั้งหมด ถูกควบคุมโดยโปรแกรมซึ่งสามารถทำงานได้ด้วยปุ่มเดียวซึ่งสะดวก และรวดเร็ว 18 สุญญากาศสูงสุด : 55e -4Pa ( พร้อมปั๊มโมเลกุล ); 19 การวัดสุญญากาศเป็นเกจสุญญากาศแบบคอมโพสิตและมีช่วงระหว่าง 10 PA-5P~105 Pa |
|
ข้อควรระวัง |
1 เพื่อให้ได้สภาพแวดล้อมที่ปราศจากอ็อกซิเจนสูงขึ้นต้อง ทำความสะอาดช่องสุญญากาศด้วยก๊าซเฉื่อยที่มีความบริสุทธิ์สูงอย่างน้อย 3 ครั้ง 2 ทั้งนี้เนื่องจากการกระตุกของแมกเนตรอนจะไวต่อปริมาณอากาศที่เข้ามามากขึ้นและ จะต้องใช้มิเตอร์วัดการไหลของมวลเพื่อควบคุมปริมาณลมที่เข้ามา 3 เก็บช่องให้ห่างจากเครื่องดูดฝุ่นเมื่อไม่ได้ใช้งานอุปกรณ์ 4 หาก ไม่มีการดูดฝุ่นเป็นเวลานานควรขจัดแก๊สเมื่อ ใช้งานอีกครั้งเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพการทำงานของเครื่องดูดฝุ่น |
|
อุปกรณ์เสริม |
|
|
การตรวจสอบความหนาฟิล์ม |
1 ความละเอียด 0.0136Å การวัดความหนาฟิล์ม : ø ( อะลูมิเนียม ) 2 ความแม่นยำของความหนาฟิล์ม : ±0.5 % ขึ้นอยู่กับสภาพของกระบวนการโดยเฉพาะ ตำแหน่งของเซนเซอร์ความเค้นของวัสดุอุณหภูมิและความหนาแน่น 3 ความเร็วในการวัด : 100ms-11/time สามารถตั้งค่าช่วงการวัดได้ : ø 500000Å ( อะลูมิเนียม ) ค ริสตัลเซนเซอร์มาตรฐาน : 4 MHz 5 ความถี่ชิปที่ใช้ได้ : 6MHz ขนาดชิปที่ใช้ได้ : Φ14mm หน้าแปลนติดตั้ง : CF35 |
|
อุปกรณ์เสริมอื่นๆ |
1 ชุดปั๊มโมเลกุลประสิทธิภาพสูง (CY) CY (CCY - เกจ์ สุญญากาศรวม , ช่วงการวัด 10 Pa ถึง 105P); ชุด ปั๊มโมเลกุลขนาดเล็ก (CCY GZK60 ซีรี่ส์ ( รวมถึงเกจสุญญากาศรวม , ช่วงการวัด 10 5PA-102Pa) ปั๊มแบบใบพัดแบบหมุน 4 Bipolar VRD-50 Bipolar ถุงลมสุญญากาศชนิด 2 kF25/10 สามารถยาวได้ 40 ม ., 1 ม ., 1.5 ม .; ตัวยึดแคลมป์ KF25 3 ค ริสตัลออสซิลเลเตอร์ของมิเตอร์วัดความหนาฟิล์ม ; |
ข้อมูลติดต่อ : 
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว 
