ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว | กำลังไฟอินพุต | 220VAC 50 Hz/60 Hz, เฟสเดียว 2000 วัตต์ ( รวมปั๊ม ) |
| แหล่งจ่ายไฟต้นทาง | แหล่งจ่ายไฟแบบสปัตเตอริง 2 ตัวรวมอยู่ในกล่องควบคุม 1 กล่อง แหล่ง DC: 500 วัตต์เพื่อวัสดุโลหะเคลือบผิว แหล่ง RF 600 วัตต์พร้อมการจับคู่อัตโนมัติสำหรับวัสดุเคลือบที่ไม่ใช่โลหะ ( กลาง ) แหล่งสัญญาณ RF ขนาดกะทัดรัด 300 มีจำหน่ายโดยคิดค่าธรรมเนียมพิเศษ |
| หัวแมกเนตรอนสคูลลิ่ง | หัว Magnetron Smobering 2 นิ้วสองหัวพร้อมแจ็คเก็ตกันน้ำเย็น รวมอยู่ในชุด เชื่อมต่อแหล่งจ่ายไฟ RF สำหรับวัสดุที่ไม่นำไฟฟ้า อีกเครื่องหนึ่งเชื่อมต่อกับแหล่งจ่ายไฟ DC สปัตเตอริงสำหรับการเคลือบ วัสดุโลหะ ขนาดของชิ้นงานที่ต้องการ : เส้นผ่านศูนย์กลาง 2 นิ้ว ช่วงความหนา : 0.1 - 5 มม . สำหรับทั้งชิ้นงานโลหะและชิ้นงานที่ไม่นำไฟฟ้า มีชิ้นงานเซรามิคสแตนเลสสตีล 1 ชิ้นและ Al2O3 1 ชิ้น สำหรับการทดสอบสาธิต การระบายความร้อนด้วยน้ำส่วนหัว : ต้องใช้การไหลของน้ำ 10 มล ./ นาทีและเครื่องทำน้ำเย็นแบบควบคุมด้วยระบบดิจิตอล 16 มล ./ นาทีสำหรับการระบายความร้อนหัวฉีดน้ำแบบแมกเนตรอนทั้งสองรุ่น ตัวให้คะแนนแบบปรับแต่งได้ : หัว DC สองหัวโดยไม่มี RF สปัตเตอริงหัว RF แบบไม่มี DC สปัตเตอริงและหัว RF แบบ 3 หัวเมื่อร้องขอ |
| สุญญากาศ ห้อง |
ช่องสุญญากาศ : เส้นผ่านศูนย์กลาง 300 มม . x ความสูง 300 มม . ทำจากสแตนเลสสตีล กรอบการตรวจสอบ : เส้นผ่านศูนย์กลาง 100 มม ฝาปิดแบบบานพับที่ด้านบนพร้อมด้วยแหล่งกีฬาฤดูใบไม้ผลิ เปลี่ยนเป้าหมายได้ง่าย |
| ที่เก็บตัวอย่าง | ขนาดตัวยึดตัวอย่าง : เส้นผ่านศูนย์กลาง 140 มม . สำหรับ สูงสุด 4 นิ้วเวเฟอร์ ( สามารถออกแบบได้ตามความต้องการของคุณ ) ความเร็วในการหมุนของแท่นยึดตัวอย่างสามารถปรับได้ : 1 - 20 รอบต่อนาทีสำหรับการเคลือบที่สม่ำเสมอ อุณหภูมิของตัวจับสามารถปรับได้ตั้งแต่ RT ถึง 500 ° C สูงสุด ด้วยความแม่นยำ +/- 1.0 ° C |
| การไหลของก๊าซ การควบคุม |
เครื่อง MFC ดิจิตอลความเที่ยงตรงสูง 2 เครื่อง ( คอนโทรลเลอร์การไหลเชิงมวล ) ติดตั้งเพื่อให้ ก๊าซสองชนิดสามารถ กรอกข้อมูลแล้ว อัตราการไหล : สูงสุด 200 มล ./ นาที สามารถปรับอัตราการไหลบนการควบคุมหน้าจอสัมผัสขนาด 6 นิ้ว ได้อย่างมีพ |
| ปั๊มสุญญากาศ สถานี |
ระบบปั๊มสุญญากาศความเร็วสูง ( ผลิตในเยอรมนี ) ติดตั้งโดยตรงในช่องสุญญากาศเพื่อระดับสุญญากาศสูงสุด ปั๊มกลไกแบบสองขั้นตอนสำหรับงานหนักเชื่อมต่อกับเทอร์โบ ปั๊มเพื่อความเร็วปั๊มที่เร็วขึ้น มีปั๊มแบบเคลื่อนที่และเครื่องปั๊มน้ำขนาดกะทัดรัดแบบพ่นน้ำ สามารถวางไว้ด้านบนของสถานีได้ ระดับสุญญากาศสูงสุด : 10 ^-6 torr พร้อมช่องอบ |
| ความหนา จอแสดงผล |
มีเซนเซอร์วัดความหนาควอตซ์ความเที่ยงตรงหนึ่งตัวติดตั้งอยู่ภายในห้อง 0.10 ตรวจสอบความหนาของสารเคลือบด้วยความแม่นยำ Å μ m จอแสดงผล LED ด้านนอกสามารถ : เซนเซอร์ควอตซ์ 5 ชิ้น ( สิ้นเปลือง ) รวมอยู่ในชุด วัสดุอินพุตที่จะเคลือบตามฐานข้อมูลที่มีให้ แสดงความหนาทั้งหมดที่เคลือบและความเร็วในการเคลือบ ต้องระบายความร้อนด้วยน้ำ |
| โดยรวม ขนาด |
L1300 มม . × W660mm × H1200 มม |
| น้ำหนักสุทธิ | 160 กก |
| การรับประกัน | รับประกันแบบจำกัดเป็นเวลา 1 ปีพร้อมการสนับสนุนตลอดอายุการใช้งาน |
| หมายเหตุแอปพลิเคชัน | ในการกำจัดอ็อกซิเจนออกจากห้องแนะนำให้ใช้ 5 ไนโตรเจน 100% + 95 % กับห้องใต้พนม 2-3 ครั้งซึ่งจะลดอ็อกซิเจนให้ต่ำกว่า 10 ppm โปรดใช้ > ก๊าซอาร์กอนบริสุทธิ์ 5N สำหรับพ่นพลาสมา แม้ว่าความบริสุทธิ์ 5N AR โดยปกติจะประกอบด้วยออกซิเจน 10 - 100 ppm และ H2O |
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว 
