ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว เครื่องเคลือบผิวความร้อนสุญญากาศควบคุมอุณหภูมิความเที่ยงตรงสูง - CY, 1700X-SpA-Spc. 2
CY, 1700X-SpSPC 2 เป็นเครื่องเคลือบผงความร้อนขนาดกะทัดรัดที่มีการควบคุมอุณหภูมิที่เที่ยงตรงและตั้งโปรแกรมได้
ซึ่งเหมาะสำหรับการเคลือบสีโลหะและอินทรีย์ต่างๆ ฟิล์มสำหรับการสุ่มตัวอย่างเวเฟอร์ขนาด 2 นิ้วที่อุณหภูมิ 200 º C ถึง 1500 º C
( หรือ 100oC - 1700oC) ตามการควบคุมอุณหภูมิโดยอัตโนมัติและสามารถ หมุนตัวอย่างได้ถึง 2 ตัวยึดสามารถหมุนได้ในตัว
เคลือบฟิล์มให้สม่ำเสมอยิ่งขึ้น
|
โครงสร้างและคุณสมบัติ |
ช่องเก็บ 6 " OD Quartz เพื่อความสะดวกในการทำความสะอาดและการเก็บตัวอย่าง ตัวยึดตัวอย่างแบบหมุนได้เส้นผ่านศูนย์กลาง 2 นิ้ว สำหรับการเคลือบฟิล์มให้สม่ำเสมอ มีเครื่องทำความร้อน 2 เครื่องให้มาด้วยเช่นอลูมินาและเครื่องทำความร้อนแบบทังสเตนสำหรับการเคลือบที่มีอุณหภูมิต่ำหรือสูงถึง 1,700 º C ควบคุมอุณหภูมิด้วยความเที่ยงตรงสูงโดยตั้งโปรแกรมได้ 30 Segment และ +/- 1 º C ความถูกต้องแม่นยำ สามารถใช้สุญญากาศสูงถึง 5 10Eur ได้โดยผ่านอุปกรณ์เสริม ปั๊มเทอร์โบ พอร์ตและวาล์วการไหลของก๊าซถูกสร้างมาให้สำหรับ CVD ความเป็นไปได้ |
|
กำลังไฟอินพุต |
แรงดันไฟฟ้าอินพุต : AC 208 - 220V 50 50/60Hz เฟสเดียว , 50 Hz 500 W โดยมีค่าสูงสุด กระแสไฟ A รวมสายไฟไม่มีปลั๊ก |
|
การควบคุมอุณหภูมิ
|
เครื่องทำความร้อนแบบทังสเตน ที่มีตัวเชื่อมต่อความร้อนติดตั้งอยู่ด้านล่าง ด้วยอลูมิเนียมที่สามารถควบคุมอุณหภูมิได้ ประกับความร้อนชนิด S มาตรฐาน : -- ให้ความร้อนตั้งแต่ 200 º C - 1500 º C อุปกรณ์เสริมตัวเชื่อมต่อความร้อนชนิด B - ทำความร้อนตั้งแต่ 1200 º C - 10000 º C ตัวควบคุมอุณหภูมิดิจิตอลหนึ่งตัวสามารถ ตั้งโปรแกรมได้ 30 Segment และ +/- 1 º C สามารถเปลี่ยนอุณหภูมิเป็นโหมดแมนนวลได้โดยไม่ต้องใช้ความร้อนและการติดตั้งระบบระบายความร้อนเพื่อการเคลือบที่รวดเร็วขึ้นถึง 2000 º C เช่นการเคลือบคาร์บอน มีเครื่องทำความร้อนขดลวดทังสเตนสองเครื่องมีเครื่องทำความร้อนสำรองให้เมื่อมีการร้องขอโดยมีค่าใช้จ่ายเพิ่มเติม |
|
ที่ใส่ตัวอย่าง |
ติดตั้งแท่นวางตัวอย่างเส้นผ่านศูนย์กลาง 50 มม . หนึ่งแท่นวางที่ด้านบน ของตัวกิน ความเร็วในการหมุน 5 รอบต่อนาที ระยะห่างระหว่างตัวยึดตัวอย่าง กับแหล่งการระเหยสามารถปรับได้ ตั้งแต่ 60 มม . ถึง 100 มม |
|
สุญญากาศ |
มีการติดตั้งพอร์ตสุญญากาศ KF40 เพื่อเชื่อมต่อปั๊มสุญญากาศ |
|
ท่อก๊าซขาเข้า |
1/4 พอร์ตทางเข้าก๊าซ NPS มีการผลิตเป็นสารเฉื่อย การทำความสะอาดก๊าซ หรือการอัดก๊าซ มีวาล์วเข็มหนึ่งตัวสำหรับควบคุมการไหลของก๊าซ อัตรา |
|
ไม่จำเป็น |
จำเป็นต้องใช้ปั๊มสุญญากาศสำหรับการเคลือบ ( ไม่ได้ให้มาด้วย ) ปั๊มสุญญากาศแบบใบพัดชนิดหมุนสองชั้น ที่ มีตัวดักไอจะกำจัดละอองน้ำมันซึ่งสามารถดูดฝุ่นได้ถึง 10-2 torr เพื่อการระเหยของวัสดุโลหะระดับสูงเช่นทองคำเงิน ระบบปั๊มสุญญากาศโมเลกุลแบบเทอร์โบขนาดกะทัดรัด ( สูงสุด 7 mbar ) สามารถให้ระดับสุญญากาศสูงสุด ถึง 1.05 x 10 ^2 -5 สำหรับวัสดุที่ไวต่อออกซิเจนระเหยเช่น Al mg, Li ฯลฯ |
|
การปฏิบัติตามและการรับประกัน |
ได้รับการรับรอง CE |
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว 
