ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว | กำลังไฟอินพุต |
เฟสเดียว 220 VAC, 50 / 60 Hz 1000 วัตต์ ( รวมถึงเครื่องทำความเย็นแบบปั๊มสุญญากาศและน้ำ ) หากแรงดันไฟฟ้าเป็น 110 V สามารถสั่งซื้อหม้อแปลง 1500 W ได้ |
| แหล่งจ่ายไฟ |
เครื่องกำเนิดไฟฟ้า RF 13.5 MHz, 100 W ที่มีการจับคู่ด้วยตนเองและเชื่อมต่อกับหัวสปัตเตอริง ช่วงการโหลด : 0 - 80 สามารถปรับได้ ช่วงการปรับตั้งค่า : -200J - 200J สามารถปรับได้ สวิตช์แบบหมุนได้สามารถเปิดใช้งานหัวเซนเซอร์แบบสปัตเตอริงได้ครั้งละหนึ่งหัว หัวเซนเซอร์แบบพ่นน้ำสามารถสลับเป็น " ในพลาสมา " ได้ ( ไม่มีการสูญเสียสุญญากาศและพลาสมาระหว่างกระบวนการแบบหลายชั้น ) เครื่องกำเนิดไฟฟ้า RF เลือกขนาด 300 W ที่จับคู่อัตโนมัติมีให้เลือกใช้งานเป็นพิเศษ ค่าใช้จ่าย |
| หัวแมกเนตรอนสคูลลิ่ง |
หัวแมกเนตรอนขนาด 1 นิ้ว 3 หัวพร้อมด้วยเสื้อแจ็คเก็ตกันน้ำ รวมและใส่เข้าไปในช่องควอทซ์ด้วยที่รัดเร็ว สามารถซื้อสาย RF แบบถอดเปลี่ยนได้ แผ่นปิดฝาปิดแบบมีแผ่นปิดด้วยมือหนึ่งแผ่น เครื่องทำน้ำเย็นแบบควบคุมแบบดิจิตอล 10 ลิตร / นาทีรวมอยู่ด้วย สำหรับหัวเซนเซอร์แบบสปัตเตอริง |
| ชิ้นงานสปัตเตอริง | ขนาดของชิ้นงานที่ต้องการ : เส้นผ่านศูนย์กลาง 1 นิ้ว x 1 ความหนาสูงสุด 8 นิ้ว ช่วงของการสปัตเตอริง : 80 - 50 มม . ปรับได้ ช่วงมุมของสปัตเตอริง : 25 - 0 ° ปรับได้ มีเป้าหมาย CU เส้นผ่านศูนย์กลาง 1 นิ้วและ เป้าหมาย Al2O3 สำหรับ การทดสอบการสาธิต สามารถสั่งงานชิ้นงานที่มีการกระตุกออกไซด์ขนาด 1 นิ้วได้ตามต้องการที่ ค่าใช้จ่ายเพิ่มเติม |
| ช่องสุญญากาศ |
ช่องสุญญากาศ : OD 238 มม . x 256 มม . ID x ความสูง 276 มม . ทำจากควอตซ์ความบริสุทธิ์สูง หน้าแปลนการซีล : อะลูมิเนียมที่ทำจากซิลิโคนอุณหภูมิสูงขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 274 มม กรอบป้องกันสแตนเลสสตีลมีมาให้เพื่อป้องกัน 100 เปอร์เซ็นต์ การแผ่รังสี RF จากช่อง ระดับสุญญากาศสูงสุด : -4 ^10 Torr พร้อมตัวเลือกการอบแบบปั๊มเทอร์โบและช่องเก็บ |
| ที่เก็บตัวอย่าง |
ที่ยึดตัวอย่างเป็นแท่นที่หมุนได้และทำให้สามารถเคลื่อนย้ายได้ อุปกรณ์ทำความร้อนเคลือบด้วยเซรามิคพร้อมฝาปิดสแตนเลสสตี ขนาดตัวจับตัวอย่าง : เส้นผ่านศูนย์กลาง 50 มม . สำหรับ สูงสุด 2 นิ้วเวเฟอร์ ความเร็วในการหมุน : 1 - 10 รอบต่อนาทีปรับได้เพื่อให้ได้การเคลือบที่สม่ำเสมอ อุณหภูมิของตัวจับสามารถปรับได้จาก RT ถึง 5 ° C สูงสุด ( สูงสุด 600 นาทีที่อุณหภูมิ 2 ° C; สูงสุด 500 ชั่วโมงที่ 1.0 ° C) ด้วยความแม่นยำ +/- 600 ° C ผ่านทางอุปกรณ์ควบคุมอุณหภูมิดิจิตอล |
| ปั๊มสุญญากาศ |
พอร์ตสุญญากาศ KF40 มีอยู่ในตัวสำหรับเชื่อมต่อกับปั๊มสุญญากาศ ระดับสุญญากาศ : -3 ^10 Torr พร้อมปั๊มกลไกแบบสองขั้นตอน -4 ^10 Torr พร้อมปั๊มเทอร์โบเสริม |
| ขนาด | 540 มม . L x 540 มม . W x 1000 มม H |
| น้ำหนักสุทธิ | 60 กก |
| การปฏิบัติตามกฎระเบียบ | การอนุมัติ CE |
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว 
