Customized: | Customized |
---|---|
Structure: | Desktop |
Material: | Aluminum |
Certification: | CE, TUV |
Application: | School, Hospital, Lab |
Type: | Magnetron Sputtering Source |
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
หัวพ่นน้ำสามารถเอียง +/- 25 องศาเพื่อปรับมุมตกกระทบเพื่อเพิ่มผลการปล่อยน้ำกระเซ็น ผลิตจากวัสดุคุณภาพสูงที่ทำจากสแตนเลสสตีลและเซรามิค การคำนวณองค์ประกอบของคลื่นแม่เหล็กไฟฟ้าที่กำหนดจะถูกนำมาใช้ในการออกแบบชุดแม่เหล็กถาวรเพื่อให้ได้ความแรงของสนามแม่เหล็กสูงและโปรไฟล์สนามที่เป็นระเบียบ แม่เหล็กจะถูกเคลือบด้วยวัสดุป้องกันการกัดกร่อนของน้ำหล่อเย็นเพื่อเพิ่มความทนทาน ขั้วต่อ RF มาตรฐานซึ่งเข้ากันได้กับแหล่งจ่ายไฟ DC และ RF สปัตเตอริงหลากหลาย หัวเซนเซอร์แบบขยายความต้านทานไฟฟ้ากระแสสลับต่ำสามารถ เชื่อมต่อกับแหล่งจ่ายไฟภายนอกได้อย่างง่ายดาย ติดตั้งฟิตติ้งมาตรฐานได้ง่ายพร้อมด้วยคอนเนคเตอร์แบบเร็วที่ให้มาด้วย มีแผ่นรองทองแดง 2 นิ้ว (EQ-CBP-3) 2 การเปลี่ยนชิ้นงานทำได้ง่ายและไม่จำเป็นต้องปรับปืนให้พอดีกับชิ้นงานที่มีความสูงแตกต่างกัน |
|
ข้อกำหนดด้านกำลังไฟ | DC ( สูงสุด ) 500 W RF ( สูงสุด ) 300 W |
ประเภทการเชื่อมต่อทางไฟฟ้า |
มีขั้วต่อตัวเมีย HN มาตรฐาน ( DC และ RF, รูป 1 ขั้วต่อสายเคเบิล SL16 เสริม สาย RF ขนาด 148 ซม . เป็นอุปกรณ์เสริมพร้อมขั้วต่อ SL6 |
กระแสน้ำกระเซ็น ( สูงสุด ) | 5 แอมป์ |
แรงดันไฟฟ้าสปัตเตอริง | 200-1000 V |
แรงดันน้ำสปัตเตอริง | 1-1000 ม .Torr |
ขนาด | เส้นผ่านศูนย์กลางป้องกันขั้วบวก : 86 มม |
ชิ้นงานสปัตเตอริง |
เส้นผ่านศูนย์กลาง : 2.0 นิ้ว (50.8 มม .) ความหนา : สูงสุด 1 มม . 4 สำหรับชิ้นงานที่ไม่ใช่แม่เหล็กและ สูงสุด 1 มม . สำหรับชิ้นงานที่เป็นแม่เหล็ก 16 มม การใช้งาน : สูงถึง 30 % แม่เหล็ก : แม่เหล็กโลกหายาก NdFebB |
ข้อกำหนดน้ำหล่อเย็น |
อัตราการไหล : 0.8 gpm แล้ว อุณหภูมิน้ำขาเข้า : < 20 C ท่อน้ำ : ปลดการเชื่อมต่อแบบเร็ว 6 มม . |
การติดตั้ง | ฟีดแอด : 4 นิ้วท่อ O 3 กก |
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ