แอปพลิเคชัน: | อุตสาหกรรม, โรงเรียน, แล็บ |
---|---|
ปรับแต่ง: | ปรับแต่ง |
การรับรอง: | CE |
โครงสร้าง: | เดสก์ทอป |
วัสดุ: | สแตนเลสสตีล |
พิมพ์: | เตาหลอมแบบท่อ |
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
อุปกรณ์นี้เป็นระบบการเตรียมทำกราฟที่หมุนด้วยพลาสมา อุปกรณ์ประกอบด้วยกลไกการหมุนและการเอียงเตาหลอมท่อสำหรับพื้นที่ทำความร้อนเดี่ยวเครื่องกำเนิดไฟฟ้าพลาสมาระบบส่งแก๊สมิเตอร์วัดการไหลในปริมาณมากและชุดปั๊มโมเลกุลสุญญากาศระดับสูง เมื่อเปรียบเทียบกับอุปกรณ์การเตรียมการทำกราฟอื่นๆอุปกรณ์นี้สามารถให้สุญญากาศที่พื้นหลังสูงขึ้นซึ่งสามารถปรับปรุงคุณภาพของผลิตภัณฑ์ได้โดยสามารถใช้กลไกการหมุนและการเอียงเพื่อให้ได้การผลิตที่ต่อเนื่องและสามารถทำให้พื้นผิวของผลิตภัณฑ์ตัวอย่างอนุภาคเติบโตอย่างสม่ำเสมอ เครื่องกำเนิดไฟฟ้าแบบพลาสมาสามารถลดอุณหภูมิการตอบสนองและเพิ่มประสิทธิภาพการตอบสนองได้อย่างมาก
พารามิเตอร์ทางเทคนิคของเตาหลอม PECVD:
เตาหลอมท่อแบบมีโซนทำความร้อนเดี่ยว |
รุ่นผลิตภัณฑ์ |
CY, O1200-100IT |
|
วัสดุท่อเตาหลอม |
ควอทซ์ความบริสุทธิ์สูง |
||
เส้นผ่านศูนย์กลางท่อ |
100 มม |
||
ความยาวท่อเตา |
1500 มม |
||
ความยาวส่วนเตาหลอม |
40 มม |
||
ความยาวโซนร้อน |
400 มม |
||
หัวเขตอุณหภูมิคงที่ |
200 มม |
||
อุณหภูมิในการทำงาน |
0 º C |
||
ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ |
±1 º C |
||
โหมดควบคุมอุณหภูมิ |
การควบคุมอุณหภูมิโปรแกรม 50 หรือ 30 segment |
||
โหมดการแสดงผล |
หน้าจอสัมผัส LCD สีแบบ Full HD |
||
วิธีซีล |
304 หน้าแปลนสุญญากาศสแตนเลสสตีล |
||
แหล่งจ่ายไฟ |
AC: 220V 50 Hz |
||
ระบบเอาต์พุต RF |
ช่วงกำลังไฟ |
0 ~ 500 วัตต์ปรับได้ |
|
ความถี่ในการทำงาน |
0.005 MHz+13.5% |
||
โหมดการทำงาน |
เอาต์พุตต่อเนื่อง |
||
โหมดความต้านทานที่ตรงกัน |
สามารถปรับให้เข้ากันได้และแสงจะกระจายทั่วท่อเตาหลอม |
||
ความเสถียรของกำลังแสง |
≤2 วัตต์ |
||
กำลังแสงสะท้อนในการทำงานปกติ |
≤3W |
||
เพิ่มกำลังที่สะท้อน |
≤70 วัตต์ |
||
องค์ประกอบฮาร์โมนิค |
ø ≤ 50dBc |
||
ประสิทธิภาพโดยรวม |
≥70 % |
||
ปัจจัยกำลังไฟ |
≥90 % |
||
แรงดัน / ความถี่ของแหล่งจ่ายไฟ |
ความถี่ AC หนึ่งเฟส (187V~153V) ความถี่ 50 Hz |
||
โหมดควบคุม |
การ สื่อสารของรีโมทคอนโทรล /PLC อะนาล็อก / RS232/232/485 ภายใน |
||
การตั้งค่าการป้องกันพลังงาน |
การป้องกันกระแสไฟเกินแบบ DC เครื่องขยายสัญญาณเสียงมีการป้องกันอุณหภูมิสูงเกินไปการป้องกันกำลังไฟสะท้อน |
||
วิธีการระบายความร้อน |
การระบายความร้อนด้วยอากาศอัด |
||
ให้ความร้อนที่จุดสว่าง |
ภายใต้ AR แหล่งจ่ายไฟความถี่วิทยุและคอยล์จะร่วมมือกับแสงไฟเพื่อเติมเข้าไปในท่อเตาหลอม |
||
ระบบการจัดส่งก๊าซ |
มิเตอร์วัดการไหล |
มิเตอร์วัดการไหลแบบมวลสี่ช่อง |
|
ช่วงการไหล |
ช่วง MFC1: 0 ~ 0 ซม . MFC2 ช่วง : ~ 200 ซม ช่วง MFC3 : 0 ซม . MFC4 ช่วง : 0 ซม ที่สอดคล้องกับก๊าซ H2, CH4, N2, AR |
||
ความแม่นยำในการวัด |
±1.5 %F.S |
||
อัตราการทำซ้ำ |
±0.2 % FS |
||
ความแม่นยำเชิงเส้น |
±1 % F.S. |
||
เวลาตอบสนอง |
≤4s |
||
ความกดดันในการทำงาน |
-0.15Mpa~0.15Mpa |
||
การควบคุมการไหล |
การควบคุมหน้าจอสัมผัส LCD, จอแสดงผลดิจิตอล , ก๊าซแต่ละช่องมีวาล์วเข็มสำหรับการควบคุมแยกกัน |
||
อินเตอร์เฟซไอดี |
สามารถเชื่อมต่อกับเส้นผ่านศูนย์กลางภายนอก 1/4NPS หรือ 1 มม ท่อสแตนเลสสตีล |
||
เต้ารับอินเตอร์เฟซ |
สามารถเชื่อมต่อกับเส้นผ่านศูนย์กลางภายนอก 1/4NPS หรือ 1 มม ท่อสแตนเลสสตีล |
||
วิธีการเชื่อมต่อ |
ขั้วต่อหุ้มโลหะคู่ |
||
อุณหภูมิในการทำงาน |
5 º C |
||
การเตรียมก๊าซล่วงหน้า |
ติดตั้งอุปกรณ์ผสมก๊าซแบบสำเร็จ |
||
ระบบไอเสีย |
รุ่นผลิตภัณฑ์ |
CY, GZK103-A |
|
ปั๊มโมเลกุล |
ปั๊มโมเลกุล |
||
ปั๊มสำรอง |
ปั๊มใบพัดแบบหมุนสองขั้นตอน |
||
อัตราการปั๊ม |
ปั๊มโมเลกุล : 600L/S |
ประสิทธิภาพการปั๊มที่ครอบคลุม : 30 นาทีสุญญากาศสามารถทำงานได้ถึง 5 × 10E-3Pa |
|
ปั๊มใบพัดแบบหมุน : 1.1M/S |
|||
สุญญากาศสูงสุด |
5 × 10E-4Pa |
||
พอร์ตปั๊ม |
KF40 |
||
อินเตอร์เฟซท่อไอเสีย |
KF16 |
||
การวัดค่าสุญญากาศ |
เกจสุญญากาศรวม |
||
กำลังหมุนและเอียงอุปกรณ์ |
ช่วงความเร็ว |
0 รอบต่อนาที |
|
มุมเอียง |
0 15 ° |
||
ระบบการป้อนและรับวัสดุ |
การดึงอัตโนมัติคอลเลคชันอัตโนมัติหลังจากเอียง |
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ