ปรับแต่ง: | ปรับแต่ง |
---|---|
โครงสร้าง: | เดสก์ทอป |
วัสดุ: | เหล็กกล้า |
การรับรอง: | CE, ISO |
พิมพ์: | ประเภทการทำความร้อน |
ชื่อผลิตภัณฑ์: | เตาหลอมแบบท่อเลื่อน RTP |
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ
1200C deegC ท่อเลื่อนคู่สูงสุด 50 มม หน้าแปลนท่อสำหรับ PECVD
ผลิตภัณฑ์นี้เป็นระบบการเคลือบไอเคมีแบบหมุนด้วยพลาสมา ( หมุน PECVD) ท่อเตาหลอมใช้การออกแบบที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางแปรผัน เส้นผ่านศูนย์กลางท่อตรงกลางค่อนข้างหนาและมีพาร์ติชันการผสมซึ่งสามารถผสมผงหรืออนุภาคต่างๆกับการหมุนของท่อเตาหลอมได้ ท่อทำงานสามารถหมุนได้ 360 ° โดยไม่รบกวนผ่านการควบคุมการส่งผ่านทางกลไกเพื่อให้วัสดุในท่อสามารถขยับและผสมกันเพื่อให้ได้รับผลความร้อนที่สม่ำเสมอ อุปกรณ์นี้ยังติดตั้งเครื่องกำเนิดไฟฟ้าพลาสมาซึ่งเชื่อมต่อกับท่อเตาหลอมด้วยการเชื่อมต่อแบบเหนี่ยวนำและพลาสมาที่สร้างขึ้นสามารถคลุมท่อเตาได้อย่างมีประสิทธิภาพเพิ่มพลังงานในการทำงานของสารที่มีความไวลดอุณหภูมิในการตอบสนองและปรับปรุงประสิทธิภาพในการตอบสนอง อุปกรณ์นี้มีการติดตั้งมิเตอร์วัดการไหลแบบมวลสามทิศทางและอุปกรณ์ผสมก๊าซซึ่งสามารถใช้ในการส่งก๊าซชนิดต่างๆไปยังท่อได้ ในขณะเดียวกันอุปกรณ์นี้จะมีปั๊มกลไกประสิทธิภาพสูงที่สามารถอพยพท่อเตาหลอมออกจากท่อเตาหลอมเพื่อดูดฝุ่นได้อย่างรวดเร็วความร่วมมือของปั๊มและวงจรก๊าซจะทำให้กระบวนการ CVD มากขึ้น อุปกรณ์ที่หมุนเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการเคลือบและแก้ไขวัสดุผงอย่างต่อเนื่องด้วยวิธีการ CVD ในสภาพแวดล้อมที่มีการป้องกันด้วยบรรยากาศ
เตาหลอมท่อในโซนอุณหภูมิคู่ |
รุ่นผลิตภัณฑ์ |
รุ่น CY O1200-60IIC-R |
กำลังของอุปกรณ์ |
3kW |
|
วัสดุท่อเตาหลอม |
ควอทซ์ความบริสุทธิ์สูง |
|
ขนาดท่อเตา |
ø Φ60 420 + φ100 * 360 + Φ60 420 มม . ( ท่อควอทซ์เฮเทอริ ฟorphic ) |
|
ความยาวส่วนเตาหลอม |
40 มม |
|
ความยาวโซนร้อน |
200 มม .+200 มม |
|
อุณหภูมิในการทำงาน |
0 º C |
|
อุณหภูมิขีดจำกัด |
1200 º C |
|
ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ |
±1 º C |
|
ชนิดเทอร์โมคับเปลอร์ |
เทอร์โมคับเปลอร์ชนิด K |
|
โหมดควบคุมอุณหภูมิ |
การควบคุมอุณหภูมิโปรแกรม 30 segment การปรับตั้งค่าพารามิเตอร์ PID ด้วยตนเอง |
|
โหมดการแสดงผล |
หน้าจอสัมผัส LCD สีแบบ Full HD |
|
วิธีซีล |
304 หน้าแปลนสุญญากาศสแตนเลสสตีล |
|
แหล่งจ่ายไฟ |
AC: 220V 50 Hz |
|
ความเร็วในการหมุน |
0 รอบต่อนาที |
|
มุมเอียง |
0 ° ~ 35 ° |
|
มิเตอร์วัดการไหลแบบมวล 3 ช่อง |
รุ่นผลิตภัณฑ์ |
CY 3 Z |
จำนวนเส้นทางก๊าซ |
3 ช่อง |
|
ชนิดมิเตอร์วัดการไหล |
มิเตอร์วัดการไหลแบบมวล |
|
ระยะการวัด |
ช่อง : 0 0~100scCM; ช่อง B: 0~200 ซม .; ช่อง C: 0~500 ซม |
|
ความแม่นยำในการวัด |
±1.5 % |
|
ความแตกต่างของแรงดันในการทำงาน |
0.1 ~ 0.5MPa |
|
ส่วนติดต่อช่องทางการขาย |
ขั้วต่อ Ferrule 1/4 นิ้ว |
|
แหล่งจ่ายไฟ |
AC220V 50 Hz/60Hz |
|
ระบบสุญญากาศ |
ปั๊มสุญญากาศ |
ปั๊มใบพัดแบบหมุนสองขั้นตอน |
ความเร็วของปั๊ม |
1.1L/min |
|
พอร์ตปั๊ม |
KF16 |
|
ปั๊มสุญญากาศได้ดีเยี่ยม |
10E-1Pa |
|
แหล่งจ่ายไฟ |
AC220V 50 Hz/60Hz |
|
แหล่งจ่ายไฟ RF |
ความถี่สัญญาณ |
±MHz 0.005 13.5% |
ช่วงเอาต์พุตกำลังไฟ |
0 ~ 500 วัตต์ |
|
กำลังสะท้อนสูงสุด |
100W |
|
อินเตอร์เฟซเอาต์พุต RF |
ø 50Ω N-Type, ตัวเมีย |
|
ความเสถียรของกำลังแสง |
≤5 วัตต์ |
ข้อมูลบริษัท :
ซัพพลายเออร์ที่มีใบอนุญาตการทำธุรกิจ