![Lsms-160 Magnetron Sputtering Coating Machine](//www.micstatic.com/athena/img/transparent.png)
![Lsms-160 Magnetron Sputtering Coating Machine](//www.micstatic.com/athena/img/transparent.png)
![Lsms-160 Magnetron Sputtering Coating Machine](//www.micstatic.com/athena/img/transparent.png)
![Lsms-160 Magnetron Sputtering Coating Machine](//www.micstatic.com/athena/img/transparent.png)
![Lsms-160 Magnetron Sputtering Coating Machine](//www.micstatic.com/athena/img/transparent.png)
![Lsms-160 Magnetron Sputtering Coating Machine](//www.micstatic.com/athena/img/transparent.png)
การแนะนำผลิตภัณฑ์
วัตถุประสงค์ : การใช้วิธีการพ่นน้ำไปยัง
ใช้ฟิล์มบางๆสองสามไมครอนบนนั้น
พื้นผิวของตัวอย่างรวมถึงพื้นผิวต่างๆ
โลหะเซมิคอนดักเตอร์เฟอร์รอล
วัสดุและสารฉนวนออกไซด์
เซรามิคและวัสดุอื่นๆ
พารามิเตอร์ผลิตภัณฑ์
ขนาดเวเฟอร์
≤6 นิ้ว
องศาสุญญากาศ
10 -8 ตามแนวลำตัว
ความหนาของความสม่ำเสมอผิดพลาด
น้อยกว่า 5 %
ความหนาของสปัตเตอริง
0-300 nm
วัสดุสปัตเตอริง
อัล , ลบ , กรัม , โค , เฟ Ni , PT, Ag, TO2, NiFe และ NiMn ฯลฯ
ขนาด
170 ซม . * 130 ซม . * 180 ซม