คำอธิบายผลิตภัณฑ์
ด้วยการใช้การแผ่รังสีเลเซอร์แบบพัลส์ที่มีพลังงานฟอสฟอรัสมากกว่า Gan Gap และมีขนาดเล็กกว่าช่องว่างบนแถบแซฟไฟร์เพื่อแผ่รังสีไพลินทำให้ GaN สามารถละลายความร้อนลงในก๊าซไนโตรเจนและ Low ละลายโลหะ GA ( เฉพาะ 30 º C) ในช่วง 900 º C -1000 º C การคัดแยกชั้นภาษีและซับสเตรตแซฟไฟร์แบบ GaN ออกจากกัน
เทคโนโลยีการลอกผิวด้วยเลเซอร์ใช้พลังงานเลเซอร์ในการแยกชั้นบัฟเฟอร์ของ GaN ที่อินเตอร์เฟซแกรมไพลิน / ไพลินทำให้เกิดการแยกซของผลึกผลึกแซฟไฟร์ของ LED ออกจากซับสเตรตของไพลิน อุปกรณ์นี้ใช้เลเซอร์ DPSS และได้รับการออกแบบเป็นพิเศษให้สามารถตรวจจับรอยลอกเวเฟอร์ได้จากทางภายนอกซึ่งจะให้ผลการลอกผิวหน้าที่มีประสิทธิภาพและมีคุณภาพสูง
ใช้เลเซอร์แบบโซลิดสเตท DPSS
ผลิตภัณฑ์ ProcessABABLE : แผ่นงานชนิดแบน , PSS+PVD
การโหลดและขนถ่ายสินค้าอัตโนมัติแบบเต็มรูปแบบของชิ้นงานขนาด 4 นิ้วและ 6 นิ้วสำหรับการผลิตพร้อมความสามารถในการป้อนชิ้นงานขนาด 2 นิ้วด้วยตนเองสำหรับการผลิต
การกำจัดความเสียหายที่ต่ำผลผลิตสูงสามารถทำงานได้ต่อเนื่องเป็นเวลา 24 ชั่วโมงประสิทธิภาพการทำงานที่เสถียรและต้นทุนการใช้งานที่ต่ำ
พารามิเตอร์กระบวนการสามารถปรับได้และจัดเก็บได้
เมื่อใช้เอกสารบันทึกร่วมกับวินาทีของลูกค้าจะสามารถอัปโหลดและบันทึกพารามิเตอร์และกระบวนการประมวลผลได้
โครงสามารถยกและลดระดับได้และสามารถปรับโฟกัสผ่านการชดเชยการยกในภูมิภาคซึ่งสามารถแก้ไขปัญหาของการโก่งตัวของชิปได้
ติดตั้งถาดโลหะรอบแพลตฟอร์มการผลิตเพื่อป้องกัน เศษวัสดุที่ร่วงหล่นลงในด้านในของอุปกรณ์
กำลังแสงเลเซอร์การตรวจสอบอัตโนมัติเพื่อความมั่นใจในการลอกผิว
อุปกรณ์นี้มีการติดตั้ง EFU เพื่อให้มั่นใจในความสะอาดภายใน ของเครื่องจักร
1 การโหลดและขนถ่ายสินค้าอัตโนมัติแบบเต็มรูปแบบของชิ้นส่วนขนาด 4 นิ้วและ 6 นิ้วภายในระยะการทำงานโดยสามารถป้อนชิ้นงานขนาด 2 นิ้วสำหรับการผลิตได้ด้วยตนเอง
เลเซอร์ 2 ชิ้นและเลเซอร์ UV ที่มีกำลังการประมวลผลสูงสุด≥ 1W
แกน Y 3 แพลตฟอร์ม
การเคลื่อนที่ : 400 มม
ความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่งซ้ำ : ± 1um
แกน X 4 แพลตฟอร์ม
การเคลื่อนที่ : 350 มม
ความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่งซ้ำ : ± 1um
ระยะยก 5 ขั้นของแกน W ระยะชัก : > 5 มม
6 กลไกการโหลดและการถ่ายออกอัตโนมัติแบบเต็มรูปแบบ
7 เครื่องวัดการกระตุ้นและระบบควบคุม 1 ความเร็วสูงสุด : 5000 มม ./ วินาที
ความแม่นยำ : ± 15 μ m 2
8 วิธีการประมวลผล 1 หมุนตัวจากด้านนอกเข้าด้านใน
วิธีการเติมแบบเส้นตรง 2 วิธี
9 ประสิทธิภาพการประมวลผลเลเซอร์แผ่นแบน 4 นิ้ว : 240 s/sheet ( ไม่รวมการโหลดและการถ่ายออก )
( เวลาในการปอกเปลือกกุ้งครั้งเดียวอาจแตกต่างกันไปตามผลิตภัณฑ์ )
10 ประสิทธิภาพในการลอก 4 นิ้วฟิล์มแบน : 8870 ชิ้น / เดือน ( คำนวณที่ 22 ชั่วโมง / วัน , 28 วัน / เดือน )
11 ผลการผลิตเปลือก , ผลการผลิตที่ปรากฏ≥ 98 0.3%, ฟิล์มเรียบขนาด 4 นิ้ว
12 อัตราการใช้อุปกรณ์≥ 95 %
1 ข้อกำหนดด้านพลังงาน : สามเฟส 380V ± 3%, 60Hz, 50 10 A ( สูงสุด ) สถานที่ที่ควรหลีกเลี่ยง
2 อุณหภูมิแวดล้อมและความชื้น 21-23 º C โดยเปลี่ยนอุณหภูมิ ± 1 º C; RH40~40%, 70 ในตำแหน่งที่ไม่กลั่นตัวเป็นหยดน้ำ , ขยะ , ฝุ่นหรือละอองน้ำมัน ;
สถานที่ที่มีการสั่นสะเทือนและการกระแทกสูง
สถานที่ที่สามารถเข้าถึงวัตถุไวไฟและวัตถุระเบิดได้
วางใกล้แหล่งสัญญาณรบกวนความถี่สูง
สถานที่ที่อุณหภูมิเปลี่ยนแปลงอย่างรวดเร็ว ;
ในสภาพแวดล้อมที่มี CO2 ความเข้มข้นสูง , Nox , SOX ฯลฯ
ระดับการรักษาความสะอาด 3 ระดับ 1000
4 CDA แรงดัน : > 0.5MPa, อัตราการไหล : 250L/min; เส้นผ่านศูนย์กลางท่อ : Φ 12 มม
5 เครื่องทำน้ำเย็นใช้น้ำกรองบริสุทธิ์ทั่วไปและเปลี่ยนเดือนละครั้ง
2.ไนโตรเจน อัด N2 ≥มม . สูงกว่า 0.5MPa, ความบริสุทธิ์ 99.99 3%; เส้นผ่านศูนย์กลางท่อ : Φ 6 มม
7 เส้นผ่านศูนย์กลางท่อไอเสียทั่วไป : Φ 100 มม .; อัตราการไหล : 3CMM
8 ข้อกำหนดของการสั่นสะเทือนสภาพแวดล้อม : ช่วงการสั่นสะเทือนพื้นฐาน <20 5 μ M, การเร่งความเร็วการสั่นสะเทือน <0.05G
1 ตัวอย่างชั้นถ่ายโอนแผ่นซิลิโคนแผ่นซับสเตรต PSS ขนาด 4 นิ้ว
2 ตัวอย่าง 4 นิ้วเลเยอร์สำหรับถ่ายโอนแผ่นซิลิโคนแผ่นซับสเตรต SS1+อัล นิว
3 นิ้วเลเยอร์สำหรับถ่ายโอนแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนซับสเตรต 2 นิ้ว
การประมวลผลของเลเซอร์และภาพขยายของเครื่อง
การแสดงผลโดยรวมของกระบวนการที่ใช้แสงเลเซอร์และการขยายภาพบางส่วน
/
ซัพพลายเออร์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว 
